Способ изготовления полупроводникового прибора со стеклянным корпусом

ТЕН Е ИЗОБ ИСА ТЕЛЬСТВУ 971,ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНВЕДОМСТВО СССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА СО СТЕКЛЯННЫМ КОРПУСОМ Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов со стеклянным корпусом.Целью изобретения является повышение рабочего напряжения до 1500 В.Способ изготовления полупроводниковых приборов со стеклянным корпусом заключается в изготовлении молибденовых электрододержателей, соединении пайкой электрододержателей с медными выводами и полупроводниковой структурой и герметизации заготовки стеклом, Причем молибде. новые электрододержатели изготовляют прессованием порошка при давлении 400- 500 МПа, спеканием при 1000-1100 С в течение от 1 до 1,5 ч в атмосфере водорода и выдержке в вакууме при 1100 С 1800 С в течение не менее 3 ч.Герметизацию стеклом осуществляют заливкой заготовки шликером из порошкового стекла, сушкой в печи 80-105 С в тече(57) Использование: способ может быть использован при изготовлении высоковольтных полупроводниковых приборов со стеклянным корпусом, Сущность изобретения: для повышения рабочего напряжения молибденовые электрододержатели изготавливают прессованиемпОрошКа при давлении 400.500 МПа, спеканием при 1000,1100 С в течение от 1 до 1,5 ч в атмосфере водорода и выдержке в вакууме при 1800 С в течение 3 ч, Герметизацию стеклом осуществляют заливкой заготовки шликером из порошкового стекла. Сушка производится в печи при 80105 С в течение 0,51,0 ч, Оплавление стекла осуществляют в защитной атмосфере, 1 табл. ние 0,5-1,0 ч и оплавлением в защитной атмосфере.П р и м е р. Из порошка молибдена марки МПО ТУ-19-69-80 в стальной пресс-форме с диаметром формообразующей полости матрицы 2,1 мм прессуют заготовки электрододержателей под удельным давлением 400-500 Мпа. Прессование пуансонами с торцевой частью, соответствующей зеркальному отображению формы и размеров торцевой части заготовок электрододержателей, позволяет получать последние с притупленными кромками радиусами наружного скругления (0,15- 0,25 мм). Затем прессовки подвергают спеканию при температуре 1000-1100 С в течение 1,2 ч в атмосфере водорода, после чего в вакууме(16,65 х 10 Па) при температуре 1800 С в течение 3 ч. В результате после спекания получают молибденовые электрододержатели диаметром 1,98-2,02 мм, высотой 2-2,1 мм и радиусами наружного скругления 0,12 мм.1786541 4 таблице данных оптимальный радиус наружного скругления составляет 0,1-0,2 мм, при этих значениях достигается требуемое рабочее напряжение пробоя (не менее 1500 В).Кроме того, использование электрододержателей, полученных прессованием порошка молибдена исключает возможность возникновения областей с напряжениями в стекле, вследствие сохранения остаточной пористости (не более 5) играющей роль демпфера, что повышает величину рабочего напряжения пробоя. Остаточнаяпористость,Величина радиуса наружногоскругления,мм Напряжение пробоя, В Примечания Плохое эатекание шликера, Повышенный брак на операции герметизации Удовлетворительноезатекание шликера 4,5 0,05 1200 1530 0,1 4,5 4,0 6,3 0,2 0,3 1610 1612 Расплав ТР растрав поверхности элект о оде жателейСоставитель Ю. ЯреськоТехред М.Моргентал Корректор Э, Лончакова Редактор Б;Федотов Заказ 251 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 После пайки выводов и сборки заготовки прибора осуществляют герметизацию.При этом герметизацию проводят по двумтехнологическим схемам,Окунание и обволакивание собранного 5прибора шликером из порошкового стекла,Для придания правильной формы и удаление излишков жидкого герметизирующегосостава остекловываемые приборы вращают, в.этом случае форма (точность размеров) 10изделий не регламентируется. Высушенныепри 80-105 С в течение 30-60 мин изделияоплавляются при 700 С в защитной атмосфере.Заливку в съемную форму при групповой технолгии изготовления диодов осуществляют следующим образом. В открытуючасть формы с предварительно загруженной металлической арматурой и кристаллами (заготовками приборов) заливают 20шликер из порошкового стекла. Заливкуосуществляют при комнатной температуре,затем загерметизированные приборы в кассете сушат в проходной печи при температуре 80-105 С в течение 0,5-1,0 ч, после чего 25оплавляют при 700 С в защитной атмосфере,Изготовленные полупроводниковыеприборы испытывали с целью определениянапряжения пробоя. При этом оставляли неизменной технологию получения всех компонентов прибора и его герметизацию,изменению подвергалась форма кромокэлектрододержателей радиус наружногоскругления), Как следует из приведенных в35 Формула изобретения Способ изготовления полупроводникового прибора со стеклянным корпусом, включающий изготовление молибденовых электрододержателей, соединение пайкой электрододержателей с медными выводами и полупроводниковой структурой и герметизацию заготовки стеклом, отл и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения рабочего напряжения, молибденовые электрододержатели изготавливают прессованием по-. рошка при давлении 400-500 МПа, спекание при 1000-1100 С в течение 1-1,5 ч в атмосфере водорода и выдержке в вакууме при 1100-1800 С в течение не менее 3 ч, а герметизацию стеклом осуществляют заливкой заготовки шликером из порошкового стекла, сушкой в печи при 80-105 С в течение 0,5-1,0 ч и оплавлением в защитной атмосфере,