Манипулятор

Номер патента: 1499622

Опубликовано: 15.01.1993

Авторы: Волков, Котелянский

МПК: H01L 21/302

Метки: пластин, поверхностей, полирования, химико-механического

...способствует более быстрому цболее качественному выхаживан 11 юпорр ,1верхцос ти , подавляется ормир ова ни 8на 6 о в ерхнос ти твердого тела О кис ныхи гидр о О кис ных пленок з а счет пр еимущественноГО Образования р а с ТБ О )и45МЫХ КОМПХЕЕКСНЫХ СОЕДИНЕНИЙ С ЭЛЕ"ментамц обрабатываемого материала.Примеры 1-9 выполняют ИЕ)и следую"щих постоянных режимах полирования5 ОЧастота вращения,полнровальникаУдельное дантление на цлас 100-150 г/смтиныРасход полнрующего состЕРИ ПОЛИРОПКЕ(пластиныпредварцтельцообработаны сйободиьп 1 абразивом зернистостью 5 мкм) 10-15 мкм,П р и и е р 1, Для полированияпластин фосфида индия и-типа ориентации (100) используют полируюпфе 1состав, ца 1 л воцы в котором приходится 200 г Б)0)р 80 мл глицерина,60 мл...

Номер патента: 1725072

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Дружинин, Космович, Костогрыз, Мазин, Овсянников, Пенников, Родионов, Шукшина

МПК: G01B 11/30

Метки: пластины, плоскостности, поверхности

...коэффициент отражения, что устраняет дополнительные погрешности измерения, возникающие за счет отражения преломленных лучей от других (неконтролируемых) поверхностей (от поверхностей, находящихся за контролируемой поверхностью). Одновременно с этим возрастает производительность способа контроля плоскостности пластин за счет одноразовой настройки лучей на контролируемую и эталонную поверхности и исключения необходимости перемещения ее в процессе контроля попеременно (или одновременно) в двух направлениях,Кроме того, вертикальная установка контролируемой пластины в процессе контроля устраняет изгибающие деформации в ней, в результате чего отсутствует прогиб пластины во время контроля, а следовательно, и не искажаются результаты...

Номер патента: 255794

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Халин

МПК: B24B 37/04

Метки: доводки, пластин, плоских, плоскопараллельных, поверхностей

...по направляющим штоком 10. Сепаратор-притир 9 имеет несколько отверстий 11, в которые вставляются приспособления 12 так, что они частично выступают за ширину рабочего диска. 25В приспособлении клеем закрепляется обрабатываемая пластина 18. Сепаратор-притир находится в зацеплении с шестерней 2 и шестерней 14, неподвижно сидящей на станине 15. Такая кинематика зацепления обеспе- Зо чивает сложное движение приспособления по рабочему диску, взаимную правку и износ рабочих поверхностей диска и приспособления. Этим достигается хорошее качество шлифуемых или притираемых плоскостей пластин.Устройство работает следующим образом. Пластины 13, рассортированные по толщине, наклеиваются на притертые поверхности штоков 10. Каждый шток перед...

Номер патента: 637241

Опубликовано: 15.12.1978

Автор: Халин

МПК: B24B 37/04

Метки: доводки, пластин, плоских, плоскопараллельных, поверхностей

...фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - ттриспособленне для крепления обрабатываемых пластин; разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху.1 риспособление 6 состоит иэ штока Ь, перемещающегося по направляющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпона- У гайка 10, введенная в продольный паэ 13 штока, с винтом 11 фиксируют положение штока по высоте относительно основания кольца 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольными гофрами 14 на на-В ружной и внутренней поверхностях, расположенными симметрично, отверстию под.винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное пружинное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в канавку 15 заподлицо с на- И...

Номер патента: 1728118

Опубликовано: 23.04.1992

Автор: Родионов

МПК: B66C 1/66

Метки: боковыми, грузов, захватного, захватный, орган, отверстиями, устройства

...соединена со стержнем с возможностью поворота посредством размещенного в отверстии стержня, жестко прикрепленного своим концом к концу вертикальной пластины цилиндрического пальца с рукояткой на его втором конце и с фиксатором его положения относительно стержня, и с возможностью размещения ее второго конца ниже нижней части боковой поверхности стержня, 1728118На Фиг.1 изображен предлагаемый захватный орган груэозахватного устройства; на Фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.Захватный орган содержит цилиндрический стержень 1 с грузовой петлей 2 и со смещенным относительно продольной оси стержня 1 отверстием 3, в котором расположен цилиндрический палец 4. На одном конце пальца 4 закреплена вертикальная пластина 5, а на другом конце - рукоятка 6...