Способ изготовления изделия из кристалла

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 0 5/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ С ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ КРИСТАЛЛА, включающий ориен-тированную резку кристалла на пластины, шлифование плоских граней,определение фактического угловогорасположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительное шлифование ЯО 1248823 плоских гранеи до достижения ими заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения трудоемкости изготовления изделия из кристалла, определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей осуществляют после ориентированной резки кристалла на пластины, а шлифование плоской грани в параллельность осуществляют при базировании пластины на плоскость, имеющую меньшее отклонение фактического углового расположенияа от заданного.1248823 Ь =агк,30 50 ВНИИХИ Заказ 4174/15 Тираж 555 Подписное Произв.-полигр, пр-тие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в отраслях производства, связанных с изготовлением большого ко - личества изделий из кристалла (кварц, полупроводники, сапфир и т.п,), к которым предъявляются высокие требования по точности ориентации обрабатываемых поверхностей относительно кристаллографических осей.Известен способ изготовления изделий иэ кристалла, например иэ пьезокварца, заключающийся в ориентированной резке кристалла на пластины, шлифовке пластин по плоским граням для уменьшения разнотогпцинности, определении фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительной шлифовке плоских граней до достижения ими заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей 1.Однако после отрезки точность ориентации разных плоских граней отличается по величине и шлифовка пластин по плоским граням, в процессе которой пластина ориентируется случайно, неуменьшает разброс по точности углового расположения плоских граней.Цель изобретения - уменьшение трудоемкости изготовления изделия из кристалла. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления изделий из кристалла после отрезки осущестляют шлифовку плоскойграни пластины при базировании на плоскость, имеющую меньшее отклонение фактического углового положения до заданного.Изготовление изделий из кристалла по предлагаемому способу осуществляется в следующей последовательности: после ориентированной разрезки кристапла на пластины производят определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей с обеих сторон пластины, сравнение этих величин, выбирают плоскую грань с меньшей величиной углового расположения от заданного и затем шлифуют вторую плоскую грань при базировании на выбранную в параллельность ей. После этого производят определение фактического углового расположения плоских граней и для тех пластин, для которых она отличается от заданной, осуществляют цикл бпераций по исправлению углового расположенияИсправление углового расположения производят шлифовкой углового припуска. Производительность операций шлифовки прямо пропорциональна величине припуска ), которая для операций исправления углового расположения равна 25 где а - размер заготовки в направлении измерения угловой ориентации,величина углового расположения плоской грани от эа-. данного.Общая трудоемкость изготовления изделия в большой степени зависит от доли пластин, требующих изменения углового расположения,так как эта операция. осуществляется односторонней шлифовкой. В предлагаемом способе доля пластин, требующих изменения углового расположения, существенно меньше, а в пластинах, требующих изменения углового расположения, меньше величина угла для изменения. Поэтому общая трудоемкость изготовления изделия снижается .Технико-экономический эффект заключается в том, что после выбора плоской грани, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного и шлифовки второй плоской грани в параллель ность выбранной снижается общая трудоемкость изготовления изделия.