Интерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер

Номер патента: 149228

Авторы: Голубкова, Коронкевич, Финкельштейн

ZIP архив

Текст

. Класс 42 Ь, 12 ю СЕР ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ПИ Ан ВТ1 б 4 Годпасная грр В. П. КоронТЕРфЕРОМЕ нкельштейн и В. П. ГолубковаЕРКИ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХВЫХ МЕР И. ДЛЯ ПРО КОНЦ67076125Совете Министров СС 1960 г. за л 1 открытий и Заявлено 18 ма ам изобретений в Комитет по Опубли зобретений15 за 1962 г. вано в Бюллете Известны интерферометры для проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным способом.Отличительная особенность описываемого ин а состоитв том, что в нем применен сменный клиновой ком а ФабриПеро.Интерферометр такой конструкции дает возможность ртехнологические возможности, т. е. может быть использованконтроля плоскости и плоскопараллельности, так и для относиизмерения длины концевой меры.На чертеже изображена оптическая схема описываемого интерферометра. Измерение интерферометром производится сравнительным методом по образцовой мере. Лучи от монохроматического источника 1направляются конденсатором 2 через светофильтр 3 на щелевую диафрагму 4, которая находится в фокусе коллиматорной линзы Б,Пройдя коллиматор, параллельный пучок лучей через полупрозрачное зеркало б и стеклянную пластину 7 освещает передние измерительные поверхности образцовой н проверяемой мер 8 и 9. Концевь 1 е.еры находятся друг от друга на расстоянии, равном их ширине, Частьсветового пучка проходит через этот промежуток и посредством призгчы 10 осве 1 цает задние измерительные поверхности концевых мер. Плосьости пластины 7 и призмы 10, расположенные против измерительныхповерхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 1 серебра или алюминия.Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделигельного слоя пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерфсрируют. Картины интерференционных полос рассматриваются через наблюдательную систему, состоящую из объектива 12 и зрительной тру.бы 13 небольшого увеличения,терферометр пенсатор тип асшприть сак для тельного149228Отрицательная линза 14 вводится в ход лучей перед началом измерения. При этом можно видеть изображение входного зрачка, отраженного от передних и задних поверхностей концевых мер, а также от пластины 7 и призмы 10.По виду и взаимному расположеник интерференционных полос судят о величине неплоскостности и непараллельности проверяемой меры. Для облегчения отсчета величины наклона и ширины полос, характеризующих непараллельность меры, в фокусе объектива 15 зрительной трубы установлено отсчетное устройство 1 б представляющее собою вращающуюся сетку с угломерной и линейной шкалами, Для измерения отклонений срединной длины иопользуется источник 17 белого света, а в фокусе объектива 15 зрительной трубы вводится клиновой компенсатор 18 типа Фабри-Перо, предназначенный для компенсации разности хода. При этом в поле зрения наблюдаются интерференционные полосы переналожения в белом свете.Отклонение срединной длины проверяемой меры от образцовой определяется по отсчетному устройству клинового компенсатора, градуированного в микронах.Описываемый интерферометр может найти применение для контроля и относительных измерений концевых мер.Предмет изобретенияИнтерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным методом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей прибора, в нем применен сменный клиновой компенсатор типа Фабри-Перо.Составитель М. А. Хесинедактор 3. А. Москвина Техрсд А. А. Камышникова Корректор Г. С. Мосолова Подп. к пеи. 27.Хг. Формат бум. 70 Х 108/в Объем О,8 изд. д. Зак. 9965 Тираж 7 оО Цена 4 коп. ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Лосква, Центр М. Черкасский пер., д. 2/6. Типография ЦБТИ, Москва Петровка, 14.

Смотреть

Заявка

667076, 18.05.1960

Голубкова В. П, Коронкевич В. П, Финкельштейн Е. И

МПК / Метки

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, концевых, мер, плоскопараллельных, проверки

Опубликовано: 01.01.1962

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-149228-interferometr-dlya-proverki-ploskoparallelnykh-koncevykh-mer.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер</a>

Похожие патенты