Номер патента: 1176219

Авторы: Дрозд, Поперенко, Шайкевич

ZIP архив

Текст

(5)4 С 01 М 21/55 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,а К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,Ж Ю ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Киевский ордена Ленина государственный университет им, Т.Г. Шевченко(56) Горбань Н,Я. Дрозд П.И. и др. Гониометрическая приставка к эллипсометру: Известия вузов СССР, Физика. 1979, В 9, с. 92.Чдсгог М. Вегпыйег А 1 ЭЕК (Ап 81 е-ой-псЫепсе 6 егчагже е 1- 1 рзошесгу апй гей 1 есгошеггу 1 шр 1 ешепйаг 1 оп апо арр 1 ъсагдоп, 1980, ч. 94, В 1, р. 29-40.(54) (57) РЕфЛЕКТОМКТР, содержащийгониометр с предметным и поворотнымстоликами, электродвигатель, фотоприемник, соединенный с синхронным 801126219 А детектором, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью расширения диапазона рабочих частот модуляции углападения и упрощения конструкции,в него введен дисковый обтюратор сдвумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями, размещенный на валу электродвигателя пер.пендикулярно оси вращения вала, приэтом электродвигатель размещен наповоротном столике, а предметныйстолик установлен перпендикулярноплоскости, проходящей через линиюсоединения центров прорезей обтюратора и ось вращения вала, причемугол д У между предметным столиком и дисковым обтюратором выбирается из условия й (Л Ч 4 (Я-г 121, гдеК и г - соответственно радиусыокна фотоприемника и светового пучка, поступающего на его вход;расстояние между осью вращения гониометра и окном фотоприемника11762Изобретение относится к модуляционной спектроскопии и может быть использовано в рефлектометрии и эллипсометрии для контроля качества обработки плоских зеркальных по верхностей.Цель изобретения - расюирение диапазона рабочих частот модуля-ции угла падения и упрощение конструкции устройства.На фиг.1 изображена схема рефлектометра; на фиг.2 - то же, вид сбоку.На предметном столике 1 гониометра 2 закреплен электродвигатель 15 3, На.валу электродвигателя закреплены испытуемый образец 4 и дисковый обтюратор 5 с двумя диаметрально противоположными одинаковыми прорезями. Устройство содержит 20 фотодиод 6 и лампочку 7 накаливания в канале формирования опорного сигнала синхронного детектора 8. Фотоприемником 9 регистрируют полезный сигнал. 25Ось 2 вала электродвигателя перпендикулярна оси поворота гониометра 2, пересекает ее и направлена по биссектрисе 1 аоЬ,образованного направлением р падающего 30 пучка и направлением Ь соответствующим направлению отклоненного образцом 4 пучка света при а 9= О. Прерыванием светового пучка дисковым обтюратором 5 формируют опорные сигналы в синхронном детекторе, За счет выбора угла 3 У обеспечивают амплитуду угловой модуляции падаю 19 гщего на образец 4 света при повороте вала на 360 вокруг оси 2. Дисковый обтюратор с двумя диаметрально противоположными прорезями ориентирован перпендикулярно оси вращения вала, а плоская поверхность образца 4 перпендикулярна плоскости, проходящей через линию соединения центров отверстий обтюратора и ось вращения вала. Устройство работает следующим образом.Падающий на испытуемый образец 4 в направлении и пучок света отклоняется плоской поверхностью образца при повороте вала электродвигателя 3 вокруг оси Е. При полном повороте вала значения углов падения и отражения изменяются при угле падения М в пределах от М+ 2 д Ч до -2 д Чвблизи направления Ь. Причем центр отклоненного светового пучка движется вокруг направления Ь по окружности в плоскости зрачка фотоприемника 9. При этом полезный сигнал с фотоприемника 9 поступает на вход синхронного детектора 8 только в те моменты времени, когда через прорези обтюратора 5 проходит световой пучок, формирующий управляющие импульсы в опорном канале синхронного детектора, а образец 4 направляет измеряемый пучок света вблизи направления Ъ на фотоприемник либо под углом Уа,либо Мь 9, когда плоская поверхность образца совпадает с осью поворота гониометра.

Смотреть

Заявка

3645971, 08.07.1983

КИЕВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Т. Г. ШЕВЧЕНКО

ДРОЗД ПЕТР ИОСИФОВИЧ, ПОПЕРЕНКО ЛЕОНИД ВЛАДИМИРОВИЧ, ШАЙКЕВИЧ ИГОРЬ АНДРЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 21/55

Метки: рефлектометр

Опубликовано: 30.08.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1176219-reflektometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Рефлектометр</a>

Похожие патенты