Способ изготовления сверхпроводящих свч-устройств

(51)5 Н 0 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ОП.Саратовкина ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ.(71) Институт химической кинетикии горения СО АН СССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ СВЧ-УСТРОЙСТВ(57) Изобретение относится к областиизготовления сверхпроводящих СВЧ"устройств. Целью изобретения является снижение брака эа счет повышенияточности изготовления и обеспечениясверхпроводимости в местах соединения элементов устройства. Поставлен"ная цель достигается тем, что слойметалла, образующего в процессе откига с материалом устройства соединениесо структурой типа А, наносят наместа соединения элементов, состав"ляющих устройство, после;чего осуществляют стыковку элементов и проводятотжиг. Таким образом, одновременнос образованиеМ интерметаллическогосоединения на рабочих поверхностяхустройства происходит процесс контактно-реактивной пайки в местах соединения элементов. Ю144019 ВНИ 1 ИИ Заказ 3328 Тираж 442 Подписнг е Произв,-полигр. пр-тие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к области1изготовлении сверхпроводящих СВЧ"устройств и может быть использованов ускорительной технике при созданииускоряющих структур.Целью изобретения является снижение брака за счет повышения точностиизготовления и обеспечения сверхпроводимости в местах соединения элемен Отов устройства,Способ осуществляют следующим образом,На элементы конструкции наносятслой металла, образующего в реэульта" 15те отжига с металлом устройства соединение со структурой типа Л, Толщина слон выбирается с учетом требований по точности усадки образующегося шва и того, что покрытие интерме 1таллида должно ,иметь .толщину в нес"колько глубин проникнонения СВЧ-поляв сверхпронодник, обычно толщинаслоя наносимого металла ие более 35 мкм. Это связано с тем, что сверхпроводящие соединения стехиометричес"кого состава обладают значительноболее низкой теплопроводностью прирабочей температуре, чем отдельные металлы например ниобий, КонкретныеР30условия отжига (давление, температура, продолжительность) определяютсясоставом получаемого интерметаллидаи толщиной нанесенного слоя,.Сущность способа состоит н том,Згчто в процессе отжига одновременнос образованием соответствующего интерметаллического соединения на рабочих поверхностях устройства происходит процесс контактно-реактивной,.4 Опайки в местах соединения (шнон) элементов устройства с образованиемтакже сверхпроводящего интерметаллида на этих контактных поверхностях.При этом малая толщина покрытия обеспечивает сохранение формы и точных45размеров устройства после отжига,П р и м е р. На механически подготовленные (шлифованные пастой на основе карбида титана с неплоскостностью и неплоскопараллельностью не 50 более 1 мкм) контактные и рабочиеповерхности элементов н количестве23 штук наносят гальванически слойолова толщиной 2 мкм, затем элементысоединяют встык и отжигают н вакууме-61050 С и течение 1,5 ч, затем быстроохлаждают со скоростью охлажденияне менее ч 0-50 С/мин. При этом у сое"диненного вединое целое устройствасложной формы в местах соединений ина открытых поверхностях образуется,согласно рентгеноструктурному и ме"таллографическому анализу слойИЬзБп, обладающий сверхпроводимостью,При этом усадка на каждый спай непревышает 1-2 мкм. Данный способ позволяет создавать сложные (объемные) СВЧ-конструкции, обеспечивая при этом получение точности размеров, однородности материала покрытия и высокой сверхпроводимости как на рабочих, так и на контактных (н местах соединений) поверхностях устройства. Формула изобретения Способ изготовления сверхпроводящих СВЧ-устройств, включающий созда-ние сверхпроводящего контакта междуэлементами устройства и формированиеинтерметаллнческого соединения соструктурой типа Л путем нанесеншяна его рабочую поверхность слоя соответствующего металла и проведение отжига в условиях образования интер" мегаллического соединения, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения брака за счет повышения точности изгоговленил, перед проведением отжига н условиях образонания интерметаллического соединения одновременно с нанесением слоя соответствующего металла на рабочую поверхность его наносят на места контакта элементов, а затем осуществляют стыковку элементов по местам их контакта,