Устройство для металлизации порошка из газовой фазы

Номер патента: 863711

Опубликовано: 15.09.1981

Авторы: Дмитриев, Красовский, Радциг, Шаталов

МПК: C23C 11/02

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...Внутри распределителя 13 коаксиально с ним расположен холодильник 16, выполненный в виде теплообменника типа труба в трубе.Реакционную камеру 1 вакуумируют до давления 10 мм рт.ст. Подложки 4 нагревают до 300 - 350 С нагревао телем 5. Затем нагревают порошок карбонила вольфрама 10 до 72 С. Пары карбонила вольфрама поступают в каналы 12 нагревателя 11 парогазовой смеси, где подогреваются до 200 С,о после чего пары поступают в распределитель 13. Температуру холодильника 16 поддерживают равной 70 С.о Температуру стенки 14 распределителя 13 поддерживают равной температуре разложения карбонила вольфрама и составляющей 270 С. Темо пература стенки 15 определяется тепловыми потоками с подложек 4 и холодильника 16.Благодаря высокой разности...

Номер патента: 354015

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Клементьев, Косух, Тютюнников, Функе, Ямсков

МПК: C21D 9/00

Метки: газовой, фазы

...изделий.Это достигается тем, что внутренний диаметр реакционной камеры по отпошеццю к наружному диаметру подложки выполнен при соблюдении условияг реакционной камерыгг подложки На чертеже представлено описываемое устройство, общий вид.Устройство состоит цз цилиндрической реакционной камеры 1 с концентрически размещеццой по отношению к ней подложкой 2 и нагревательного элемента 3, Внутренний диаметр реакциоццой камеры по отцошецию к царужцому диаметру подложки выполнен при соблюдении условия Парогазовая смесь, состоящая цз металлсодеркащего компонента, например галогенида, тугоплавкого металла и газоносцтеля, црокодцт из цспаритсля 4 в кольцсобразцый коллектор 5, расположенный у основания ггоял 5 кктг, ц через отверстия в цсм поступает в...

Номер патента: 654694

Опубликовано: 30.03.1979

Авторы: Выдрин, Ермолаев, Князев, Фомичев

МПК: C23C 11/02

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...вращения барабана 4 и ввода 3 парогазовой смеси и наклонены в сторону, противоположную направлению вращения барабана 4, что обеспечивает эффективное перемешивание парогазовой смеси, Ввод 3 парогазовой смеси и пластины б изготовлены из токонепроводящего термостойкого материала, например кварца, что позволяет исключить их нагрев от индуктора 7, смонтированного на крышке 2, благодаря чему исключено разложение парогазовой смеси на вводе 3 и пластинах 6. На стенках камеры 1 равномерно по периметру расположены электромагниты, обмотки 8 которых установлены снаружи камеры, что позволяет уменьшить их нагрев при обработке деталей, а полюсные наконечники 9 расположены на внутренней поверхности стенок камеры 1 по окружности, коаксиальной с барабаном...

Номер патента: 726212

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Королев, Рычагов, Соловьев, Столяров

МПК: C23C 11/00

Метки: газовой, осаждения, фазы

...в смежных перегородках взаимно смещены по углу и/или дна метру.Предложенное устройство в двух вариантах выполнения представлено на фиг, 1 и 2. Устроиство состоит из вертикально расположенного цилиндрического корпуса 1 и двух съемных днищ 2, снабженных приспособлениями 3 для вертикального закрепле ния нескольких съемных обогреваемых подложек 4, причем последние равномерно расположены пс сечени 5 о рабочего объема таким образом, чтобы расстояние между ося ми смежных подложек было равным 2 - 4их диаметрам. 1-,апример, при наличии- б1.Л, 46подложек (фиг. 1), их равномерно распола: гают по- окружности дйаметром 0;55 - 0,65диаметра корпуса, равного 5 - 12 диаметрам подложки; при размещении одной подложки по оси корпуса остальные...

Номер патента: 733135

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Глущенко, Ковалев, Федорова

МПК: C30B 25/08

Метки: газовой, пластин, фазе

...камеры.На чертеже показано предлагаемое устоойство.Устройств содержит корпус с вмонтированным нагревателем 1. Внутри нагревателя 1 установлена реакционная камера 2, в которой размещен держатель 3 с обрабатываемыми полупроводниковыми пластинами 4. В реакционной камере 2 имеется зона образования конденсата 5, показанная от пунктирной линии к выходу реактора, и рабочая зона б,Между рабочей зоной б и началом зоны образования конденсата 5 размещена вертикальная перегородка 7 с отверстием по центру, в которое установлен патрубок 8 для отвода газов в виде наклонной трубки.Для отвода продуктов реакции устройство имеет вытяжную вентиляцию 9.Выход реакционной камеры ограничен от внешней среды теплоизолирующим экраном 10.Работа предлагаемого...