Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1)4 С 01 В БРЕТЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИ(56) Авторское свидетельство СССРР 149910, кл. С 01 В 9/02, 1969.(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к областиизмерительной техники и может использоваться при производстве и контролекрупногабаритных оптических деталей.Целью изобретения является упрощениеконструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемыхповерхностей и повышение производительности контроля путем устранения. необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали, Излучение от источника поступает черезтелескопическую систему на светоделитель, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь, другой - в рабочую, в которой расположены объектив, вогнутоезеркало и контролируемая деталь.Поток, выходящий из объектива, отражается от поверхности вогнутого зеркала, падает на контролируемую деталь и, отразившись от нее, повторяет свой путь в обратном направлении.Лучи света, образованные потоком,отраженным от эталонной поверхностиплоского зеркала, интерферируют случами, выходящии из рабочей ветви.По виду интерференционной картинырегистрируемой системой судят о качестве контролируемой поверхности.1 з.п. Ь-лы, 2 ил.51 О15 20 формула 25 ЗО 35 40 45 50 55 Изобретение относится к иэмери" тельной технике и может использовать ся при производстве и контроле круйногабаритных оптических деталей.Целью изобретения является упроще ние конструкции интерферометра, расширение номенклатуры контролируемых поверхностей и повышение производи" тельности контроля путем устранения необходимости нанесения зеркального покрытия на поверхность детали.На фиг. 1 схематически представлен интерферометр; на фиг. 2 - вариант выполнения объектива.Интерферометр содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему 2, светоделитель 3, делящий падающий на него поток на два, в одном из которых установле но эталонное плоское зеркало 4, в другом - объектив 5, вогнутое зеркало 6, регистрирующую систему 7, вог" нутое зеркало 6 установлено за объективом 5 и ориентировано так, что его вогнутая поверхность обращена к объективу 5, объектив 5 выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.8 - контролируемая деталь.ьОбъектив 5 (фиг. 2) может быть выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз 9 и 10, плосковогнутая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклой поверхности менисковой линзы 10, менисковая линза ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.Интерферометр работает следующим образом.Излучение от источника 1 поступает через телескопическую систему 2 на светоделитель 3, делящий падающий на него поток на два. Один поток идет в эталонную ветвь интерферометра, образованную плоским зеркалом 4, другой - в рабочую ветвь, в которой расположены объектив 5, вогнутое зеркало 6 и контролируемая деталь 8. Поток, выходящий из объектива 5, отражается от поверхности вогнутого зеркала 6, падает на контролируемую деталь 8 и, отразившись от нее, по том повторяет свой путь в обратномнаправлении, т,е. выходит из объектива 5, отражается от светоделителя 3и поступает в в регистрирующую систему 7. Лучи света, отраженные от эталонной поверхности плоского зеркала4, иитерферируют с лучами, выходящими из рабочей ветви. Интерференционная картина регистрируется системой7, По виду интерференционной картинысудят о качестве контролируемой поверхности,В случае применения объектива 5,выполненного в виде плосковогнутойлинзы 9 и менисковой линзы 10, плоское зеркало 4 исключается из ходалучей, так как его роль выполняетплоская поверхность объектива 5. изобретения 1. Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель, делящий падающий на него поток на два, в одном из которых установлено эталонное плоское зеркало, а в другом - объектив и вогнутое зеркало, и регистрирующую систему, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции интерферометра, расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей и повышения производитель" ности контроля, вогнутое зеркало установлено эа объективом и ориентировано так, что его вогнутая поверхность .обращена к объективу, а объектив выполнен в виде плосковогнутой линзы с асферической вогнутой поверхностью и ориентирован так, что вогнутая поверхность обращена к вогнуто-. му зеркалу. 2. Интерферометр по п. 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что объектив выполнен в виде плосковогнутой и менисковой линз, плосковогнутая линэа ориентирована так, что ее вогнутая поверхность обращена к выпуклойповерхности менисковой линзы, а менисковая линза ориентирована так,что ее вогнутая поверхность обращена к вогнутому зеркалу.Тираж 670осударственногоелам изобретенийМосква, Ж, Ра Подписнотета СССРткрытийая наб., д. 4