Устройство для контроля угловых параметров плоскопараллельных пластин

, 126894 1 26 51) 4 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ференциблагодар поляриемои поинт лия, контролиронной картине,введению в схе Кроме того, у устройств новой пласт нный полуво ого ан атор овор озможно лизато тютк ие СССР 1982ЛЯ УГЛОВЫХ 1 Х ПЛА я к измер спользовидности, я повыщеесчет обесучков на при отсут" мого издеколлим з лителе и о ных блика ния являет Целью изобрет ние точности печения паралл входе в зрите ствии в схеме ения отсчетнои Клиновидность из ол троля 3 рубы ляетс и 1 ительнои лия опре ельностиьную труб по расстоян ежду блик контро ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ АЮТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОПАРАМЕТРОВ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЬСТИН(57) Изобретение относитстельной технике и может иваться для контроля клиное с выравнивание и регулировка яркости совмещаемых и измеряемых бликов вполе зрения зрительной трубы. Этообстоятельство, а также возможность исключения из поля зрения всех бликов, кроме измеряемого, достигаютсяза счет введения в схему фотозатвора. Параллельный пучок лучей от источника разделяется на два пучка,которые с помощью зеркал направляются с разных сторон на поверхностиконтролируемого изделия. Отраженныеими пучки объединяются на светоде 1268948251 О Изобретение относится к измерительной технике и может бьггь использовано для контроля клиновидностинепрозрачных и прозрачных стержней,Целью изобретения является повышение точности измерения клиновидности за счет обеспечения параллельности пучков на входе в зрительнуютрубу при отсутствии в схеме контролируемого изделия, контролируемойпо интерФеренционной картине,На чертеже представлена схемаустройства.Устройство содержит источникмонохроматического излучения (лазерили обычный источник с интерференционным светофильтром), поляризатор2 например поляроидная пленка, расширяющую телескопическую систему,состоящую из двух линз 3 иплоские зеркала 5-7, светоделитель8, контролируемьгй стержень 9, полуволновую пластинку 10, отсчетную зрительную трубу, например теодолит,состоящую из объектива 11 и окуляра12, анализатор 13, установленный вповоротный механизм, например поворотный поляроид, и фотозатвор 14.Поляризатор 2 и светоделитель 8расположены последовательно по ходупучка излучения, создаваемого источником 1, Зеркала 6 и 7 ориентированытаким образом, что пучки, выходящиеиз светоделителя 8, отражаясь от нихидут навстречу друг другу. Зрительная труба, образованная элементами11 и 12, установлена на пути лучей,отразившихся последовательно от зеркал б и 7 и вторично прошедших светоделитель 8, таким образом, что ееось совпадает с зеркальным изображени"ем оси пучка источника, входящего всветоделитель, образованный плоскостью деления пучка светоделителем,Полуволновая пластинка 10 и фотозатвор 14 расположены по ходу одного изпучков, выходящих из светоделителя8, а анализатор 13 установлен по ходу пучка на выходе отсчетной зрительной трубы.Устройство работает следующим образом.Излучение источника 1 с помощьюполяризатора 2 превращается в линейно поляризованное, расширяется телескопической системой 3 и 4 и зеркалом 5 направляется на светоделитель 8 Светоделитель 8 разделяет 2 О с 5 ЗО 35 4 О 45 5 О 55 световой пучок на два, один из которых.проходит полуволновую пластинку10, установленную так, что она поворачивает плоскость поляризации на90, отражается от зеркал 7 и б иснова от полупрозрачной диагоналисветоделителя 8, Второй пучок проходит через светоделитель 8, отражается от зеркал б и 7, проходит полуволновую пластинку 10 и вновь светоделитель 8, Таким образом, послевторого прохождени светоделителя 8 получаются две когерентные волны,которые образ ют ивтерференционнуюкартину. Поворотами светоделителя 8добиваются настройки интерференционной картины на бесконечно широкую полосу,При открытом фотозатворе 14 в поле зрения трубы 11 и 12 при отсутствии стержня 9 вирны два блика,При настройке на бесконечно широкуюполосу эти два блика сливаются водин, который разворотом трубы совмещается с центром перекрестия еесетки 1 не показана)При введениистержня 9 в поле зрения проявляютсяеще два блика, соответствующие отражениям от торцов стержня, Стержень9 закреплен в специальном юстировочном приспособлении, позволяющем разворачивать стержень вокруг оси,перпендикулярной пучку, При разворотестержня 9 центральный блик, совмещенный с центром перекрестия, остаетсянеподвижным, а два цругих блика,соответствующие отражениям от торцов стержня, смещаются, чем достигается идентификация блоков, При развороте стержня 9 один из двух бликов, отраженных от торцов стержня,совмещается с неподвижным бликоми центром перекрестия), Отклонениевторого подвижного блика относительно центра перекрестия определяетугол клиновидности.В результате наличия полуволновой пластинки 10 пучки, отраженныеот торцов стержня 9, оказываются поляризованными ортогонально остальным пучкам, попадающим в зрительнуютрубу. Поэтому разворотами анализатора 13 можно выровнять яркости бликов, совмещаемых в процессе контроля, что позволяет повысить точностЬсовмещения.При снятии отсчета положения блика, полученного отражением от праавитель М,Семчед Л.Олейник рректор В,Синицк актор Г,Герб е 23/ Тираж п 70 НИИПИ Государстве по делам изобрет 5, Москва, И, Зак ое ного комитета СССР ии и открытиушская наб. 30 Проектная,жгород, у енно-полиграфическое предприятие,о 3 1 вого торца стержня 9, фотозатвор 14 закрывается, что позволяет исключить остальные блики и тем самым повысить точность отсчета.Таким образом, благодаря точной настройке схемы, осуществляемой по интерференционной картине, регулировке яркости совмещаемых бликов и выделению блика, положение которо,го измеряется, достигается повыше ние точности .контроля клиновидности. Формула изобретения Устройство для контроля угловых параметров плоскопараллельных пластин, содержащее источник параллельного пучка монохроматического излучения, установленный на пути пучка . светоделитель, два плоских зеркала, установленных по ходу пучков, выхо 268948 4дяших из светоделителя и оптическисвязанных друг с другом, и отсчетную зрительную трубу, расположеннуюпо ходу пучка, вторично прошедшегосветоделитель, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повыше ния точности измерения клиновидности, оно снабжено поляризатором, установленным между источником излу чения и светоделителем, полуволновой пластиной и фотозатвором, расположенными последовательно на пути одного из пучков на выходе светоделителя, и анализатором, установленным по ходу пучка, прошедшего зрительную трубу, с воэможностью поворота вокруг оси пучка, а зрительнаятруба расположена так, что ее осьсовпадает с зеркальным изображениемоси источника, образуемым плоскостьюсветоделителя,