Устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОБЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 8015554 51)5 С 3 0 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЕТЕПЬСТ ВТОРСК о асоЬ 1 1;.с 11 аиЬе гергахга 1сез.1976, 9,ЛЛ ГИО ьной пло Из вертнк винт 1Уст и используют етение относится интегральных к технологимикросхем,олучен йство ра ает следуюци ется упроцеванне угла изобретения Бель ние уст наклона тва и регулиложкодержател На 0 5щиваем с ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМРИ ПНТ СССР(56) Сепя Р., РаЫ:е т,А шц 1 гр 1 е гесЬпгцие ШЮГог где гпчезг 8 агоп оГягоп зевпсопйпсГог зпгйД.РЬуз. Е.: Вс 1 1 пзггпш), М 11, р. 924-925.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОЛЕ ВОЙ ЭПИТАКСИИ чертеже представлено устройство разрез.Устройство содержит вакуумную камеру 1, размещенный внутри нее подлажкодержатель, шток 2 которого соединен со средством 3 врацения и средством наклона относительно вертикальной оси. Средство наклона выполнено в виде горизонтальной плиты 4, жестко закрепленной на корпусе камеры 1, и кольца 5, установленного на плите 4. В кольце 5 размецена сферическая ца фа 6, закрепленная на корпусе 7 штока 2. На плите 4 установлены регулируемые по высоте упоры 8 и 9. В цапфе 6 выполнен паз 10, а кольцо 5 имеет штифт 11, взаимодействуюций с пазом 10. Для поворота подложкодержателя в(57) Иэобретенне относится к технологии получения интегральных микросхем и обеспечивает упроцение устройства и регулирование угла наклона. Устройство включает вакуумную камеру, в которой размещен подложкодержатель.Подложкодержатель соединен со средствами вращения и наклона, Отличия устройства относятся к выполнению средст ва наклона, которое позволяет проводить измерения наращиваемого слоя в процессе роста, позволяет регулироо вать угол наклона в пределах 0-5 1 ил. разом,Упоры 8 и 9 регулируют по в 1 соте,при этом в исходном положении сланец13 взаимодействует с упором 3, а приповороте корпуса 7 фланец 13 взаимодействует с упором 9 и обеспечиваетнаклон подложкодержателя в пределахоПри проведении измерений выраого на подложке 14 слоя, не остандвливая вращение штока 2, с помоцью винта 12 фланец 13 поднимают до взаимодействия с упором 9, при этом штифт 11 перемещается .по пазу 10 сф рической цапфы 6 и происходит отклонение штока 2 вместе с подложкой 14 на необходимый угол. После проведени измерений, шток 2 возвращают в и ходное положение при помощи винта 12 до упора фланца 13 в упор 8,Таким образом, предлагаемое устройство обеспечивает отклонение под1555401 ложкодержателя с одновременным еговращением для измерения параметровнаращиваемого слоя, при этом процесснаращивания слоя не прерывается припроведении измерений. формула изобретения Составитель П,Дав довач Техред Л,Кравчук 1(орректор О. Гол черявая аз 540 Тираж 344 ПодписноеИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 В Производственно-издательский комбинат "Патент", г,Ужгород, ул. Гагарина,10 Устройство для молекулярно-лучевой 10 зпитаксии, включающее вакуумную камеру и подложкодержатель, размещенный в ней на штоке, соединенном со средствами вращения и наклона относитель 15 но вертикальной оси, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью упроще -ния устройства и регулирования угланаклона подложкодержателя, средствонаклона выполнено в виде горизонтальной плиты, жестко закрепленной накорпусе камеры, и кольца, в которомустановлена сферическая цацка, закрепленная на ытоке подложкодержателя,на плите установлены регулируемые повысоте упоры, в цапЬе выполнен паз,а кольцо имеет штиФт, взаимодействующий с этим пазом.
СмотретьЗаявка
4303667, 07.09.1987
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Ю-9087
ЛОМОВОЙ ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, СТРОЦКИЙ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ, МАРОШЕК ГАЛИНА ЯКОВЛЕВНА
МПК / Метки
МПК: C30B 23/08
Метки: молекулярно-лучевой, эпитаксии
Опубликовано: 07.04.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1555401-ustrojjstvo-dlya-molekulyarno-luchevojj-ehpitaksii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии</a>
Вакуумное грузозахватное устройство
Номер патента: 931646
Опубликовано: 30.05.1982
Авторы: Андреев, Буренков, Воронов, Окунь, Шрон
МПК: B66C 1/02
Метки: вакуумное, грузозахватное
...закреплена квадратная втулка 17, кграням которой прижаты плоские пружины 18, закрепленные на корпусе 9,На штоках 6 жестко закреплены упоры 19, а на одном из штоков жесткозакреплен упор 20, выполненный в видезпластины, с горизонтальным пазом О,нижняя сторона которого короче верхней.Втулка 12 с упором 13 может повораочиваться на валу 11 на угол 90, причем при нижнем положении втулки 12дпугол ее с горизонталью должен быть впределах 10-30 о,Гзузозахватное устройство работаетследующим образом.Подвешенное к крюку механизма подь 45ема устройство опускается на груз (фиг.6), при этом поршень 5 со штоками 6перемещается в крайнее нижнее положение, а упор 20, взаимодействуя с упором13 втулки 12, поворачивает последнююна угол 90 о, При этом...
