Вакуумная система и способ ее работы

)5 РО 14 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАВЕДОМСТВО СССРГОСПАТЕНТ СССР) ТН ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1(57) Изобретение относится к вакуумнойтехнике и позволяет повысить экономичность при циклическом режиме работы системы, При разгерметизированной рабочейкамере (К) 1 осуществляется вакуумирование расширительной К 5. В этот момент вентиль (В) 3 закрыт, В 6 открыт, а насос (Н) 4 включен. Затем К 1 герметизируется, Н 4 отключается, В 3 открывается и К 1 сообщается с К 5. давления в К 1 и 5 выравниваются, В 6 закрывается, включается Н 4 и К 1 откачивается до рабочего давления. По завершении технологического процесса в К 1 Н 4 отключается, В 6 открывается, давления в К 1 и 5 выравниваются, В 3 закрывается, В 2 открывается, К 1 разгерметизируется. Одновременно Н 4 включается, В 6 открывается и К 5 откачивается. Далее цикл повторяется.2 с.п, ф-лы, 1 ил,1784746 Составитель В.Кряковкин Техред М,Моргентал Корректор О,Юрковецкая Редактор Заказ 4354 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент.", г.,ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к области вакуумной техники; а именно к вакуумным системам и технологии вакуумированиявакуумных камер при их циклическом режиме работы. 5Цель изобретения - повышение экономичности,На чертеже представлена схема вакуумной системы.Вакуумная система содержит рабочую 10камеру 1, соедийейную при помощи трубопроводов, снабженных вентилями 2 и 3, с.атмосферой, вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5, Между вакуумнымнасосом 4 и расширительной камерой 5 установлен вентиль 6.Способ работы вакуумной системы реализуется следующим образом..При разгерметизированной рабочей камере 1 (в процессе размещения в ней либо 20замены обрабатываемого в вакууме изделия) осуществляется вакуумирование расширительной камерй 5 - вентиль 3 закрыт,а вентиль 6 открыт, насос 4 включен. После,окончайия подготовки изделия рабочая камера 1 герметизируется, насос 4 отклвчается (либо перекрывается вентилем, на.чертеже не показанным), вентиль 3 открывается и давления в рабочей и расширительной камерах 1 и 5 выравниваются, Вентиль 306 закрывается, включается насос 4 и рабо-.чая камера 1 откачивается до.требуемогодавления, при котором осуществляется технологическая операция обработки загру- -женного изделия, По окойчании 35технологического процесса насос 4 отключается, вентиль 6 открывается, камеры 1 и 5сообщаются, давление в них выравнивается, затем вентиль 3 закрывается, вентиль 2открывается, происходит разгерметизация 40рабочей камеры 1, а одновременно включа-ется насос 4 и осуществляется вакуумирование расширительной камеры 5. Далее цикл повторяется,Экономичность достигается тем, что вакуумным насосом 4 из расширительной камеры 5 удаляется лишь количество газа, которое остается в ней после двухкратного сообщения с рабочей камерой 1, причем в процессе второго сообщения часть газа переходит в рабочую камеру 1, т.е. расширительная камера 5 как бы предварительно вакуумируется перед подключением к насосу 4, тем самым затраты собственно насоса на ее вакуумирование снижаются.Формула изобретения 1, Вакуумная система, содержащая рабочую камеру, соединенную при помощи трубопроводов, снабженных вентилями; с атмосферОй и расширительной камерой, и вакуумный насос, о т л и ч а ю щ а с я тем, что, с целью повышения экономйчности при циклическом режиме работы, вакуумный насос подключен к трубопроводу, соединяющему рабочую и расширительную камеры,2, Способ работы вакуумной системы, включающий предварительное. вакуумирование расшйрйтельной камеры, герметизацию рабочей камеры, выравнивание давлений в рабочей и расширительной ка-. мерах путем их сообщения между собой, вакуумирование рабочей камеры до рабочего давления и последующую ее разгерметизацию, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что перед разгерметизацией рабочей камеры повторно выравнивают давление в ней и расширительной камере путем их сообщения между собой, отсоединяют расширительную камеру от рабочей и осуществляют ее вакуумирование одновременно с разгерметизацией рабочей камеры.