153276

Номер патента: 311176

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Афонин, Пульцин

МПК: G01N 3/42

Метки: глубины, легирующих, перераспределения, слоя, элементов

...может иметь различную форму (пирамида, шарик и т. д.). Исследуемую поверхность подвергают термообработке, а затем внедряют в нее тот же индектор при постепенно возврастающей нагрузке. Определяют параметры отпечатков, соответствующие заданной нагрузке, Точность определения глубины слоя перераспределения легирующих элементов повышается с уменьшением разницы между последующими и предыдущими величинами приложенной нагрузки, Строят зависимость параметров отпечатков от величины нагрузки. По отклонениям полученной зависимости от прямолинейной находят уча,гЙ Пос тмст изобретенияСпособ определения глубины слоя пере 10 О аспределения легирующих элементов, заключагощиР 1 ся в том, по гредварительно подгогазливают исследуемую поверхность образца,...

Номер патента: 155560

Опубликовано: 01.01.1963

Авторы: Бабиков, Бокарев, Депутатов, Парфенов, Сербии, Чарский

МПК: H01L 21/00

Метки: автоматусортировки, заготовок, запирающего, ориентации, селеновых, слоя, элементов

...9, и пружину возврата 10; механизм сбрасыванпя отобранных в момент замера селеновых элементов, состоящий из электромагнитов 11 и выбиваемых упоров 12, которые воздействуют на рычаг 13 заслонки 5 в период сброса элемента при повороте диска.Кроме того, устройство включает механизм вибрационного цилиндрического бункера 14; устройство для ориентации поступающих из вибробункера селеновых элементов, состоящее из подвижных направляющих 15, соединенных шарнирно с электромагнитами 1 б, щупа 17, соединенного шарнирно с электромагнитом 18, и лотка 19 сброса элементов в гнезда диска.При включении автомата элементы, засыпанные в вибробутнкер 14, поднимаясь по винтовой линии, заходят в направляющие 15 механизма ориентации, На этой позиции щуп...

Номер патента: 1441146

Опубликовано: 30.11.1988

Авторы: Гринберг, Едзиев, Зак, Кучмин, Рожанский, Соловьев, Ходов

МПК: F27B 15/00

Метки: кипящего, печи, пуска, слоя, теплоотводящими, элементами

...теплоизоляции снижает теплоотвод примерно в семь раз, т, е. приводит к увеличению количества тепла, идущего на разогрев собственного слоя и, соответственно, к снижению расхода топлива и сокращению времени пуска печи. Выполнение слоя теплоизоляции из асбеста обусловлено низкой абразивной стойкостью этого материала и его быстрым истиранием огарком при выходе на рабочие технологические параметры.Толщина слоя теплоизоляции 3 - 5 мм обусловлена тем, что теплоотводящие элементы должны иметь теплоизоляцию только до выхода печи на рабочие технологические параметры. После этого теплоотводящие элементы должны начать теплоотвод избыточного тепла кипящего слоя и отходящих газов, т. е. теплоизоляция должна быть разрушена. Выбор толщины слоя...

Номер патента: 716087

Опубликовано: 15.02.1980

Автор: Кузьмин

МПК: H01J 37/26

Метки: изображения, ориентации, растрового, элементов

...аналогично электронному зонду те.левнзнонной трубки. При этом с образна смощью детектора снимается видеосигнал, ко 20рый подается на экран ЭЛТ. Если образец, покоторому сканирует электронтгый зонд, состоитиэ ориентированных элементов, то измсряячастоту модуляции видеосигнала сни ласмого сдетектора, можно судить о том, на сколько по. то 4) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ РАСТРОВОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ3716087направление сканирования по строчной развергке совпадает с ориентацией сГркту 1 ГньЖзлементов образца, Это объясняется тем, что модуляция видеосигнала отображает структуру обраэца, Если направление сканирования (в на.правлении строчной развертки, т,евдоль строки) совпадает с ориентацией, то электронныйзонд двигается вдоль...

Номер патента: 1155128

Опубликовано: 27.10.1996

Авторы: Врублевский, Кадомский, Календин, Невзорова, Погоцкий, Полякова, Точицкий

МПК: H01L 21/66

Метки: литографических, размеров, слоев, элементов

Способ измерения размеров элементов литографических слоев, включающий формирование увеличенного изображения литографического слоя, измерение параметров увеличенного изображения и преобразование этих параметров в размер элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед формированием увеличенного изображения в литографическом слое выполняют голографическую решетку и наносят на его поверхность латексные сферы, увеличенное изображение литографического слоя формируют с помощью растрового электронного микроскопа, после чего проводят юстировку микроскопа по латексным сферам, а параметры увеличенного изображения измеряют по форме распределения видеосигнала, при этом определяют расстояние B, соответствующее размеру...