Устройство для позиционирования образца в вакууме

(21) 4130824/24 (22) 02.07.86 (46) 30.06.88. Б (71) Восточно- институт л. Ло 24 ибирский ехнологически кие сведения Энергия, 1966 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ С(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБРАЗЦА В ВАКУУМЕ(57) Изобретение относится к электронной технике. Устройство для позиционирования образца в вакууме содержит вакуумную кафС, дд4Я,"З меру с вводом движения с гибким уплотнительным элементом 1 (сильфоном), на котором закреплен стакан (С ) 2 с узлом 3 позиционирования и установочным гнездом 4. В полости С 2 установлен термоэмиссионный нагреватель 6, размещенный на стержне 7 из термостойкого электроизоляционного материала и закрепленный на фланце 8, имеющем возможность перемешаться вдоль оси стержня С 2. фланец 8 со С 7 через уплотнительную прокладку пристыковывается к фланцу 5 и производится откачка полости стержня до высокого вакуума. Изменением тока накала, изменением величины его эмиссионного тока и подбором величины ускоряющего напряжения для эммитированных электронов задается требуемая тсмперату- д ра образца в диапазоне от комнатной доФ 1000 С. 1 ил.1 кбрегенце л носится к электроннойи может быть использовано для ис с.)с нация свойств образца при внешних воздействиях.ель изобретения -- повышение точцос 5 п) позиционирования при температурах до 110"С. то достигается выполнением штока лзлд позиционирования в виде стакана, внутри кото рого размещен ста ржен ь с терм оэм иссиоццым подогревателем, установленный с возможностью переме)цения вдоль оси ста О Кд 1)Д.11 д чертеже изображено предлагаемое.ус гройство.Устройство состоит из вакуумной камеры не показана, снабженной вводом движе ция с гибким уплотнительным элементом 1 (сильфон), на котором закреплен стакан 2 с узлом, позиционирования и установочным гнздм 4, причем стакан 2 снабжен первым до.)лцительць)л 1 фланцем 5, термоэмиссионного цдгревателя 6, рдзл)сщенного на стерж цс (, закрепленном цд втором дополнитель.ол флдние 8, ус")дс)овлецном с возможно.стью перемешеция вдоль оси стержня стакана 2. Установочное гнездо 4 выполнено в виде основания цз элсментов 9 и зажимов О 1 о(цсть стаканы 2 соединена со средствами откачки. Флани1 через уплотнительную 1)роклсдкл пристыковывается к вакул мной камере. При получении в ней разрежения сцльфоццод действием атмосферного давлсгцця рдст 51 гив(ется, )(Влекая зд собой флд 30 цси 5,;(о его осташ)вкц упорами микрометрцческцх юстировочцых винтов 12. Флднеп 8 со стержнем 7 через уплотнительцук) прокладку пристыковывдется к фланцу 5 ц проц цн,игся откачка илстц стержня зц) высокого ваклумз, после получения которого 35 включают накал термоэмиссиоцного нагрев тс ля 6 Измс цс (иел гока цакдлд, изменеЦцся ВЕТИЧЦНЫ ЕО ЭМИСсИОНЦОгО тОКа и поД.борм вличины ускоряю)пего напряжения , 1 и Э,(1 М и Т П р) Ви и Ы Х Э, ГЕ К Т р О и О В 3 3 Д с СТ С и 40 . ргчуем дя тел цердтурд брдзид в дцд па.ице от комнатной до 1000 С. Калибровка тс мне. рдтуры образцов производится для металлических образцов - привариванием термопары к поверхности образца с целью сопоставления величин термоЭДС контрольной и калибровочной термопар, а в случае полупроводников - четырехзондовым методом по величине удельного сопротивления образца, а также в обоих случаях - оптическим п 51 ро метро мЗатем в вакуумный объем напускается газ, взаимодействие которого с поверхностью твердого тела при различных температурах требуется исследовать.Предлагаемое изобретение расширяет функциональные возможности устройства, повышает надежность его работы при температурах до 1000 С, обеспечивает малую инерционность нагрева образца. Устройство для позиционирования образцз в вакууме, содержащее вакуумную камеру, снабженную вводом движения с гибким уплотнительным элементом, на котором закреплен шток с установочным гнездом, от.ичавщееся тем, что, с целью повышения надежности при температуре до 1000 С, шток выполнен в виде стакана, снабженного со стороны открытого торца первым дополнительным фланцем, при этом в полости стака ца установлен термоэмиссионный нагреватель, размещенный на стержне из термостойкого электроизоляционного материала, ззкрецленном ца втором дополнительном ф.)знце, установленном с возможностью перемещения вдоль оси стакана, на внешней поверхности дна которого размещено установочное гнездо, выполненное в виде сеточного )ц)лотна из термостойких электроизоляиионных элементов, на котором по периферии размещены зажимы, соединенные с токоввд 1 ли, а полость стакана соединена со средствами откачки.