Способ измерения шероховатости поверхности электропроводящих изделий

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК А ВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт прикладной физики АН БССР(56) Авторское свидетельство СССРЬг 0 1120159, кл. б 01 В 7/34, 1983.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯ 1 ЦИ Х ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано в машиностроении для контроля шероховатости поверхности металлических изделий. Целью изобретения является повышение надежности и достоверности результатов измерения шероховатости поверхностей высокого класса обработки. Способ ЯО 1352194 А 2(51) 4 (з 01 В 7/34 осуществляют путем приложения небольшого постоянного напряжения между поверхностью изделия 2 и измерительным электродом 1 одновременно с обработкой поверхности изделия аэрозолем, содержащим масло, До или после обработки изделия аэрозолем поверхность его подвергают охлаждению ниже температуры застывания масла, что предотвращает постепенное стека нне капель 4 масла с микровыступов 3 поверхности. Это обеспечивает стабильность тока разряда, протекающего между электродом 1 и контролируемой поверхностью изделия 2, при приложении между ними высоковольтного напряжения постоянного или переменного тока, создаваемого генератором 5, благодаря чему максимально используется эффект кажущегося увеличения высоты микровыступов, обеспечивающего повышение точности и разрешающей способности данного способа. 1 ил.Изобретение отцосится к контрольноизмерительной технике и может быть иснльзовацо Б машиистроении лля коцтро.ля состоя и и я цк) верхости металлически излелий, является уоерш(цствовацием изобретсиия ио авт. св. с) 112159.1 сгьц изцбрстсця яВлястся ИОыИсци( ИВЛСЖИОСТИ И ЛОСТОВрцОСТИ 513 ч 1 СрСИИ:5 с счет ц 5 лцт 5 рашсци 5 Ицстсцецио о лекация каиель масла с микровыстуиов контролируемой ИГ)верхцост 3, пуславливакивео цссаби,ьццсь тцкзряла, цц с,чии( К 0 1) О 1 0 (. (, Р Я Т 0 1 С ) О 0 В с 1 Т 0 С Т 1 И 0 С ) Х0 С Т 1.113 чртРКссыатиИ 10 ирслстсВ,1(ц(1 с.Т(1 ЦОВК(1 ЛГ 151 ОССИС ГВЛ(.