Устройство для изготовления многослойных датчиков

Номер патента: 1188615

Опубликовано: 30.10.1985

Авторы: Байрамов, Гафаров, Джафаров, Фаривер

МПК: G01N 27/02

Метки: влажности, датчика

...служащим для измерения влажности различных газов.Целью изобретения является повышение чувствительности и селективности датчика.Способ изготовления датчика влажности заключается в том, что на изолирующую подложку наносят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемой среды второй электрод. Полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя Аз Б , второй электрод изготавливают напылением Сц, после чего полученную структуру облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами.На чертеже схематически представлен датчик влажности, разрез.Датчик содержит непроводящую подложку 1, на которой вакуумным...

Номер патента: 1838675

Опубликовано: 30.08.1993

Автор: Герд

МПК: F16B 7/22

Метки: второй, имеющей, отверстия, первой, полой, полостью, соединения, фигурной, штанги

...направлении корпуса 4 соотелобом 53, выполненным в торцевой по- ветствуеттолщинесплиты 5(фиг.7),Эксценерхности его опорной шейки 50, который 50 триковый диск 25 не может сходить с ри монтаже приспособления 3 размещает- заднегоуправляющего выступа, он постоянся на управляющем ребре 52. В смойтиро- но находится в контакте с упорной поверх- ванном состоянии упорная поверхность 24 ностью 24 плиты 5.с благодаря воздействию нагрузки, создавае- Болт 7 может поворачиваться на уголой подпружиненным эксцентриковым ди 180 ОДляэтого стенка корпуса 4 (фиг,1) выс, ом 25, находится в контакте с внутренней полнена с щелью с тем, чтобы эксцентрикоповерхностью боковой стенки 26. Данное вый диск 25 мог поворачиваться по всему положение является...

Номер патента: 305144

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Арапов, Клименко

МПК: C03C 19/00

Метки: напыленного, подложки, слоя, удаления

...воздуха. Барабан покрывается многослойной воздухопроницаемой тканевой оболочкой 8. В качестве ткани берется фпльтрующая ткань ФПП, ТУД 2 ГУ - 171 - 58 и фильтрующая капроновая ткань 9 ФК ГОСТ 8801 - 58.Обрабатываемая деталь закрепляется а столе. Для случая штриховых стеклянных матриц закрепление производится так, чтобы штрихи располагались под углом к рабочему валку. Затем рабочий валок поворотом вокруг цапф опускается на край обрабатываемой детали и своим весом или силой каких-либо дополнительных устройств, например, пружин, создает определенное давление на обрабатываемую поверхность. Внутрь рабочего валка по трубке подается сжатый воздух. Воздух через отверстия в трубке и в барабане проходит под оболочку (слоп 8 и 9) рабочего валка,...

Номер патента: 475093

Опубликовано: 07.10.1980

Авторы: Данилюк, Лыско, Панасюк, Прилепов

МПК: H01L 7/64

Метки: вакуумного, напыления, слоев

...исходного вещества меняется теплоемкость испарителя и, следовательно, скорость испарения.Цель изобретения - получение про - . тяженных однородных слоев с постоянными электрофизическими свойствами.Это достигается тем, что подачу испаряемого вещества ведут порциями со временем загрузки в 10-15 раз меньшим, чем время испарения этой порции, при температуре, близкой к емпературе испарения, при этом максимальный период цикла загрузки определяют временем прохождения движущегося участка подложки в зоне конденсации, и количество испаряемого материала в 10-15 раз меньше массы испарителя, а напыление осу 3 47 суммарному потоку частиц из всех-испаритепей, В действительности суммарный поток испаряемых частиц будет создаваться . (у)...

Номер патента: 475428

Опубликовано: 30.06.1975

Авторы: Бараш, Богданов, Зафранский, Поппель

МПК: C23C 15/00

Метки: вакуумного, напыления, слоев

...на рой камера ще в конструк нию с пзвест необходимость валу, снабженпо скользящей 3 ции.Достигается это тем, что н ном реверсивным приводом посадке установлена втулка с укреней заслонкой, для фиксации котоснабжена упорами.На чертеже схематически изображено предложенное устройство.Оно содержит камеру 1 напыления, карусель 2 с подложками, заслонку 3, реверспвньШ привод 4 карусели, втулку 5, установ.пенную по скользящей посадке на валу 6 карусели с подложками, испарители 7 и 8 и упоры 9.Устройство работает следующим образом.Перед началом работы заслонку 3 устанавливают на позиции испарителя 7, работающего первым. После герметизации и вакуумированпя камеры напыления включают питание пспарителя 7 и, выдержав требуемое время для...