Интерферометр ротационного сдвига

Номер патента: 1578458

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых...

Номер патента: 1610249

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Байков, Бржозовский, Игнатьев, Мартынов

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...излучаемого светового потока; Я частота модуляции. Часть луча с частотой в - Я, имеющая вертикальную поляризацию, отклоняется первым поляризационным светоделителем 3 на уголковый отражатель 6, пройдя через который, сме шивается на третьем светосоединителе 12 с неотклоненной первым поляриэационным светоделителем 3 частью луча, имеющей горизонтальную поляризацию и прошедший через уголковый отражатель 7, С выхода третьего светосоединителя 12 на второй 5 светоделитель 9 поступает луч, содержащий две составляющие с оптической разностью хода, равной половине длины когерентности источника излучения, и ортогональными поляризациями.Часть этого луча смешивается на втором светосоединителе 11 с частью луча, имеющего частоту излучения щ,...

Номер патента: 1443774

Опубликовано: 23.09.1990

Авторы: Зверев, Пронин, Ревков

МПК: H05H 9/04

Метки: виде, н-резонатора, ускоряющая

...МГц. В качествепри расчете величины перестройки резонансной частоты следует, как показали экспериментальные исследования Н-резонаторов, испольэовать значение параметра напряженности магнитного поля на поверхности корпуса в середине цуги, стягиваемой стержнем, Сохранение начального распределения электрического поля достигается эа счет того, что контур, образованный проводящим стерж" нем, взаимодействует с периферийной частью магнитного потока резонатора, практически не влияющего на токи в держателях.Ускоряющая система работает следующим образомУскоряющая система изготавливаетсл прн положении проводящего стержня2,0-2,1 рад. После изготовления нзмеряетсл начальная резонансная частота Г которая может отличать" ся от заданной частоты Г...

Номер патента: 146894

Опубликовано: 01.01.1962

Автор: Морозов

МПК: H05H 13/04

Метки: виде, волновода, диафрагмированного, замедляющая, замкнутого, кольцо, синхротронов

...отличие позволило снизить вес магнитной системы и уменьшить потери частиц.На фиг. 1 изображена предлагаемая замедляющая система, выполненная в виде замкнутого в кольцо диафрагмированного волновода Н-образного сечения; на фиг. 2, 3, 4 - три основных варианта системы.В первом варианте 1 фиг. 2) диафрагма занимает полностью участок с увеличенной высотой волновода. Во втором варианте (фиг. 3) диафрагма занимает частично участок с увеличенной высотой волновода. В третьем варианте (фиг. 4) диафрагма занимает полностью участок с увеличенной высотой и частично участок с уменьшенной высотой. Во всех трех вариантах высота пространства резонаторов - областей 1 и 2 больше высоты пространства взаимодействия - области 3 волновода. Выбирая один из...

Номер патента: 981830

Опубликовано: 15.12.1982

Авторы: Беневольский, Ермолаев, Табакман, Шпильман, Юхновский

МПК: G01G 3/08

Метки: направляющими, основанием, подвижной, прибора, системы, соединения, упругими

...упругие направляющие (показы только две), размещенные в пространстве одна за другой, определяет основные технические характеристики устройства при его работе. Концы направляющих 4 и 5 закреплены винтами 8 соответственно на пластине 3 подвижной системы и основании б.В рабочем положении корректора, когда он подготовлен к взвешиванию, жесткий соединительный элемент 9 не имеет контакта с пластиной 3 и установлен на основании б в крайнем ниж 5 10 1 20 И ЗО 3 40 тиях 12, введены в отверстие 13 значительно большего диаметра, чем диаметр шпильки 11. Для обеспечения перемещения элемента 9 при частичновывернутых винтах 10 отверстия 14для этих винтов в элементе 9 выполнены удлиненными,П-образные неупругие направляющие15 и 16 (фиг. 3) прикреплены к...