И 51 СИЦ 003 И:51 С- рция шсрцхц 5 тцст И(и)срОсти э, сктрц- И )0 ВОЛ 51 ИИ Х 13;СЛ И И.5 Та ццК 3 СОЛСРЖ ИТ ИЗМ(.Р 111 ЬИЫИ ИГ 10.и И И эг (.( КО , 1 1 ,с: 5 М (.( 11 ( 1 1 1 11 И 1с 3 () 1 1 К св Р 0 1 5 с 1 1 1 1 ( ) М Р а С (. Т 0 531 3 1 ( П 1 1 ( ) Б С Р . 1( ) С Г 1 1 и ( )Г) ( ) .лирсм(ни излслия 2 с микрцвысг) и;313,5 ( ицкс:5 с 1 и 1 ЛР и Рцс и 10), ци Р.;1(15 иц и и 13 20 Л ИЬ Е Ирцхц 5 тцтц. 11(1 К(и 3 М ИКРОВЫСТ И)В ИОК(1:Ссц 1 Ы О(.(1 ЖЛцц 1 1 Э- рц),5 И(Э,СКтрцзцсИВС МСЛКИС К(И)1)3 1 1(3,1(3. 5 сцкцСЦГЬТЦ 1 И 1 СцРсТОР О И ИОС(,ЦВс (.,Ццц БКЛ К)ЧИВЫ И С 1 И 1 ИЗ 1(. РИ 1(Ь1 К(1 ) (1 ЗР 51 Л 3 1 Р 3 С(;11 1 С 111 Ж.1 3 3 р 3 лььм а,КтрцЛ(ми кццтрц,ирс Ьм 15 ЛГИМ 2. 1 с ВЬХОЛу ИЗМ(.р 31(.Г 151 6 Тцкс ;:Ср 51 лс 10 жст быть ВриОс;3 ии 6,цк)ЕГСТР 3111 (.О БС"1 РО(.111 ЦИ В .(10 (.ХС 10 И СРс 511(1151 (11 1ксЗ(11 с) ТКО 5 13;5)ЯЛс 1 с ИОБ(рх ицстси кццтрцг ирчсм 01 ) Оцьскта 33 Э 310 ицО (Н)РсЗс (ИС ИцксЗ(1 И) .(, ИО 06 Осч и( ст 33 5 к)т СГ 1 лчк) и 1(1 Оцр (1- ЗОМ.1 с 1(ОИТрц;13 р Сч 10 105 р 10 ГЫС,1( 351К ) (К 15 Р М (.1111 И ;3 а 10 111 3 К( , 11) 111 )3 3 О.1(13 с 1 И БОЗ;3 СИ(. Г 5 К) Г Ис И( (1 ЭРО:5(- , ИМ, СОЛ(РЖа вИМ Чс,1) ( ИСГОЧИК ИцСКЦ.ЬИОО Ис 1 ИРЯЖц 5 Иц 1051 ИИ(10 ГЦК 3Р с С И Ы.1 И Т С, 1 Ь 1 с С Г (1,1, 151 И О, 1 1( И5 с 3Р ( ) 5 ( )- э 5 цс ицк 3:5 и) . ЧгИР каи 1 .Р 1;с 3, эгктри:5 кнцс 5 Б ирцсс( ра( цы,с ии, 40 СТ 513 Вс 3 К)1(.5 15 06)ГсСТИ И 3 ИООГ 1 ЬИ,1 1( О ццрцлицст 3 эгсктричсскцГО ицгя Вбг из 1 м икрц СТ ИОВ 5 и цс(ЖЛс 0351 ца 3113 Х. 1 ОСС цбрсООТКИ ИО 5 рХИОСТ 3 СЛСГИ 51 2 сЭрцСИЗС 1 0(.Тс 1 ТК И 1 Ц ;33)15 ИОТ И;5 03;Ч Ц И 01 О;5(1- з)ра мжлу иовсрхи)стьн) из;слия 2 и из. 4-)М(РИТ(ЬЦЫ( ЭГСК 1 РОЛОМ 1 ИМТС(1 1 РОЛЧ 1 с, а ИцвРВОСТЬ 33;1 ЛИЯ 2 6 СГРО О.(ГсЖ Лс 1 К)Т ИИЖС ТСМИРс 1 ГМРЫ Зс 1 СЫс 1 ИЯ 31(1 с.:-)ти сирации мцгут быть сцвмешсць 1, Е.11 ИрцЛ В и(. ИГВ 151 ГЬ Газцм ( Исцрц 1)р, 503)ЛМХО(1 ), ОХГсЖ;3(Иц Ь 1 ЛО (.ОЦГБТСТВ 10- ией тс 1 исраг 511. Б з;висим(ст 1 От кцикрс- Ц Ы Х СГОВ , Цс 1 И РМСР, Сэ 31 )ОЪ.КТ 1 С МаИВИЬ 1 И (.1 О ОХ,1(ЖЛСИИС ИЕ Р(;1 1 сВ.ляст трЛИОстси, цх;ажЛ(и(. Объек 3 цжл быть олшсствл(чц заР;цс, ло 06 Р(1(ип - ки аэрозолем. 