ZIP архив

Текст

154615 Класс Н 011; 21 д, 11 вв ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС писная группа9 Л. С. Милевск СПОСОБ ИЗ ТОВЛЕНИЯ УНИПОЛЯРИОДА ГО ЕМН И ЕВОГО Заявлено 18 июля 1962 г. за ХЪ 78делам изобретений и открытий при Боллетене изобретений и товарных 02,26-9овете Министров СССР иаков Ъ 10 за 1963 г. Комитет иОпубликовапо В известном способе изготовления униполярного кремниевого триода каналы образуют определенной геометрией р-гг-переходов прибора путем создания затворов вплавлением или диффузией примеси, а также определенным расположением контактов истока и стока.Предлагаемый способ изготовления униполярного кремниевого триода отличается от известного тем, что для упрощения технологии создания каналов гг-типа в монокристалле кремния р-типа вырезают пластины с краевыми дислокациями, их полируют в травителе, состоящем из одной части НР и двух частей НХОз после чего помещают в специальный раствор для выявления дислокационпых ямок травления. В результате такой обработки на двух противоположных сторонах пластины в местах пересечения дисклокаций с поверхностью образца образуются ямки, глубина которых зависит от длительности травления. Затем пластина подвергается диффузионному отжигу при температуре 1200 - 1300-С в течение 6 - 8 час, после чего на ее внешней поверхности образуется р-п-переход, т, е, с обеих сторон пластины и вдоль дислокаций создаются п-области.После диффузионного отжига края пластины сошлифовывают таким образом, чтобы созданные п-области замыкались только через каналы п-типа, число которых равно числу дислокаций, пересекающихпластину.При использовании кремния и-типа диффузией примеси создают каналы р-типа.На чертеже показана схема изготовленного по предлагаемому способу униполярного кремниевого триода.154615Обработанная указанным выше способом пластина представляет собой основу униполярного триода, После нанесения контактов 1 на противоположные поверхности 2 а-типа, а также после вплавления контакта 3 в сердцевину 4 р-типа триод может быть собран в стандартном корпусе.Предмет изобретенияСпособ изготовления униполярного кремниевого триода, о т л ич а ю 1 ц и Й с я тем, что, с целью получения в объеме полупроводникового кристалла р-типа каналов ц-типа, из монокристалла кремния р-типа вырезают пластины с дислокациями краевого типа, травлением полируют их и выявляют дислокации, путем диффузионного отжига создают и-область с обеих сторон пластины и вдоль дислокаций, после чего края пластины сошлифовывают таким образом, чтобы созданные области п-типа замыкались только через каналы п-типа. Редактор В. Корзун Техред А. А. Камышникова Корректор В. П. фомина Подп. печ. 5 Ч 11 - 63 г. Формат бум. 70 Х 108/16 Объем 0,18 изд. л. Зак, 1788/7 Тираж 1225 Цена 4 коп, ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4.Типография, пр. Сапунова, 2.

Смотреть

Заявка

787702

МПК / Метки

МПК: H01L 21/334

Метки: 154615

Опубликовано: 01.01.1963

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-154615-154615.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">154615</a>

Похожие патенты