Устройство для определения типа проводимости полупроводников

с с%,эю 3 э т-Н1 ан М-ь, .чсЬйв ОП ИИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(61),Чополнительное к авт. с (22) Заявлено 13,02.76 (21) 2 ил-в 640/25 1) М. КлСт 01 Я 31/26 Н 01 1, 3/00 //П 01 111/00 рисоединением заявк Госудврственньй комит Соввтв Министров ССС оо делам иэобретеннй н открытий(45) Дата опубликования описания 72) Авторы изобретения н, А, В. Иващенко, В. К. Максимов и И. В. Потьткев(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУП ОВОДНИКОВ ть в источнике м ляется необх нитного поля го, определен коомных полуп проводников 10 и ниже ме то ольптои величины имост е типа пр ровэдникэ ых полуелейтребуетустройс ам орфи й носи кэнцен нено, так к ысокочувствительнь им индикации.Цель изобретего устройства иизмерений. още я язвестно- апазона сшир и Это достигается тем, что устройствдержит сегнетоэлектрическую пластинкудвумя нанесенными на ее грани и соедиными с источник м питания электродамляризации, один из которых соединен сследуемым образцом непосредственно ирез измеритель проводимости,В результате поляризации пластинысегнетоэлектрического материала на ееверхности возникает электрический зарядкоторый обогащает или убедняет полупрниковый слой исследуемого образца в за сои по- ис- чезпоИзобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано для измерений параметров полупроводников с низкой концентрацией носителей и малой их подвижностью,Известны устройства, позвс,;яюшие определить тип проводимости полупроводниксвьк материалов, основанные на измерении э.д,с. Холла, термоадс и т, д.1).Эти уотройства применимы, в основном,для определения типа проводимости низкоомных полупроводников, обладающих высокойподвижностью носителей. Измерение типапровэдимэсти высокоомных пэлупроводников и полупроводников с низкой подвижностью носителей (аморфных) этимттметодами практически невозможно.Известно устройство для определениятипа проводимости полупроводников, содержащее источник питания, регистрирующий прибор, электроды для подклю енияисследуемого образца, истэчник магнитного поля 12,Принцип действия устройства основанна определении а,д.с. Холла,едостатком известного устройства561157 ПНИИПИ 7 .в: 1557 Л 51 Тирои 1101 Пониионовонниии пгппвтвнт г, уиаоров ун провитнвн 4 симостти от типа его проводимости и от пэнлярнэсти напряжения поляризации.На чертеже изображечо предлагаемоеустройство.Устройство содержит пластину 1 изсегнетозчектрического материал ,иала на противоположные грани которой нанесеныМект 1 эодьт поляризации 2, подключенныек источнику питания 3, контакт 4, измертите 1 ть прсводимостит 5, исследуемый полупроводниковый образец 6.Устройство раоотает следующим обраПри включении источника питания 3,вследствие поляризации сегнетоэлектрическэгэ материала пластины 1, на ее поВбрхности возникает электрический заряд,обо 1-акающий или эбедняющий полупроводниковый образец 6, Обогащение или обеднение полупровдника 6 зависит от типа егопроводимости и от поляризации напряж енияисточника питания 3 поверхностного поляризацнонного заряда). При положительнэм поляризациэнном заряде происходит обогащение носителями пол. проводников р-типа и обеднентие носителями полупроводников И - типа.Обэ 1 ащею;е или обеднение носителями фиксируется измерительным прибором пэ увеличению или уменьшению тока проводимости) исследуемого образца. Эффективнтэсть устройства проявляетсяпри определении типа проводимости высокоомных полупроводников, а также полупроводников с низкой подвижностью носителей, Устройство обладает более прэстэй 5конструкцией пэ сравнению с известным, т,е. отпала необходимость в источнике сильногэ магнитного поля. Ф ормула изобретения Устройство для определения типа проводимрсти полупроводников, содержащее источник питания, регистрирующий прибор, электроды для подключения исследуемого образца,15 о т л и ч а ю щ е е с я тем, чтэ, сцелью расширения диапазона измерений иупрощения устройства, оно содержит сегнетоелектрическую пластину с двумя нанесен,ными на ее грани и соединенными с источником питания, электрэдамтл поляризации,20один из которых соединен с исследуемымобразцом непосредственно и через измеритель проводимости,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. )Килискас П. Ю., Сакалас А. Н. Измерение эффекта Холла ввысэкоомныхобразцах на постоянных полях, "Приборыи техника эксперимента", 1942 г.,3,с. 238.2, Авторское свидетельство СССР190176 Н 01 Ь 3/00, 1962.