Способ контролируемого растворения эпоксидных корпусов

СООЗ СОВЕСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 1755334 А 1 СПУБЛИК 21/306 1)5 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР САНИЕ И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ 2(54) СПОСОБ КОНТРОЛИРУЕМОГО РАСТВОРЕНИЯ ЗПОКСЙДНЫХ КОРПУСОВ (57) Использование: растворение корпусов и ИМС в электронной технике при анализепричин брака, Сущность изобретения: закрепление ИМС во фторопластовой кассете.Помещение кассеты в горячий травящий Т раствор, Обработка кассеты с ИМС холодным олеумом. Нейтрализация в бутиловом е спирте и в 10-200-ном растворе карбонатааммония. Промьвка в деионизованной воде,(21 4869083/25(72) В.И, Арро и Р,А. Донцова56) Отраслевой стандарт: Микросхемы интегральные, Методы испытаний. ОС11.073,013-83, с. 26.Стандарт предприятия: Растворенипластмассовоо корпуса, СТП Юф 9 - 78,Отраслевой стандарт: Микросхемы интегральные. Методы испытаний, ОСТ11.073,013 - 83, с, 27,Изобретение относится к электронной стмассь 1, приводящее к разрушению консттехнике, в частности к анализу причинот- рукции прибора, трудоемкость и знергоемклонения характеристик ИМС от заданных; кость операции, так как необходимов том числе причин брака, .длительное кипячение серной кислоты дляИзвестен способ вскрытия пластмассо- ее обезвоживания,вых корпусов, заключающийся в выдержке Наиболее близким к предлагаемому яв-,ИМС со шлифованными корпусами в мета- ляется способ, по которому растворение 1крезоле, нагретом до 100 - 120 С, до раствб- пластмассы осуществляеот в серной кислорения пластмассы (1-2 сут). : те, Для этого на корпусе вырезают канавку,Недостатками этого метода являатся иа глубину 0,5 мм, наливают в стакан 100 мл. .необходимость механической обработки, концентрированной серной кислоты и накоторая может приводить к поврежденио гревают до 120-2200 С. ИМС во фтороплаконструкций прибора, и применение в каче-стовом держателе погружают в стакан истве растворителя метакрезола, обладаю- травят до оголЕния кристалла и мест термо-,щего высокой токсичностью и компрессии на рамке. Отмывкуосуществлядлительностьюобработ.: ют опусканием ИМС в стакан с горячейИзвестен способ удаления пластмассо- водой на 1-2 мин, затем холодной проточ-вогс корпуса растворением его в кипящейной водой 10-15 мин.обезвоженной серной кислоте 330 С) с по- . Недостатками указанного способа являследующей промывкой в холодной обезво- ются возможность нарушейия целостностиженной серной кислоте и в этиловом спирте монтажа при вырезайии канавки, коррозия(последовательно), алюминиевых контактов в среде необезвоНедостатками указанного способа явля- женной серной кислоты, содержащей 4-6%ются неконтролируемое разрушение плэ . воды, так как известно, что при 120-220 Суказа 1 ная реакция проходит достаточно быстро, отсутствие гарантии полного удалениясерной кислоты, следовые количества которой могут вызвать дополнительную коррозию алюминия в процессе сушки и анализаИМС,Целью изобретения является осуществление возможности локального растворения корпусов при сохраненииметэллиэации.Для реализации способа используюткассету, которую изготавливают из фторопласта, состоящего из пяти частей; верхняячасть кассеты, нижняя часть кассеты, средняя часть кассеты, держатель и крепежныйвинт, В верхней части кассетырасйоложеноквадратное отверстие на том месте над кристаллом, где пластмассу необходимо локально растворить. В средней части кассетырасположены углубление, соответствующеепо форме и размерам корпусу, и щели дляметаллических выводов (ножек), Щели посвоей форме и размерам в средней и нижней частях, или только в средней в случаекоротких выводов, кассеты должны точносоответствовать длине и наклону вйводов.Щели в нижней части кассеты не должныбыть сквозными.Все три части плотно соединяютсй между собой при помощи крепежных винтов.Таким образом, обеспечивается растворение пластмассы в основном только над кристаллом; а остальные участки корпуса ивыводы защищены от воздействйя-растворителя-деструктора фторопластом. Держатель используется для, погружения Схемы вкассете в растворитель. Это позволяет управляемо растворять корпус на требуемомучастке без использования предварительной механической обработки матерйалакорпуса,Способ осуществляют следующим образом;Интегральную схему, предйазйаченнуюдля анализа, закрепляют крепежными винтами во фторопластовую кассету с длинным" держателем так, чтобы подлежащий растворению участоккорпуса над кристаллом былобращен вниз,Интегральную микросхему в корпусе изпластмассы ЭФП-Ст закрепляют в специально разработанйом фторопластовом де; ржателе и опускают в предварительнонагретый до 190 С раствор следующего состава,ф. СгОз 10, олеум (2 90.35 Ф о р м у л а и 3 о б р е т е н и я Способ контролируемого растворения зпоксидных корпусов, включающий обработку корпуса в нагретой серной кислоте, визуальный контроль состояния корпуса и промывку в горячей и холодной деионизо 40 ванной воде, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью осуществления возможности локального растворения корпусов при сохранении металлизации, растворение проводят в кассете, помещенной в состав, состоящий из серной кислоты, трехокиси хрома и трех- окиси серы; взятых в следующих соотношениях, мас,о; Трехокись хрома 6-10 Трехокись серы 0,5-5,0 Серная кйслота Остальное а после растворения проводят последовательно промывку в холодном олеуме, бутиловом спирте и в 10-20%-ном водном растворе карбоната аммония На один корпус расходуют 50 мл раствора. За растворением пластмассы над кристаллом наблюдают визуально, После удаления пластмассы с кристалла промыва ют корпус в холодном олеуме (2,0) в тече-.ние 10-20 с, потом - 1-2 мин в изобутиловом спирте й помещают вместе с держателем в нейтралиэующий раствор (1,0 оь-ный раствор углекислого аммония), где расслабля ют винты крепления держателя для лучшего.доступа раствора к пластмассе, Нейтрализованный корпус промывают сначала проточной деиониэованной водой (15 мин) - для анализа внешнего вида, затем - горячей во дой (80 С) в течение 60 - 80 мин для измерения параметров. Сушку проводят в термостатепри 110 С - 30 мин. Вскрытые кристаллы ИМС проверяют под микроскопом ММУйри увеличении в 56 раз, 20 Сйособ обеспечивает контролируемоерастворение зпоксидных корпусов ИМС непосредственно над кристаллом без использования предварительной механической обработки, сполным сохранением монтажа 25 алюминиевых дорожек и контактов без ихпоследующей коррозии, Гарантируется воз можность измерения характеристик ИМС,Использование способа позволяет объективно исследовать и оценить причины 30 брака. Особенно важно использовать способ при разработке новых конструкций ИМС, приближающихся по своим параметрам к мировому уровню.