Вакуумное грузозахватное устройство
Номер патента: 943166
Опубликовано: 15.07.1982
Авторы: Андреев, Буренков, Окунь, Панкратов, Савин
МПК: B66C 1/02
Метки: вакуумное, грузозахватное
...В пазах 14 размещены шарики 15. Вместо шариков могут быть так же установлены цилиндрические ролики, Поверхность втулки 13имеет накатку для придания ей шероховатости. На штоках 6 жестко закреплены упоры 16, а на одном из штоковжестко закреплен упор 17 с прикрепленной к нему резиновой накладкой 18.Грузозахватное устройство работаетследующим образом.эоПодвешенное к крюку механизма подьема устройство опускается на груз,при этом поршень 5 со штоками 6 перемещается в крайнее нижнее положение,а упор 17, взаимодействуя с поверхностью втулки 13 (фиг. 2-3) поворачи- З 5вает ее по часовой стрелке и черезшарики (ролики) 15 вал 11 на угол 90,При этом шарики 15 заклиниваются впазах 14, Стопорная чека 12, усталоновленная неподвижно на валу 11,...
Насадок к устройствам вакуумной пылеуборки
Номер патента: 1595457
Опубликовано: 30.09.1990
Авторы: Минько, Трищенко, Чертов
МПК: A47L 9/02
Метки: вакуумной, насадок, пылеуборки, устройствам
...системой отсоса. Профиль боковых образующих корпуса выполненпо кривым, описываемым уравнениемаоЬос+ (г - аоЬо) сЬос+ (г - Ьо) с;г шая полуось эллипса всаса;я полуось эллипса всаса;а корпуса; АСАДОК К УСТРОЙСТВАМ ВАОЙ ПЫЛЕУБОРКИзобретение относится к конструктивементам пылесосных установок, Цель ения - повышение производительасадок содержит корпус, имеющий в ном сечении форму эллипса, с патрубсвязи с системой отсоса. Профиль бообразующих корпуса в ыпо пиен поописываемым уравнением а; = с+ (г - аоЬо) сбольшой оси эллипса всаса (длины всасы, вающей щели) до 2 т=д, - диаметра патрубка, что позволяет обеспечить на участке от всаса до патрубка плавное, безотрывное и невозмущенное течение воздуха внутри насадка н тем самым снизить его...
Загрузочно-дозировочное устройство вакуумных установок
Номер патента: 558157
Опубликовано: 15.05.1977
Авторы: Аузулея, Гольцман, Каушанский
МПК: G01F 11/00
Метки: вакуумных, загрузочно-дозировочное, установок
...скошенными гранями (фиг. 2 и 3), Такое конструктивное выполнение устраняет задержку сыпучего материала на поверхности вакуумплотного ввода 4 и обеспечивает полное его просыпание в вакуумную камеру, Клапан 17 при отсоединснном байонетном соединении поджимается к входному отверстию бункера пружиной 21. Для осуществления плотного прилегания клапана 17 к стенкам входного отверстия бункера служит уплотнитель 22, вмонтированный в корпус бункера 3 в виде кольцеобразной прокладки.Клапан 17 так же, как и седло 12, имеет коническую поверхность, благодаря чему, вопервых, облегчается просыпание сыпучего материала, во-вторых, по мере отхода клапана от посадочного места изменяется сечение выходного отверстия бункера, что необходимо для дозирования...
Насадок к устройствам вакуумной пылеуборки
Номер патента: 884691
Опубликовано: 30.11.1981
МПК: A47L 9/02
Метки: вакуумной, насадок, пылеуборки, устройствам
...этом последние расположены .вдоль оси насадка. Лепестки 5 имеют продольные выступы 6 со стороны, обращенной к всасывающему отверстию 2.На корпусе 1 закреплены пластинчатые пружины 7, а всасывающее отверстие по свое. му внешнему диаметру имеет буртик 8.Работа насадка осуществляется следующим образом.Насадок присоединяют посредством выход. ного патрубка 3 к одному из устройств вакуумной пылеуборки и размещают на очи. щаемой поверхности. Лепестки 5 упираются в буртик 8, устанавливаясь под тупым углом к плоскости всасывающего отверстия 2 насадка, что позволяет им свободно расходиться.Поскольку лепестки 5 прижаты и очищае. мой поверхности пластинчатыми пружинами 7, то, поднимаясь и опускаясь относительно друг друга, они повторяют ее...
Предыдущий патент: Устройство для получения монокристаллических слоев
Следующий патент: Способ получения монокристаллов твердого раствора германий кремний
Случайный патент: Правильник для каменноугольного пека