H01L 21/334 — многоступенчатые процессы для изготовления униполярных приборов

Номер патента: 154615

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H01L 21/334

Метки: 154615

...с поверхностью образца образуются ямки, глубина которых зависит от длительности травления. Затем пластина подвергается диффузионному отжигу при температуре 1200 - 1300-С в течение 6 - 8 час, после чего на ее внешней поверхности образуется р-п-переход, т, е, с обеих сторон пластины и вдоль дислокаций создаются п-области.После диффузионного отжига края пластины сошлифовывают таким образом, чтобы созданные п-области замыкались только через каналы п-типа, число которых равно числу дислокаций, пересекающихпластину.При использовании кремния и-типа диффузией примеси создают каналы р-типа.На чертеже показана схема изготовленного по предлагаемому способу униполярного кремниевого триода.154615Обработанная указанным выше способом пластина...