Суспензия для химико-механического полирования полупроводниковых подложек

Номер патента: 1269729

Опубликовано: 15.11.1989

Авторы: Белов, Кузьмин, Прозоров, Филиппов

МПК: H05K 13/06, H05K 3/30

Метки: блока, модульного

...контактные элементы в виде печатногомонтажа или металлизированных отверстий 7, выводов 8 радиоэлементов 2 для непосредственного присоединения к ним изолированного провода 6, Затем осуществляется соединение контактных элементов непрерывным изолированным проводом на одной целой плате, причем вначале первый координатный механизм 18 подачи осуществляет относительное перемещение соответствующей платы 1, 2 3, 4 и монтажной головки 16 в заданное положение, в котором изолированный провод 6 крепится пайкой или сваркой к выбранному контактному элементу или к штыревому выводу 8 радиоэлемента 12. С помощью координатного стола 17 осуществляется относительное перемещение этой же платы и монтажной головки 16 в положение, соответствующее положению...

Номер патента: 1458173

Опубликовано: 15.02.1989

Авторы: Горшков, Савельев

МПК: B24B 13/00

Метки: исследования, истиранию, оптических, полировании, сопротивления, стекол

...ф 70 мм при Е = 5 мм, Находят на графике среднее значение сполировывания. Определяют технологическую постоянную по Формуле 25 среднее значение сполировывания стекла в обработанной 30 локальной зоне;общее давление инструмента на поверхность заготовки;скорость обработки;время обработки.35 Способ был реализован следующим образом. При определении технологической постоянной использовались станки для автоматизированной довод ки АДи АД, позволяющие осуществлять плоскопараллельное движение инструмента. Величина эксцентриситета плоскопараллельного движения, скорость обработки и давление инстру мента на обрабатываемую поверхность на этих станках устанавливаются перед обработкой и могут изменяться в широком диапазоне. Технологическая...

Номер патента: 1528820

Опубликовано: 15.12.1989

Авторы: Сандулов, Устименко

МПК: C25F 3/26

Метки: анодного, ниобия, полирования, электролит

...при полировании и к возрастанию эффективной плотности тока. Кроме того, органическая добавка изменяет в растворе характер токовых колебаний, превращая их в незатухающие, - это устраняет необходимость непрерывного возобновления этих колебаний, т.е. процесс полирования становится непрерывным, что сокращает время полирования. больше предлагаемого водит к заметному ухуд1528820 Формула изобретения ганического вещесгва меньше предлагаемого количества значительно увеличиваег время полирования и уменьшает работоспособность электролита.Изобретение может быть проиллюстрировано примерами, представленными в таблице.Полированию подвергали ниобий, а также его сплав НТ 50. Материалом про тивоэлектрода служила нержавеющая сталь 12 Х 18 Н 10 Т....

Номер патента: 1535899

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Богомолов, Мощев, Петров, Трибрат

МПК: C25F 3/24

Метки: полирования, стали, электролит, электрохимического

...4 ( ) = 1,5 1,55 г/см) 6 г дидцетонакрилдмида. К полученному раствору добав)тяют при перемешивании остальные 5 кг Н РО и 5,5 кг НБ 04 (= 1,83-1,84 г/см). В полученных 10,4 л раствора обрабатывают плоские стальные плдститктт размерами 10 х0 хЗ мм .После пропускдния в те.ение 3 мин тока плотностью 30 А/д;т глубин .того слоя (на сторону) с.стдвля) 11 мкм при съеме 1 72 г/дтт, )го в 3,5 раза больше, чем В зпек.р те, не 5 содержащем диацетонакриламид. По",дздтель относительного сглаживания неровностейК увеличился с 76% (электроолит без дидцетонакриламида) дс 79%.40Результаты исследований для различных значений концентраций основных компонентов электролита и плотности тока представлены в табл, 1 и 2. вите:ьноТабл Съем металла 1 С,г/дм, для...

Номер патента: 1620284

Опубликовано: 15.01.1991

Авторы: Галяев, Штейнгарт

МПК: B24D 17/00

Метки: кругами, лепестковыми, полирования

...лепестков круга 1 регулируютскорость истечения потока воздуха или 3жидкости из сопла 3, Поток, направленныйиз сопла 3, может затягивать из встречногосопла 4 СОЖ и распылять по поверхностилепестков, Сопла 3 и 4 устанавливают наопорах 5 для осуществления качения относительно опор 5, Качание сопел 3, 4 можнопроизводить, например, штангами гидроцилиндров, присоединенных к командоаппарату, При качании сопел 3, 4 поток воздухаили жидкости перемещается вдоль лепестка, оебспечивая деформацию разных частейлепестка; отгиб левого угла лепестка с изгибом, отгиб правого угла лепестка. Поток воздуха или жидкости направляют наповерхность лепестка, отстоящую от периферии лепестка на 0,1-0,2 длины лепестка,при этом поток перемещают вдоль...