Устройство контроля интегральных схем

(19) (11) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТК А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ВВ);, ч,), .;,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ(57) Изобретение относится к контролю интегральных схем. Цель изобретения - повышение точности устройства контроля интегральных схем, Устройство содержит счетчик 6, блок 10 памяти, мультиплексоры 11 и 12, цифроаналоговые преобразователи 13-16,регистр 17, многоканальные ключи 20, многоканальный компаратор 2 1, элементы И 23 и 24, элемент НЕ 32, элемент РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35, элемент ИЛИ 36 и блок 37 управления, Введение счетчиков 7-9, элементов И 25-31,регистров 18 и 19, элементов НЕ 33 и 34 и образование новых функциональных связей обеспечивает режим автоматической корректировки измерительных элементов. В описании приведены примеры выполнения блока 37 управления, включающего триггеры 42-45, генератор 46 тактовых импульсов, индикаторы 47-50, шины 38-41 самопроверки, автокалибровки, функцио-. нирования и пуска, элементы И 5 1-53, ф формирователи 54-56 импульсов и элемент ИЛИ 57, и многоканального компаратора 21. 2 з.п. ф-лы, 3 ил. С:1370634 Фиг Составитель В.СавиноТехред М.Дидык орректор А,Тяск актор Л.Пчолинск аз 418/48 ирах 7 одпис ВН Производственно-полиграфическое пр ИИПИ Государс по делам изоб 113035, Москва, Женног тений омитета СССРоткрытий ая наб., д.4/5 тие, г,увтород, ул,Проектная,4Изобретение относится к устройствам контроля интегральных схем и может быть применено для функционального контроля интегральных схем (ИС).5Цель изобретения - повышение точности устройства контроля. за счет введения режима автоматической корректировки измерительных элементов.На фиг,1 изображено устройство контроля интегральных схем; на фиг.2 - блок-схема многоканального компаратора; на фиг.З - значение размеров блока памяти и возможное расположение зон разбросов порогов многоканального компаратора.Устройство содержит первый 1, второй 2, третий 3, четвертый 4 и пятый 5 входы устройства, первый 6, второй 7, третий 8 и четвертый 9 счетчики, блок 10 памяти, первый 11 и второй 12 мультиплексоры, первый 13, второй 14, третий 15 и четвертый 16 цифроаналоговые преобразователи (ЦАП),первый 17, второй 18 и третий 19 регистры, многоканальные ключи 20, многоканальный компаратор 21, испытуемая ИС 22, первый 23, второй 24,третий 25, четвертый 26, пятый 27,шестой 28, седьмой 29, восьмой 30 и ЗОдевятый 31 элементы И, первый 32,второй 33 и третий 34 элементы НЕ, элемент РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35, элемент ИЛИ36 и блок 37 управления,Блок 37 управления содержит шину38 "Самопроверка", шину 39 "Автокалибронка", шину 40 "Функционирование", шину 41 "Пуск", первый 42, второй 43, третий 44 и четвертый 45триггеры, генератор 46 тактовых им Опульсов; первый 47, второй 48, третий 49 и четвертый 50 индикаторы,элементы И 51-53, первый 54, второй55 и третий 56 формирователи импульсов и элемент ИЛИ 57.45Многоканальный компаратор 21 состоит из первого 58 и второго 59 компараторов (одноканальных), элементаИ 60 и первого 61 и второго 62 элементов ИЛИ-НЕ,50Выходы счетчика 6 соединены с первыми входами блока 1 О памяти и первыми входами мультиплексоров 11 и 12,вторые входы которых соединены соответственно с вторыми 2 и третьими 3входами устройства, а третьи входы -с первым выходом блока 37 управления. Выходы мультиплексоров 11 и12 через ЦАП 13 и 14 соответственно соединены с соответствующими входами опорных напряжений многоканальных ключей 20. Информационные входыключей 20 соединены с первыми выходами блока 10 памяти, вторые входыкоторого соединены с информационнымивходами многоканального компаратора 21. Четвертый и пятый входы устройства соединены с первыми входамивторого 7 и третьего 8 счетчиков.