Способ изготовления рельефа на поверхности кремния

Номер патента: 149835

Авторы: Журавлев, Киреев

ZIP архив

Текст

149835. Класс 210, 11 ю 2 СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСК Г 1 одпасна группа Л 97 А. Журавлев и О, А. КиреевВЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ,КРЕМНИЯ ИЗГО П о 15 августа 1961 г. аа Ы 742315/26-9обретений и открытий ири Совете Министров СС Занв,тс в Когиитет ио аслаки и Оисбаиковано;Бюалетсис иаобрстений ЛЪ 17 аа 1962 г. Известные способы получения рсльефа на поверхности кремниевой заготовки цри изготовлении полупроводниковых приборов, основанные на применении фотолитографии с защитой поверхности кремния искусственно образованной окисной пленкой, не дают возможности получить достаточно четкое воспроизведение рельефа при вытравливанци щелочью нанесенного на поверхность кремния рисунка.По описываемому способу повышение четкости воспроизведения рельефа достигнуто созданием окисной пле 1 ки одновременно с вжиганисм в кремний ранее нанесенного никелем рисунка с последующим вытравливанисм эвтектики кремний - никель до получения углублений требуемой конфигурации.В соответствии с описываемым способом на поверхность кремниевой заготовки диффуз 1 ци примесей создают слой, проводимость которого противоположна проводимости материала заготовки. На поверхность полученного слоя химическим путем осаждают никель, который покрывают слоем желатина и фотоспособом вытравливают с пробель. ных мест никель до кремниевой подложки, получая рисунок заданной конфигурации. г 1 ля травления используют раствор, состоящий нз 1 части Нр 10 1 части Н,804 и 8 частей СНаСООН, не разрушающий желатинового покрытия, После удаления оставшегося на поверхности желао типового слоя заготовку обрабатывают при температуре около 1000 .В процессе термообработки происходит вплавление рисунка в кремний и образование на незашишенной пове 1)хности кремния окисноЙ пленки, Затем заготовку обрабатывают в шелочном травителе, напри-. мер в кипящем 30%-ном растворе КО 1-1, В процессе обработки стравливается эвтектика кремний - никель до получения рельефа требуемой конфигурации без разрушения поверхности кремния, защищенного окисной пленкой.149835Предмет изобретенияСпособ изготовления рельефа на поверхности кремния фотолитографическим путеМ с защитой поверхности кремния от травления окисной, пленкой при производстве полупроводниковых приооров, о т л ич а ю щ и Д с я тем, что, с целью получения более четкого воспроизведения рельефа структуры на кремнии при вытравливании рисунка в щелочи, указанную окисную пленку создают на незащищенной поверхности кремния при термообработке его на воздухе при температуре порядка 1000 одновременно с вжиганием ранее нанесенного рисунка никеля В кремний, а затем вытравливают в щелочном травителе образовавшуюся эвтектику кремний - никель до получения углублений требуемой конфигурации без разрушения поверхности кремния, защищенной окисной пленкой,Составите.ь оисии 5 Г. 1, ФридолииРедактор Н. С. Кутафина Техред А, А, Кудрявицкая Корректор Н. В. ЩербаковаПоди к печ. 1 О,Л 1-62 г. Формат бум. 70 Х 108/ц Объем 0,18 изд. л.Зак. 7460 Тираж 100 Цена 4 коп.ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, М. Черкасский пер. д. 2/6.Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14.

Смотреть

Заявка

742815, 15.08.1961

Журавлев В. А, Киреев О. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/311

Метки: кремния, поверхности, рельефа

Опубликовано: 01.01.1962

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-149835-sposob-izgotovleniya-relefa-na-poverkhnosti-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления рельефа на поверхности кремния</a>

Похожие патенты