Способ контроля отклонения формы и расположения поверхностей

ГОС ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ ЕЛЬСТ 8 Бюл. У 4ий политенинскогонко, Ю.ИА.А.Козл(088.8)свидетелС 01 В 9ТРОЛЯ ОТКЛНИЯ ПОВЕР ческий комсомолаОстровскийв ство СССР 021, 1985ОНЕНИЯ ФОРНОСТЕЙ ДЕТАе относится к измери . Целью является обе ля деталей с поверхой формы при сохраконтроля путем компе зы, возникающей при ка от исследуемого ости до стенки рабоещают контролируемую детали в рабочую ионной жидкостью с н ДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТ СССРЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(57) Иэобретенительной техникеспечение контрокостями различиненни точностисации набега фапрохождении пучучастка поверхнчей кюветы. Пом2 и эталонную 3кювету с иммерс ЯО, 1370454 А 1 показателе преломления и освещают их когер ным излучением. По ходу отраженных пучков помещают ком-. пенсационную кювету 4 с иммерсионной жидкостью с показателем п преломления, отличным от показателя и1 преломления жидкости в рабочей кювете, и толщиной, равной расстоянию от контролируемого участка поверхности деталей до стенки рабочей кюветы. Совмещают на фоторегистрирующем слое 9 отраженные пучки и записывают на нем спеклограмму. После этого в компенсационной кювете 4 заменяют жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем п прелом- аф ления, а в рабочей кювете - жидкость с показателем и, преломления на жидкость с показателем ипреломления и вновь получают спеклограмму. По- Сю лученную двухэкспозиционную голограмму восстанавливают и по интерференционной картине судят о форме и расположении поверхностей деталей,1 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле отклонения формы поверхностей деталей и их взаимного расположения.Цель изобретения - обеспечение контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля путем компенсации изменения фазы световой волны, обусловленной прохождением ее от конт 10 ролируемого участка поверхности до окна рабочей кюветы при изменении показателя преломления иммерсионной 15 жидкости в кювете.На чертеже изображена оптическая схема регистрации спеклограмм, по которым осуществляется контроль.Оптическая схема регистрации спек лограмм содержит рабочую кювету 1 с иммерсионной жидкостью, в которой помещены контролируемая 2 и эталонная 3 детали, компенсационную кювету 4, расположенную по ходу отраженных ст деталей 2 и 3 световых пучков и имеющую толщину, равную расстоянию от окна рабочей кюветы 1 до контролируемых участков поверхности деталей 2 и 3, оптическую систему совме- З 0 щения отраженных пучков, состоящую из линз 5 и 6, зеркала 7 и оборачивающей системы 8, и фоторегистрирующий слой 9.Способ осуществляют следующим 35 образом.Помещают контролируемую 2 и эталонную 3 детали в рабочую кювету 1 с иммерсионной жидкостью, имеющей показатель п, преломления, и освещают их 40 когерентным излучением. Устанавливают по ходу отраженных от поверхностей деталей 2 и 3 пучков когерентного излучения компенсационную кювету 4 с иммерсионной жидкостью с показате лем и; преломления. Совмещают на фото- регистрирующем слое 9 пучки, отраженные от эталонной 3 и контролируемой 2 деталей, и записывают на нем спекло- грамму. После этого заменяют в ком пенсационной кювете 4 иммерсионную жидкость с показателем д. преломления на жидкость с показателем и, преломления, а в рабочей кювете 1 заменяют иммерсионную жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем и преломления и вновь на фоторегистрирующем слое 9 записывают спеклограмму. Полученную двух- экспозиционную спеклограмму восстанавливают и по интерференционной картине судят об отклонении формы и расположении поверхностей деталей 2 и 3.формула изобретенияСпособ контроля отклонения формыи расположения поверхностей деталей,заключающийся в том, что помещаютконтролируемую и эталонную детали врабочую кювету с иммерсионной жидкостью, освещают поверхности деталейкогерентным излучением, совмещают нафоторегистрирующем слое пучки, отраженные от этих поверхностей, регистрируют спеклограмму, изменяют показатель преломления иммерсионной жидкости в рабочей кювете вновь регистрируют спеклограмму, восстанавливают полученную двухэкспоэиционную спеклограмму и по интерференционной картине судят об отклонении формы и расположении поверхностей, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью обеспечения контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля, перед регистрацией спеклограммы по ходу отраженных пучков устанавливают компенсационную кювету толщиной, равной расстоянию от исследуемого участка поверхности детали до стенки рабочейкюветы с иммерсионной жидкостью,показатель п преломления которойотличен от показателя п 1 преломленияиммерсионной жидкости в рабочей кювете, и после регистрации спеклограммы заменяют жидкость с показателемп преломления на жидкость с показателем ипреломления, а в рабочейкювете - на иммерсионную жидкостьс лцдсазателем ипреломления,