Выходы счетчиков 7 и 8 через второй18 и третий 19 регистры и через третий 15 и четвертый 16 ЦАП соединеныс соответствующими входами опорныхнапряжений многоканального компаратора 21. Измерительные входы многоканального компаратора 21 соединеныс выходами многоканальных ключей 20и клеммами ИС 22. Выходы многоканального компаратора 21 соединены с информационными входами регистра 17,Стробовый и сбросовый входы регистра 17 связаны соответственно с вторым и третьим выходами блока 37 управления. Первый вход блока управления соединен с третьим выходом блока10 памяти. Четвертый выход блока памяти соединен через элемент НЕ 34 спервыми входами элементов И 27 и 28,первыми входами элементов И 26 и 29и вторым входом блока 37 управления.Четвертый выход блока управления соединен со стробовыми входами второго 18 и третьего 19 регистров.Пятый выход блока 10 памяти соединенс вторыми входами элементов И 27 и 29и через элемент НЕ 33 с вторыми входами элементов И 26 и 28. Третьи входы элементов И 26 и 28 соединены стретьими входами первого 27 и третьего 29 элементов И и пятым выходом блока 37 управления, шестой выход которого соединен с первым входом девятого элемента И 31. Выходэлемента И 31 соединен с тактовымвходом четвертого счетчика 9, выход,старшего разряда которого соединенс третьим входом блока 37 управления. Седьмой выход блока управлениясоединен с первыми входами элементов И 24 и 25, вторые входы которыхсоединены с восьмь 1 м выходом блока37 управления, первым входом элемента И 30 и вторым входом элемента И 31. Третий вход элемента И 31соединен с выходом элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35 через элемент НЕ 32 ис вторым входом элемента И 24, тре 1370634тьи входы элементов И 25 и 30 соединены с первым входом элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35 и выходом элемента ИЛИ 36. Входы элемента ИЛИ 36 соединены с выходами третьего регистра 19 и в5 входами элемента И 30, выход которого соединен с вторым входом элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35, шестой выход блока 10 памяти соединен с четвертым входом третьего элемента И 25, выход которого соединен с четвертым входом блока 37 управления. Пятый вход блока 37 управления соединен с выходом второго элемента И 24, четвертый вход восьмого элемента И 30 соединен с девятым выходом блока 37 управления. Десятый выход блока 37 управления соединен с входом записи счетчика 9, информационные входы которого соединены с седьмыми выходами блока 10 памяти. Восьмой выход блока 10 соединен с четвертым входом второго элемента И 24, выход восьмого элемента И 30 соединен с шестым входом блока 37 управления. Шина 38 "Самопроверка" блока 37 управления соединена с первым, вторым и третьим выхолами блока 37 управления, шина 41 "пуск" через первый формирователь 54 импульсов соединена с четвертым выходом блока 37 управления, первыи входом элемента И 51 и через формирователь 55 импульсов с первым входом элемента ИЛИ 57, первыми входами первого 42, второго 43, третьего 44 и четвертого 45 триггеров и пятым выходом блока 37 управления. Первый вход блока 37 соединен с вторым входом первого тригге 40 ра 42. Выход триггера 42 соединен с первым входом элемента И 52, выход которого соединен с шестым выходом блока 37 управленияСедьмой выход блока 37 соединен с первым выходом45 генератора 46 тактовых импульсов, второй выход которого соединен свторым входом элемента И 52, Третий вход элемента И 52 соединен с первым выходом второго триггера 43. Первые выходы четвертого 45 и третьего 4450 триггеров соединены соответственно с четвертым и пятым входами элемента И 52, первый 47, второй 48, третий 49 и четвертый 50 индикаторы соединены с вторыми выходами соответственно первого 42, второго 43, третьего 44 и четвертого 45 триггеров, Шина 39 "Автокалибровка" соединена со вторым входом элемента И 51 и первым входом элемента И 53, Второй вход элемента 53 соединен с третьим выходом генератора 46 тактовых импульсов, а выход - с восьмым выходом блока 37 управления. Девятый выход блока 37 соединен с выходом элемента И 51. Десятый выход блока 37 управления соединен с шиной 40 "Функционирование". Второй вход блока 37 управления соединен с третьим входом второго триггера 43, третий вход блока 37 управления соединен через третий формирователь 56 импульсов с вторым входом элемента ИЛИ 57 выход которого соединен с одиннадцатым выходом блока 37 управ. пения.