3 Ж,си 3. Иа микрцыс- Т 1 с 1 Х (5 (с 31111 4 М сС,(1:53 ТсОт, и 1)( ИЯТ(.ТВ СТ И. ИОЛ СцИ 01 Л к(И И К) С ИКРЦ В ЫСТ ИОВ 3 И ВОЗОсИЛ Х с 1 КИХ ас 1 БИО ИС 3 ользовать эффект кажушсгцся увеличения.=.соты микрцыстуиц в тесиивремени,ЛЦтатци 30 Ц Л,Я Цс)ЛСКЦОЦ ИЗЧЕРЕЦИЯ Ста.циоцари(нц гцка разряла, ИО всличице коТОРОГО С;Я и ИСР)(. ВСи("И ИОВСРХЦОСТ,ВЦЗ 13 И К Н)Ц(ГЦР 1 И Р эЦЖСЦ И И ВЫСОКОВОЛ ЬТ 1 010сР 51 Ж(1 Я 1)СТ 05 Ц 010 1)31 1 ЕР(.М 111010 тцк 1 и(р(1 тцр 3 5 мсжл э,скт)0 цм 11015 р Ос 1 к и.5;1 г 51 2. Га 0.р 5 тцч, чтц ра Сря;цый тцк в цас 1,1)3 (11.1 3 рЧГ 11 ЛГ(33 Вт 53 60;СС ГИЦИ.,ЫЫ Ч, 30 ( Ц 5, 3 Ч ИЦ( С НЛ ЬцИИЛ(;ИЦЛЫЦ И ЛЦЦШРИЦСГЬ 0 ЧОЖИЦ (лть ц и(рцпцсиц(рццли ири ц(нси( и 3;ксч;,3,ици цчи(ти и ра:ср(И 1 КИ 1 И ИЦЦЦИЦС 1 И СИЦС).Р 1 и(11 3 ( 3 1 3 3 51 .3 1 10) С1) С ( ) ( ) с С 13 -15 Тць 1 ИРЦ,(И КСИ(.Р 1 Ч 3" 10 1 МОРцн ц(рцц 5;33 и гбр; с;1 в ) и 1к,;3 сц 5 ,:).2 и .1 чкч сццгт Ш ив),153,3(0(0150, ги,ир;гцр 6( и;л ии 31)53 кг ив( .1 ( к)., . Я ц.с.и 51 (3 эрц 50,Я Иц,ЬЗЦБЦЛКЬИ(РИ,ЫЧС,Ц С(с,10 И 15 Я.СК(И. ЬН) 3 И( ОЧ(.11 Ь ццзкццс (ви(рипгрцй сш пииия, с ицчциц)30 когцр(иц6) ы, и иц)1 ( И)1 и( 3,13 ч (3, 1(3 Р с 1;51.Рц 1цкц, 30 1 к 1., 3 Я ),1,(си 51 1 иц, 3 1.50.1.(3 СС 1 С150 .5,1 : (3 С 1(1 Р 1 13 (3 Зц 1 1,3(010115 3 рц, 15(1,(3 Ь И(р,5 З(зцр 1(ск,кци Грцлирчи ццшр цл 3,ц и из 3.рп(ль.И 3) 31 Э. 1 К 1 Р О, Ц (1.;) К С 3( Р 113 3 3 3 И Ц К С 3 З 3 Г ,ИРИ К 3 И,цИ Лиц 3 Н Ц ЦЦЦЦ;Р(СР 51.ЦЬЦ ГЦК 15 Цсс 51 ЦЫ 13 И(РЦ 1 1З;331 П П И(1 И (3 ЦКИ Ча 0 ЦР;3 СЦ Р51 1(3 СРЯ.)13, 1 01,с КК ЦЦ И.5(1.03 , 130Ч Р 51.1( С. 3(13 ЦС(3.)1,133) Сц .33, (,(Об 13333( 33 ( 1, 1 Ь И ЬцИ ( Р 3Ц; Р 1 С1 Л ( 3,3 Р 33 С 1 ,С И Цссцрцстьц лля (бр 513(. Б с.13 И кцц срцц 30( Ыц 1:53 ИСИМО3(Л 333к 3ь 31, (3,ц СЯк(1 и, ( ч 1 3(,11.( ) (1 ( 3(К .(ц )и 1 си 1(И 1 Й Р СРЯ.3ц), , с и; )СИ 1 Ж 3,10,1)("ГЦ 5(РЦ(Ь И)( . ИЦ.ИЫХ Р(.3 513 Г 015.1 г 1310,111 р 51 53 Ы,К 3 С, , ;(,15,1,1 т 5 ОХ,(3)К,(Кццрц, И,) (;ц( )БОР.(И(НТ 1 и Ц),( СГС И 51 Р(31,1 Ы(РБа Гцсти (6 си(иИ 1 ть"1;и)15)( 1 ь,;)яЦ ЦЦЦ К С 5 И 3 )с, И )1 Ы И Ц 1) 3 0 .и Т 0 1 1 ( ) В111 С 1 1( 3 . 1 С .(, "3 ,3 . :С)С3) С;,и:511(ц и и.Ф,ссс.с(с з; нсс )