Номер патента: 1159905

Авторы: Левшина, Пятышев, Черненькая

ZIP архив

Текст

, Ка 0-40 1-10 3-15 0-40 НС НЯО о СС 196 стально ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОПРю ИСАНИЕ ИЭ(71) Ленинградский ордена Лполитехнический институт имлинина(54) (5 чающий чаю повыие сокращ допо след мас.Х 7) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, вклюНР, НЗО., НС 1, НО, о т лщ и й с я тем, что, с цельюння выхода годных иэделий иения времени травления, онлнительно содержит НИО приующем соотношении компонентов,Выход годныхизделий (%) Компоненты, мас,%1 1 1 Время, мин Н,ЗО, НСХ И 10, Н 0 20 99 20 40 45 19 98 10 10 60 30 20 99 40 70 100 17 10 30 60 Составитель О. СамохинаТехред Т.фанта Корректор М, СамборскаяРедактор Е. Лушникова Тираж 457 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035,. Москва, Ж,. Раушская наб., д. 4/5Заказ 3685/21 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 1 1159Изобретение относится к технологии стекла, а именно к способам обработки поверхности стекла и может быть использовано в приборостроении, радиотехнической, электронной и оп тико-механической промышленности, где требуется точное избирательное травление поверхности стекла.Цель изобретения - повышение выхода годных изделий и сокращение времени травления.Обрабатывают пластины полированного стекла размером 76 к 76 мм. На лицевую поверхность пластин методом вакуумного напыления в установке УРМнаносят хром в течение 30-40 мин. Затем покрывают слоем фоторезиста АЕи сушат на центрифуге. Для закрепления фото-. реэиста пластины подвергают тем О пературному дублению в термостате при й120 С в течение 15 мин. На поверхность накладывают фото- шаблон с требуемьм рисунком. Изображение экспонируют от источника актиничного излучения в течение 2-3 мин, Затем фотошаблон пово" рачивают на 180 и экспонируют повторно, что позволяет устранить необлученные участки на поверхности 30 пластины, возникающие из-эа микро- дефектов в структуре фотошаблона. 905 2гЗатем с облученных участков снимают фоторезист в проявителе при нагревании, промывают дистиллированной водой С незащищенных участков травят хром в травителе хрома, промывают слабым раствором НСЙ (чтобы не образовался белый осадок) и дистиллированной водой. В результате получают изображение на пластине,Для получения рельефа предварительно поверхность пластины обеэжи-ривают раствором КСг 0 в Н 80Ойй; Это повышает чистоту вытравливаемой поверхности и тем самым уменьшает возможность образования непротравленных участков на поверхности рельефа. Затем стекло травят в предлагаемом травильном растворе.Результаты приведены в таблице.С использованием предлагаемого раствора в пластинах получены углубления 10, 20, 40,60 мкм площадью 66 к 28 ммф. Поверхность рельефа проверяют с помощью оптического микроскопа. Непротравленных участков, а также выступов более 1 мкм на поверхности рельефа не обнаружено. Следовательно, чистота поверхности удовлетворяет предьявляемым требованиям.

Смотреть

Заявка

3728601, 26.01.1984

ЛЕНИНГРАДСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. М. И. КАЛИНИНА

ЛЕВШИНА ЕЛЕНА СЕРАФИМОВНА, ПЯТЫШЕВ ЕВГЕНИЙ НИЛОВИЧ, ЧЕРНЕНЬКАЯ ЛЮДМИЛА ВАСИЛЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: C03C 15/00

Метки: раствор, травильный

Опубликовано: 07.06.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1159905-travilnyjj-rastvor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травильный раствор</a>

Похожие патенты