Электродуговой испаритель геттера

) Допол льное 22) Заявлено 30.06.7 с присоед123) Приор ением заяв сударстненный комет СССР оо делам нзобретенн н открытнйт но 30.12,7 бл ков Дата опубликован(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ГЕТТЕР Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к электродуговым испарителям плазменных сорбционных вакуумных насосов, предназначенных для получения и поддержания высокого вакутйа вэлектрофизических установках.Известен электродуговой испаритель геттера, содержащий. катод, установлеттный наохлаждаемом основании и отделенный отпускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя 1,Известный испаритель работает следующим образом,Возбуждение дуги производится с помощью пускового электрода, отделейного откатода и соединенного с помощью токоввода с источником пускового напряжения; Приподаче высоковольтного импульса напуско-вой электрод происходит электрический пробой по поверхности изолятора в зазоре между пусковым электродом и катодом. Продукты эрозии пускового электрода и ттзолятораобразуют предварительную плазму, достаточную для возникновения основного дугового разряда между катодом и охлаЖдаемым анодом испарителя. Однако, при достаточном запасе геттера, определяемом заданным сроком службы,действительный срок службы такого испарителя определяется долговечностью пускового электрода,"подвергающегося в процессе работы значительным термоциклическимнапряжениям и эрозии. Кроме того, при испарении геттера происходит постепенное частичное запыление поверхности изолятора пускового электрода парамигеттера, образующими токопроводящую пленку, которая придостижении определенной толщины приводит к закорачиванию катода и пусковогоэлектрода и препятствует возбуждению основной дуги.Все эти факторы ограничивают срок службы, снижают надежность и приводят к необходимости демонтажа испарителя для замены пускового электрода. При этом происходит нарушение вакуума в откачиваемойсистеме, что является недопустимым в процессе эксплуатации большинства электрофизических установок,Целью изобретения является повышениесрока службы инадежности электродугового испарителя,УК 1 ЗДН 11 ДЯ ЦЕЛЬ ЛОСТИГДС 1 ТС 5 ТССМ, 1 ТО КДТОД ВЬ ПОЛ ЦСи В ВИЛЕ ОТДСЛЬЦЫХ Р 11 ВЦОУДДЛСРЦ - цых от ткоподволд элементов, а пусковой электрол - В Виде втулок, разме 1 цс 1 гцых коаксиальцо последним, причем токоподвод установлен с возможностью поворота и сцаб- з жец пружинным контактом, поочередно Вздимолействуюцсим с втулками.На фиг. 1 изображен описываемый электродуговой исцаритель; ца фиг. 2 - то же, вил сверху.Электродуговой исцарите 21 ь геттера со 10держит катол, установленный ца охлаждаемом основании 1 и отделенный изолятором 2 от пускового электрода, и токоподвод 3, расположенный по оси испарителя. Катод выполцен В виле Отдельс 1 х равноуддленных 1 з от токоподволд 3 элементов 4, 5, 6, 7, а пусковой электрол - - В Виде Втулок 8, рязмсцег 1 ых" кодксиальцо последним, причем токоподвод 3 установлен с возможностью поворота и снабженпружинным контактом 9, поочередно взаимодеиству 1 ощим с втулками 8О20В процессе работы испарителя по Окончании срока службы элемента 4 токоподвод 3 поворачивается и с помощью пружинного контакта 9 входит в электрический контакт с пусковым электродом следующего эле мента 5 и так далее вплоть ло окон 1 дния срока службы последцего элемента в блоке,В результате процесс испарения геттера поддерживается практически непрерывным до полшго расхода перводчального расхода геттера в испдрителс. Количество кдтодцых элементов в блоке можс т бытьразличным и ограничивается лиц 1 ь зада 1 цым сроком службы испдрителя и его габаритами.В связи с этим обеспечивается бесперебойность работы, что особенно важно при работе термоядерных и лазерных установок, а также ускорителей различного назначения,Бесперебойность работы в течение всего заданного срока службы позволяет полностью исключить объем работ, связанный с повторением циклов откачки системы с использованием дорогостояцих откачных средств вследствие нарушения высокого вакуума при частом демонтаже испарителей.Формула изобретенияЭлсктродуговой испаритель геттера, солерждсций катод, установленный на охлаждаемом основании и отделенный от пускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя, Отличиюгцийея тем, что, с целью увеличения долговечности и повышения надежности, катод Выполнен в виде отдельных равноудаленных от токополвода элементов, а пусковой электрол - в виде втулок, размещенных коаксиально последним, причем токоподвод установлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодсйствуюцим с втулками.Источники информации,принятьс во вцимацие при экспертизе 1. Авторское свилетельство СССР528386, кл. Г 04 В 37/02, 1975.706563 иг. 2 Составитель Н. ЮшинТехред К. Шуфрич Корректор М. Выгула Тираж 772 Подписное Редактор Т. МорозовЗаказ 8189(28 И Государст делам изоб осква, Ж -Патент,. ЦНИИ по 113035,филиал П Пенного ко етении и 5, РаушсУжгород митета СССРоткрытийая наб., д. 4/5ул. Проектная, 4