Устройство для калибровки вакуумных течей

Номер патента: 1500894

Авторы: Кузьмин, Набиуллин

ZIP архив

Текст

(19) (И) 27/ 51) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМ ДЕТЕЛЬСТЙ сопг.- р.73-74 Часццш ч.10,БРОВКИ ВА прибо- ьзовай точяемь чиваеа с привакуум 4 с ани о о в аетикалибр течь 5 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТпо изОБРетениям и 01 нРытиямПРИ ГКНТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАЛИУМНЫХ ТЕЧЕЙ (57) Изобретение относится к ростроению и может быть испол но для калибровки с повышенно ностью вакуумных течей, приме в технике течеискания К отка мой камере 1 известного объем соединенными к ней образцовым метром 2 и калибруемой течью Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки поверки течей, применяемых в технике течеискания.Целью изобретения является повышее точности калибровки течей.На чертеже изображена схема устройства для калибровки вакуумных течей,Устройство содержит вакуумную камеру 1 с присоединенным к ней образцовым вакуумметром 2, Через двухходовой кран 3 к камере присоединеныуемая течь 4 и дополнительнаяидентичная калибруемой течи. пробным газом присоединяются также дополнительная течь 5, идентичная калибруемой, но без пробного газа, и двухходовой кран .3, причем калибруемая и дополнительная течи подсоединены к камере через входы двухходового крана, выход которого соединен с откачиваемой камерой. Одновременное и отдельное натекание в камеру газа от калибруемой и дополнительной течей завершается поочередным измерением давления в камере при обоих рабочих положениях крана. Это позволяет исключить систематические погрешности,.связанные с Ао" новыми побочными потоками различных Сфе газов, возникающими вследствие десорбционных процессов, а также из-за натекания извне, что, в свою очередь, повышает общую точность калибровки вакуумных течей.ил. Клапан 6 и вакуумный насос 7 служдля откачки камеры.Устройство работает следующимобразом.После предварительной откачкимерыи течей 4 и 5 до предельностаточного давления Р, измеряепо вакуумметру 2, устанавливаютмент времени Т 0 кран 3 в среднееположение. С этого момента начинся накопление газа в объемах краи течей 4 и 5. При достаточно длтельном процессе накопления - азакуумная камера 1 отключена. Ватекамеру 1 откачивают до давления9 Чаказ 4857/37 Тираж 7 НИИПИ Государственного коми113035, Моск одписное иям при ГКНТ СС15 тета по изобретениям и открыва, Ж, Раушская наб., д. Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гага 10 закрывают клапан 6 и открывают кран 3: сначала в момент временина калибруемую течь 4, а потом после вторичной откачки камеры 1 до давления Р (и закрытия клапана 6) в момент времени йп на дополнительную течь 5.При открытии крана 3 на течь 4 давление Р, устанавливающееся в объеме Ч, равно где о - побочный поток любых газов,выделившихся из стенок объемы накопления;О - поток пробного газа.При открытии крана 3 на течь 5 давление Рп, устанавливающееся в обьеме У, равноР"=Р + --- (с"-е) (2)0 ч0 ф где Р и Р" - давления измеряющиесяпо образцовому вакуумметру 2.1Совместное решение уравнений (1) и (2) дает формулу для искомого потока пробного газа Я течи 4: При достаточно длительном процессе накопления газа 10 Повторив несколько раз измерения,определяют среднее значение потока О и принимают его в качестве номинального значения калибруемой течи. 5 формула изобретения Устройство для калибровки вакуумных течей, содержащее вакуумную камеру, калибруемую течь с пробным газом, образцовый вакуумметр, клапан и вакуумный насос 1 причем калибруемая течь и образцовый вакуумметр подсоединены к вакуумной камере, к которой через клапан подсоединен вакуумный насос, о т л и ч а ю щ е е - с я тем, что, с целью повьппения точности калибровки,в него дополнительно введены двухходовой кран и дополнительная течь, идентичная калибруемой, не содержащая пробного газа, при этом обе течи подсоединены к вакуумной камере через двухходовый кран.

Смотреть

Заявка

4274144, 11.07.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3634

НАБИУЛЛИН ВАХИТ ХУСНУЛЛОВИЧ, КУЗЬМИН ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 27/00

Метки: вакуумных, калибровки, течей

Опубликовано: 15.08.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1500894-ustrojjstvo-dlya-kalibrovki-vakuumnykh-techejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для калибровки вакуумных течей</a>

Похожие патенты