ZIP архив

Текст

О П И С А Н И ЕО 3454 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства8025Заявлено 28 Х.1964 ( 904963/26-10) л. 42 Ь, 34 д,420, 12 оединением заявки1 ПК 60 Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССРиоритет Сг 01 ЬУДК 535.411531.717.82 (088.8 Опубликовано 21.И 1,1965, Бюллетень15Дата опубликования описания 4.1 Х.1965 Авторыизобретени А, Н. Захарьевский и А, Ф, Кузнецов 3 аявител РОИНТЕРФЕРРОМЕТР лупрозрачнон микрвидиост Микроин света 1, по объектив 3 состоящий ких пласти стинки 4 м ерферрометр упрозрачную п и интерферроиз двух неравннок 4 и 5, Цент таллизирована,одержитастинку 2етрическиой толщиальная чаа одна из сточник микроузел ы плос ть пла поверх одписная групгга170 В основном авт. св.80251 описан микроинтерферрометр, используемый для определения малых перемещений или для определения чистоты поверхностей.Предложенное дополнительное изобретение расширяет область применения микроинтерферрометра по авт, св.80251, поскольку позволяет использовать его в качестве микропрофилометра для получения профилограмм поверхностей с беспорядочно направленными штрихами, например таких, как бугорчатые поверхности мелкошлифованных стекол или твердых металлов, Это достигается тем, что пластинки интерферрометрической части имеют различную толщину; в передней фокальной плоскости окуляра установлена щелевая диафрагма, а за окуляром помещены спектральная призма прямого зрения и отсчетное устройство.На фиг. 1 показана принципиальная схемаоинтерферрометра; на фиг, 2 - общий профилограммы контролируемой поверхностеи пластинки 5 покрыта посветоделительной пленкой,Интерференционная картина, воспроизводящая микропрофиль контролируемой поверх ности 6, возникает в плоскости изображения7 и рассматривается через окуляр 8. В плоскости изображения установлена щелевая диафрагма, и глаз 9 наблюдателя видит одну светлую линию, За окуляром помещена спек тральная призма 10 прямого зрения, котораяразворачивает светлую линию в спектр, перессченный полосами, число которых зависит от разности хода в двух ветвях интерферрометра. Шероховатость контролируемой по верхности изображается в виде зигзагов (см.фиг. 2) на этих полосах. Зигзаги на всех полосах одинаковы, поэтому для измерения можно использовать любую из полос.Устройство для отсчета измеряемых вели чин (высоты зигзагов) выполнено в виде проекционной системы, содержащей источник света П и щелевую диафрагму 12, расположенную в фокальной плоскости линзы И.Система проецирует на спектральную приз му 10 отсчетный индекс, представляющий собой светлую линию, Перемещение светлой линии в поле зрения осуществляется поворотом спектральной призмы вокруг оси 14 при помощи микрометренного винта 15. Отсчет 30 величины перемещения светлой линии произЗаказ 220415 Тираж 775 Формат бум, 60 Х 90/8 Обьем 0,16 изд. л. Цена 5 к ЦНИПИИ Государственногэ комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, 4, Сапунова, 2 1 ипо графин,водят по отсчетному барабану 16 микрометренного винта. Г редм ет изобретенияМикроиптерферрометр по авт. св, М 80251, отличаюиийся тем, что, с целью использования его в качестве микропрофилометра, пластинки ннтерферрометрической части имеют различную толщину; в передней фокальной плоскости окуляра установлена щелевая ди афрагма, а за окуляром помещены спектраль ная призма прямого зрения и отсчетное устройство, выполненное, например, в виде про- Б ецируемого на спектральную призму светового отсчетного индекса, вводимого в поле зрения поворотом спектральной призмы при помощи микрометренного винта с отсчетным барабаном,

Смотреть

Заявка

904963

А. Захарьевский, А. Ф. Кузнецова

МПК / Метки

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02

Метки: 173454

Опубликовано: 01.01.1965

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-173454-173454.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">173454</a>

Похожие патенты