Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей

Номер патента: 1359669

Авторы: Бубис, Канатов, Кузинков

ZIP архив

Текст

%СЕ(ф е 1 Ь ЬЙЙ т 1 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ПИСАНИЕ ИЗОБРВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Авторское свидетельство СССР У 171591, кл, С 01 В 11/24, 1964,Авторское свидетельство СССР У 1226041, кл. С 01 В 9/02, 1984. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы конических оптических поверхностей, Цель изобретения - возможность контроля формыконических поверхностей. Излучениемонохроматического источника 1 выходит из интерференционного блока 2,который формирует цилиндрические волновые фронты - рабочий и сравнения.Рабочий цилиндрический волновой фрондважды отражаясь от контролируемойконической поверхности, искаженныйее ошибками, интерферирует с цилиндрическим фронтом сравнения. Интерференционную картину наблюдают черезнаблюдательную систему 5, Для контроля всей площади конической поверхности контролируемый конус поворачивается вокруг своей оси. 1 ил.135 Составитель Л,ЛобзоваТехред М,Дидык Корректор М,Максимишинец Редактор Э,Слиган Заказ 6146/44 Тираж 677 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы коническихоптических поверхностей.Цель изобретения " возможностькентроля формы конических поверхностей.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроляформы оптических поверхностей.Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 излучения, напримерлазер, интерференционный блок 2, конус 3 с образцовой поверхностью, плоское автоколлимационное зеркало 4 инаблюдательную систему 5,Интерферометр работает следующимобразом,Излучение монохроматического источника 1 выходит из интерференционного блока 2, который формирует цилиндрические волновые фронты - рабочий и сравнения. Рабочий фронт падаетна конус 3 с образцовой. поверхностью,ось которой совмещена с осью кривизныцилиндрического волнового фронта. Отражаясь от конуса 3, плоский волновой фронт падает на зеркало 4 и идетв обратном направлении, Дважды отраженный от контролируемой коническойповерхности (не показана) волновойфронт, искаженный ее ошибками, интерферирует с цилиндрическим волновым 96692фронтом сравнения. Интерференционнуюкартину, несущую информацию об ошибках контролируемой конической поверхности, наблюдают через наблюдательнуюсистему 5, При контроле конус 3 собразцовой поверхностью заменяетсяна конус, поверхность которого подлежит контролю, Для контроля всейплощади конической поверхности поворотным устройством (не показан) обеспечивается поворот конуса вокругсвоей оси. Ошибку, вносимую поворотным устройством, можно исключить,используя конус с образцовой поверхностью.Формула изобретения Интерферометр для контроля формыоптических поверхностей, содержащийпоследовательно установленные монохроматический источник излучения иинтерференционный блок для формирования цилиндрических волновых фрон" 25 тов - рабочего и сравнения, и наблюдательную систему, е т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью обеспечения возможности контроля формыконических поверхностей, он снабженконусом с образцовой конической поверхностью, установленным так, чтоего ось совмещена с фокальной линиейрабочего цилиндрического волновогофронта, иплоским зеркалом, установленным перпендикулярно этой оси.

Смотреть

Заявка

4087704, 07.07.1986

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6681

БУБИС ИСАК ЯКОВЛЕВИЧ, КАНАТОВ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, КУЗИНКОВ МИХАИЛ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: интерферометр, оптических, поверхностей, формы

Опубликовано: 15.12.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1359669-interferometr-dlya-kontrolya-formy-opticheskikh-poverkhnostejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей</a>

Похожие патенты