Теньгушев

Испарительный геттерный насос

Загрузка...

Номер патента: 1082984

Опубликовано: 30.03.1984

Авторы: Перминов, Теньгушев

МПК: F04B 37/02

Метки: геттерный, испарительный, насос

...насоса 10осуществляется при давлении в нем невыше 10 Па. В противном случае нагенераторе образуются окисные пленки,ухудшающие откачные характеристики.Наиболее близким к предлагаемомуявляется испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем из геттерногоматериала 2 .Недостатком указанного насоса являются невысокие откачные характеристики при увеличении давления запуска.Цель изобретения - улучшение от-качных характеристикУказанная цель достигается тем, что испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем иэ геттерного материаласнабжен источником ультра звуковых колебаний, подключенным к испарителю. На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.Испарительный геттерный...