Способ изготовления изделий из кристаллов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5 В 28 О 5/00 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ГАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР.А,фролов Пьезоэлектрическиеы, М.: Радио и связь ельство СО 5/00, 198 меньшает разбросположения плоских у К О К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в отраслях производства, связанных с изготовлением большого количества ориентированных изделий из кристаллов (кварц, полупроводники, сапфир и т.п,), к которым предьявляются высокие требованипо точности ориентации обрабатываемых поверхностей относительно кристаллографических осей,Известен способ изготовления изделий из кристалла, например, из пьезокварца, заключающийся в ориентированной разрезке кристалла на пьезопластине, шлифовке пластин по плоским граням для уменьшения разнотолщинности, определения фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительной шлифовки плоских граней до достижения или заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей,Однако при изготовлении по такому способу после отрезки точность ориентации разных плоских граней отличается по величине и при шлифо ке пластин по плоским граням, в процессе оторой пластина ориен(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИИ ИЗ КРИСТАЛЛОВ(57) Использование: в отраслях производства, связанных с изготовлением большого количества ориентированных изделий из кристаллов(кварц, полупроводники, сапфир и т,п,). Сущность изобретения; после выбора плоскости, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного, эту плоскость обрабатывают до достижения заданного расположения, а вторую плоскость обрабатывают в параллельность исправленной, 1 табл 3 ил,тируется случаино, не упо точности углового расграней.Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является способ изготовления изделия из кристалла, включающий ориентированную разрезку кристалла на пластины шлифование плоских граней, определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительное шлифование плоских граней до достижения или заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей, причем определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей осуществляют после ориентированной разрезки кристалла на пластины, а шлифование плоской грани в параллельность осуществляют при базировании пластины на плоскость, имеющую меньшее отклонение фактическс го углового расположения от заданного.Однако, при применении этого способа после шлифовки плоской грани в параллель 3 1787805ность стороне, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения отзаданного, на все пластины имеют точностьугловой ориентации соответствующей заданной, и для части заготовок требуется 5проведение еще цикла операций по исправлению углового расположения..: Ф Цель изобретения - уменьшение трудоемкости и сокращепле цикла изготовленияизделия из крйсталла 10Изготовление изделий из кристаллов поДанному способу осуществляется в следующей последовательности после ориентированной разрезки кристалла на пластиныпроизводят определение фактического углового расположения плоских граней относительно крлсталлографических плоскостейс обоих сторон пластины, сравнивают этивели юнц, выблрают плоскую грань с меньц:ей Величиной углового расположения ст 20заданного, сошлифовьвают с этой грани угловой припуск до заданного углового расположения и за.гем шлифуот Вторую плоскуюгрань В параллельность исправленной,На фиг, 1, 2, 3 представ.лен способ в 25последовательности по переходам обработки, При этом фиг, 1, 2 представляют поперечные контуры заготовок в исходномсостоянии; фиг, 3контуры Готовых изДелий. 30ПО способу на первом переходе фиг.1после выбора плоской грани с меньшей величиной у.ловаго расположения от заданного (грань А И) грань Р, И обрабатываетсядо заданного углового расположения и формируется грань д Ж, На втором переходе(фиг,ЗВ) грань В С обрабатывается в параллельность грачи А Ж и формируется грань ВД, Таким Образом, после дВух переходсВполучаем готовое изделие, а третий переход 40отсутствует,Очевидна, что трудоемкость, длительность цикла и Веллчины припусков при изготовлении заготовок зависят от количествапереходов лли операций, В предлагаемом 45способе количество переходов В цикле операцил по исправлению угловой ориентацилсокращено с трех до двух и таким образомповышается эффективность всего процессаИЗГОТОВЛЕНИЯ, 50 П р и м е р. Для проверки эффективности способа был проведен эксперимент в лабораторных условиях. Были изготовлены две партии ,по 20 шт) Х-секций из кристаллов искусственного пьезокварца. Размеры Х- секций - 170 х 45 х 12 мм. На первой партии по существующему способу после разрезки измерялась, в соответствии с действующим техпроцессом, точность угловой ориентации базовых поверхностей только с одной стороны, на второй - с двух сторон и с выбором стороны, имеющей меньшее угловое отклонение 25, для второй - 18. Величина трудоемкостей изготовления по операциям приведена в табл. 1 в н/ч на одну секцию.Таким образом, по предлагаемому способу снижение трудоемкости составило в 1,27 раза.Технико-экономический эффект заключается В том, что после сошлифовки углового припуска до заданного расположения со стороны, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного и шлифовки второй стороны в параллельность исправленной снижаются общая трудоемкость, совершается цикл обработки и уменьшается величина необходимого припуска при изготовлении изделия.Формула изобретения Способ изготовления изделий из кристаллов, включающий ориентированную разрезку кристалла на пластины, определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических осей, сравнение этих величин, выбора плоской грани, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного и последующей шлифовки плоских граней до достижения ими заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения трудоемкости и сокращения цикла изготовления, после выбора плоскости, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного, эту плоскость обрабатывают до достижения заданного расположения, а вторую плоскость обрабатывают в параллельность исправленной,1787805 Предлагаемый способ Наименование опера- Модель оборудования ии Существующий способ0,0056 0,0056 Пьезогониометр ПГ - 30 Станок ручной шлифовки К 39230,033 0,033 0,3442 0,4386 Составитель Г.АфиногеноваТехред М,Моргентал Корректор О.Густи Редактор В.фельдман Заказ 39 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Измерение угловой ориентации первойстороны Измерение угловой ориентации второйстороны Исправление точности ориентации одной из сторон Шлифовка второй стороны в паралельностьисправлений Суммарная трудоемкость цикла изготовления л/1