Способ контроля точности изготовления круговых структур

Номер патента: 1670387

Авторы: Григорьев, Ларионов, Лукин, Рафиков

ZIP архив

Текст

1670387 Составитель Б,ЕвстратовТехред М.Моргентал Корректор М.Демчик Редактор Н.Никитина Заказ 2737 Тираж 372 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 Л - длина волны используемого источника света.Формула изобретения Способ контроля точности изготовления круговых структур, выполненных в виде чередующихся прозрачных и непрозрачных кольцевых зон, заключающийся в том, что измеряют характеристики кольцевых зон и определяют отклонения характеристик от расчетных, по которым контролируют точность изготовления кольцевых зон, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности и точности контроля, в процессе изготовления выполняют не прозрачные метки кольцевой формы в нескольких непрозрачных кольцевых зонах круговых структур, характеристики кольцевых зон определяют для меток, а в качестве характеристик кольцевых зон принимают 10 величины радиусов меток,

Смотреть

Заявка

4714710, 05.07.1989

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4671

ГРИГОРЬЕВ ВАДИМ ОЛЕГОВИЧ, ЛУКИН АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ЛАРИОНОВ НИКОЛАЙ ПЕТРОВИЧ, РАФИКОВ РАФИК АБДУРАХИМОВВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 11/16

Метки: круговых, структур, точности

Опубликовано: 15.08.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1670387-sposob-kontrolya-tochnosti-izgotovleniya-krugovykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля точности изготовления круговых структур</a>

Похожие патенты