Способ определения концентрации носителей тока в приповерхностном слое полупроводниковыхматериалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 171925
Авторы: Блинникова, Ерусалимчик, Ефимов, Концевой, Кудин, Майоршин, Предпри
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 24,11.1964 ( 882998/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 22.71.1965, БюллетеньДата опубликования описания 17 Л 111,196 л. 21 д, 11 оа Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР. Ерусалимчик, 1 О, А, Концевой, В, Д. Куд В. Майоршин и Е. В. Блинникова-Вяземсоскомитета по электронной технике СССР, А. Ефимов, И . И. Горгораки,Предприятие Заявитель РЕДЕЛ ЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ НОСИТЕЛЕВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ПОЛУПРОВОДНИКОМАТЕРИАЛОВ А ПОСОБ В ПРИ 1 Х% ем + уггга9 одлисн Известны способы для определения концентрации носителей тока в тонких приповерхностных слоях, осуществляемые зондовым методом и методом измерения пробивного напряжения контакта металл в :полупроводник,Предложенный способ определения концентрации носителей тока в приповерхностном слое полупроводниковых материалов отличается от известных тем, что для обеспечения возможности контроля концентрации носителей тока тонких слоев независимо от абсолютной толшины пленки, повышения точности и упрощения измерений образец помещают в электролит, через границу раздела электролит - полупроводник пропускают постоянный ток и определяют величину тока, при котором величина фото-э.д.с возбуждаемой при импульсном освегцении границы раздела полупроводник - электролит, равна нулю,Для предварительной обработки поверхности эпитаксиальных пленок германия и кремния предложены травители и составы электролитов: для германия 15 - 18% НГ и для кремния 5 - 18% НР.Эпитаксиальные пленки предварительно обрабатывают: кремний в травителе, содержащем 1 г НР (42%)+4 г НКОз (65 ), и германий в травителе, содержащ 15 г НСН,СООН+10 г НХО;, (65%) 5 г НГ (42% ),Лаком ХСЛ наклеивают кольцо из фторопласта, в которое заливают каплю электролита и опускают в нее два платиновых электрода. Один из электродов служит для пропуска ния постоянного тока, а другой - фиксируетфотопотенциал. Контакт с низкоомной подложкой осуществляется через электролит.Граница раздела пленка - электролит освещается импульсами света от лампы-вспышки 10 с применением фильтра, создающего поверхностное возбуждение. Измерение производят, подавляя фото-э.д.с, постоянным током, пропускаемым через границу раздела полупроводник - электролит, Наблюдение фотопотен циала и момент его исчезновения производятпо переднему фронту импульса, возникающего на экране осциллографа. Это исключает влияние ошибок вследствие дембер-эффекта пли эффекта на границе раздела электролит - 20 подложка.Предмет изобретенияСпособ определения концентрации носителей тока в приповерхностном слое полупро водниковых материалов с использованиемсветового импульсного возбуждения, отличаюгггится тем. что, с целью обеспечения возможности контроля концентрации носителей тока тонких слоев (порядка микрона) незави симо от абсолютной толщины пленки, повы;5 аказ 15419 Тираж 1575 Формат бум. 60;(90/8 Обьем О, изд. л. Цена 5 коп. ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2 щения точности и упрощения измерений, испытуемый образец помещают в электролит, через границу раздела полупроводник в электролит пропускают постоянный ток и определяют величину тока, при котором величина фото-э.д,с., возбуждаемой при импульсном освещении границы раздела полупроводник - электролит, равна нулю,
СмотретьЗаявка
882998
Е. А. Ефимов, И. Г. Ерусалимчик, Ю. А. Концевой, В. Д. Кудин Е. И. Горгораки, В. В. Майоршин, Е. В. Блинникова земска, Предпри тие Госкомитета электронной технике СССР
МПК / Метки
МПК: G01N 27/00
Метки: концентрации, носителей, полупроводниковыхматериалов, приповерхностном, слое
Опубликовано: 01.01.1965
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-171925-sposob-opredeleniya-koncentracii-nositelejj-toka-v-pripoverkhnostnom-sloe-poluprovodnikovykhmaterialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения концентрации носителей тока в приповерхностном слое полупроводниковыхматериалов</a>
Предыдущий патент: Высокотемпературный полупроводниковый выпрямитель
Следующий патент: 171926
Случайный патент: Устройство для измерения магнитной восприимчивости