Испарительный геттерный насос

Номер патента: 1082984

Авторы: Перминов, Теньгушев

ZIP архив

Текст

)Р 04 В ПИ Е ЕТЕ ТВ ЕТ АВТОРСКОМ НАСОСныммате Ш с ых хикомодклю во СССР975,вакуение",СОЮЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(56) 1. Авторское свидетельсР 528386, кл. Р 04 В 37/02,2. Иванов В.И. Безмасляныумные насосы. Л., "Иашиностр1980, с.53. 7) ИСПАРИТЕЛЬНЫЙ ГЕТ содержащий корпус с нем испарителем из г ала, о т л и ч а ю щ то, с целью улучшени рактеристйк, он снаб ультразвуковых колеб ченным к испарителю. ЕРНЫЙ размещенттерного и й с я откачен источ- йЗаказ 17.11/32 Тираж 624 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква, Ж, Раушская наб д. 4/5филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкциямиспарительных геттерных насосов.Известен геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем генератором плазмы геттерного материала 5и устройство для зажигания вакуумнойдуги 1,Недостатком известного насоса является невысокий верхний предел давления запуска, т,е. запуск насоса 10осуществляется при давлении в нем невыше 10 Па. В противном случае нагенераторе образуются окисные пленки,ухудшающие откачные характеристики.Наиболее близким к предлагаемомуявляется испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем из геттерногоматериала 2 .Недостатком указанного насоса являются невысокие откачные характеристики при увеличении давления запуска.Цель изобретения - улучшение от-качных характеристикУказанная цель достигается тем, что испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем иэ геттерного материаласнабжен источником ультра звуковых колебаний, подключенным к испарителю. На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.Испарительный геттерный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем испарителем 2 из геттерного материала, причем насос снабжен источником 3 ультразвуковых колебаний, подключенным к испарителю 2Кроме того,.насос содержит охлаждаемый экран 4, поджигающий электрод. 5, источник 6 питания и ультразвуковой генератор 7, связанный с источником 3 ультразвуковых колебаний.Насос работает следующим образом.После предварительного вакуумирования насоса до давления не выше 10 Па источником 3 возбуждают ультразвуковые колебания в испарителе 2 и зажигают с помощью поджигающего электрода 5 электрическую дугу между испарителем 2 и экраном 4. Испаряемый при горении дуги геттерный материал конденсируется на холодной поверхности экрана 4, образуя активную пленку, поглощающую газ, поступающий н объем насоса. Ультразвуковые колебания, возбуждаемые в испарителе 2, не позволяют окислам образовать плотную пленку на поверхности испарителя.Таким образом, диапазон работы предлагаемого насоса расширяется в область более высоких давлений. что обусловливает лучшие откачные характеристики.

Смотреть

Заявка

3569143, 28.01.1983

ОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ПЕРМИНОВ СЕРГЕЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ТЕНЬГУШЕВ ВАЛЕРИЙ СЕРГЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04B 37/02

Метки: геттерный, испарительный, насос

Опубликовано: 30.03.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1082984-isparitelnyjj-getternyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испарительный геттерный насос</a>

Похожие патенты