Способ определения параметров полупроводников
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
,151) 4 Н 01 1, 2 ЕНИЯ;ц,И: ИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРСКОМ из зависимости (1 ратуру Т при к в нуль, а искомь по формуле Е=1,9 где Ч (см ) Х (см ) ника чае полупрор-типа;времена жиновесных н ь(с), ь) зни неравосителей ния света;коэффициент Больцма(эрг/гр на;энергия основного со ит ия мелк ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ОПИСАНИЕ ИЗОБР(56) Гершензон Е.И. и др. Об энергиисвязи носителя .заряда с нейтральнымпримесным атомом в германии и кремнии. Письма ЖЭТФ, 1971, т.14, в,5,с, 281-283.Авторское свидетельство СССР(54)(57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ, основанный наразогреве носителей тока светом приохлаждении образца, измерении термомагнитной ЭДС и определении поперечного коэффициента Нернста-Эттингсгаузена, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью расширения функциональных возможностей способа путемобеспечения определения энергии связи носителя заряда на мелком нейтральном центре, устанавливают интенсивность света 1, удовлетворяющую условию термомагнитную ЭДС измеряют в интЕм Емвале температур 0 01с Т -1 с 1 с=1 (Т) находят темпеоторой С 1 обращается я параметр вычисляют КТконцентрация акцепторной примеси в случае полупроводникаи-типа и донорной -в случае полуйроводника р-типа;концентрация донорнопримеси в случае полупроводника и-типаакцепторной - в слузаряда и донорно-акцепторной пары соответственно; К(см ) - коэффициент погло рального донорного центра ЕА в случае полупроводника п-типа или энергия основного состояния мелкого нейтрального акцепторного центра Е вслучае полупроводника р-тип..3 лупроводника и-типаи акцепторной - в случае полупроводникар-типа; 40 П тгс ГИИПИ Заказ 7828/2 Тираж 721 Подписи Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород ул. Проектная,Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для определения энергиисвязи носителя заряда на мелком нейтральном центре в полупроводниках,елью изобретения является расширение функциональных возможностейспособа путем обеспечения определения энергии связи носителя зарядана мелком нейтральном центре,10Изобретение поясняется чертежом,где приведены зависимости поперечного коэффициента Нернста-Эттингсгаузена от температуры для двух образцов из СаЛя п-типа проводимости сразличным содержанием примеси,П р и м е р, Энергия связи носителя заряда (электрона) на мелкомнейтральном центре (доноре) определена в кристаллах СаАя п-типа, Быливзяты образцы эпитаксиального материала СаЛя с концентрацией электро 14 -3 -Энови = 510 смип=10 смудовлетворяющих условию25 ИсСд) - концентрация акцепторной примеси в слу 30чае полупроводникап-типа и донорнойв случае полупроводника р-типа;) - концентрация донорнойпримеси в случае по - интенсивность света,освещающего полупроводникс (с), с, (с) - время жизни неравновесных носителей заряда и донорно-акцепторной пары соответственно;с(см 7 - коэффициент поглощения проводника р-типаОбразец помещен в магнитное поле, имеющее напряженность Н = 1 кЭ, освещен светом с энергией квантов 1,59 эВ,В температурном интервале 1,8-80 К,Е что удовлетворяет условию 0 01с Тс) 1 ъ. Ем где Ем (эрг) - энергия основного состояния мелкого нейтрального донора, а в случае полупроводника п-типа,или энергия основного состояния мелкого нейтрального акцепторнбго центра, в случае полупроводника р-типа,(эрг/град) - постоянная Больцмана, была измерена зависимость от температуры ЭДС Нернста-Эттингсгаузена и рассчитана зависимость поперечного коэффициента Нернста-Эттингсгаузенаот температуры для двух образцов с различным содержанием мелких донорных центров. Эти зависимости приведены на чертеже и из них видно, что температура, при которой Ц = О, для обоих образцов Т = 3,6+0,1 К,Энергия связи электрона на нейтральном донорном центре, рассчитанная по формуле Е = 1,9 ЕТ , равна 6,0 10 эВ.
СмотретьЗаявка
3739205, 07.05.1984
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А. Ф. ИОФФЕ
ИМАМОВ Э. З, КОЛЧАНОВА Н. М, ЯССИЕВИЧ И. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: параметров, полупроводников
Опубликовано: 07.02.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1195856-sposob-opredeleniya-parametrov-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров полупроводников</a>
Предыдущий патент: Флюс
Следующий патент: Зубодолбежный станок
Случайный патент: Опорно-сцепное устройство для тягача с активным полуприцепом