Устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок

Номер патента: 1659930

Авторы: Гришин, Дроботько, Усов, Шаповалов

ZIP архив

Текст

(51) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ ин, В.Ф.Дроботько, Н.Н.Усовлов4 (088,8)С.Я,Кгайт, М.Н.Кгубег. 1 ЕЕЕи, МА 6-18. 1982, М 6, р. 1295 ТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНГНИТОСТРИКЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОКние предназначено для контров тонких магнитных пленок. Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано для контроля тонких магнитных пленок при их производстве.Целью изобретения является повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок, содержащем корпус и две опоры, мсжду которыми в качестве мембраны установлена исследуемая пленка, одна из опор выполнена в виде вогнутого сегмента сферической поверхности, содержащей сквозные отверстия в вакуумируемый объем, обеспечивающие плотное прилегание пленки по всей ее . поверхности, Причем, сферическая опора выполнена из материала, обладающего большой теплоп роводностью. о устроиство для изгнитострикции тоно При откаобьема иссле гибаться,что ческих напркоторых рас пленки. Рост происходит д нется крышки(56) Х, ЮапцТгдпз оп Мд 91297,(57) Изобретероля парамет юл. %24физико-технический институт 659930 А 1 Цель изобретения - повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок, Устройство содержит корпус 1, опору 2, датчик 3, тонкую магнитную Пленку 4, крышку корпуса 5, являющуюся второй опорой, внутренняя поверхность которой, расположенная внутри вакуумируемого обьема, имеет форму сегмента сферической поверхности со сквозными отверстиями 6. При снижении давления тонкая магнитная пленка прогибается и прилегает к сферической поверхности, обеспечивая плотный термический контакт, исключающий градиент температур по поверхности пленки.1 ил. На чертеже показанмерения константы маких магнитных пленок,Устройство содержит корпус 1, кольцевую опору 2, крышку 3 корпуса, перфорированную отверстиями 4, исследуемую пленку 5 и датчик 6, При измерении константы магнитострикции индуктивно-частотным способом в качестве датчика использовалась выносная индуктивность колебательного контура автодина,Устройство работает следующим обраке газа из вакуумированн дуемая пленка начинает и риводит к появлению меха жений в пленке, величина ет с увеличением прогиба механических напряжений тех пор, пока пленка не коспредставляющей собой сег1659930 Формула изобретения рарЮаку ниспсу Составитель Н.Романоволяда Техред М.Моргентал Корректор И,Муска Редакто аказ 1843 Тираж 330 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 мент сферической поверхности, При дальнейшей откачке газа величина прогибапленки остается неизменной, что тождественно постоянному механическому нагружению пленки, В этом случае поверхность 5пленки находится в постоянном тепловомконтакте со сферической поверхностью.Крышка корпуса изготовлена из материалас хорошей теплопровсьдностыо например,из латуни). Это позволяет устранить градиеНт температуры по асей поверхности пленки и легко изменять температуру вдиапазоне от 10 до 500 К,Устройство позволяет также проводитьизмерения на промышленных пластинах 15любоЮ диаметра, например в диапазоне 30- 102 мм. Устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок, содержащее корпус, крышку корпуса и опору, при атом корпус разделен на две полости, одна из которых через крышку корпуса связана с вакуумным насосом, а в другой расположен датчик, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, поверхность крышки корпуса, расположенная со стороны вакуумного насоса, снабжена сквозными отверстиями и выполнена в форме вогнутого сегмента сферической поверхности, своей вогнутой частью обращенного в сторону вакуумного насоса,

Смотреть

Заявка

4689610, 10.05.1989

ДОНЕЦКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ АН УССР

ГРИШИН АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ДРОБОТЬКО ВАЛЕРИЙ ФЕДОРОВИЧ, УСОВ НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ, ШАПОВАЛОВ ВЛАДИМИР АНТОНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 33/05

Метки: константы, магнитных, магнитострикции, пленок, тонких

Опубликовано: 30.06.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1659930-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-konstanty-magnitostrikcii-tonkikh-magnitnykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок</a>

Похожие патенты