Каждый канал многоканального компаратора 21 состоит из компараторов 58 и 59 элемента И 60, а также первого 61 и второго 62 элементов ИЛИ-НЕ. Измерительные входы компараторов 58 и 59 соединены с измерительным входом многоканального компаратора 21, первый вход опорного напряжения многоканального компаратора 21 соединен с входом опорного напряжения первого компаратора 58, а второй вход опорного напряжения многоканального компаратора 21 соединен с входом опорного напряжения второго компаратора 59, выход которого соединен с входом элемента И 60 и входом первого элемента ИЛИ-НЕ 61, выход которого соединен с входом второго элемента ИЛИ-НЕ 62, второй вход которого соединен с выходом элемента И 60, выход первого компаратора 58 соединен с входом элемента И 60 и входом первого элемента ИЛИ-НЕ 61, выход элемента ИЛИ-НЕ 62 являетсявыходом многоканального компаратора 21, вход ожидаемой комбинации которого соединен с входом элемента И 60 и входом первого элемента ИЛИ-НЕ 61,Устройство работает следующим образом.Первоначально устанавливаются коды на входах 1-5 устройства. Затем выбирается режим работы. Устройство может работать в трех режимах: самопроверки порогов срабатывания многоканального компаратора 21; автоматической корректировки эоны порогов многоканального компаратора 21 и функционального контроля 11 С. Первоначально устройство запускают в работу в первых двух режимах, чтобы га 137063411 ьх рантировать высокую достоверность контроля, Запись кодов пороговых напряжений в счетчики 7 и 8 осуществляется подачей на шину 39 "Автокалибровка" единичного сигнала и сигнала на шину 41 "Пуск", который через элемент И 51 и формирователь 54 импульсов поступает на входы записи счетчиков 7 и 8. Осуществляется перепись кодов с входов 4 и 5 в счетчики 7 и 8. Для работы в режиме самопроверки на шине 38 "Самопроверка" устанавливается "1", а на шине 39 "Автокалибровка" - "0". При этом зона адресов блока 10 памяти определяет только тесты самоконтроля. Адрес определяется и-разрядами входа 1 и одним разрядом шины 38 нСамопроверка", Устройство начинает работать после поступления сигнала на шину 41 Пуск", который, пройдя формирователь 54 импульсов, поступает на вход разрешения записи в счетчик 6. Происходит запись начального адреса тестов. Затем импульс с формирователя 54 импульсов через формирователь 55 импульсов осуществляет перепись информации из счетчиков 7 и 8 соответственно в регистры 18 и 19, с выходов которых коды поступают на входы ЦАП 15 и 16, которые устанавливают величины опорных напряжений на входах многоканального компаратора 21, Коды величин уровней входных напряжений для многоканальных ключей 20 за даются со счетчика 6 через мультиплексоры 11 и 12 на входы ЦАП 13 и 14, которые и задают величины уровней входных напряжений, Многоканальные ключи 20 формируют входные воздействия на выходе ИС 22 с этими заданными уровнями. В режиме самопроверки величина входного уровня на выходе ИС 22 меняется от нуля до наибольшего допустимого для данного устройства напряжения,Принцип работы устройства поясняется на фиг.3 с учетом разрядов блока 10 памяти.Первые выходы блока 10 памяти хра. нят признаки входной информации на выходе ИС 22; вторые выходы - признаки ожидаемой информации; третий выход - признак окончания тестов; четвертый выход - отображение границы расположения верхнего порога многоканального компаратора 21; пятый выход - отображение границы рас 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 положения нижнего порога многоканального компаратора 21; шестой выход - отображение нижней допустимой границы нижнего порога и верхней допустимой границы верхнего порога многоканального компаратора 21; седьмые выходы - уставку, равную коду величины допустимой эоны разбросов порогов многоканального компаратора 21; восьмой выход - отображение допустимых границ нижнего и верхнего порогов многоканального компаратора 21На фиг.3 приведены значения 4-6 и 8 разрядов блока 10 памяти при самопроверке и автокалибровке устройства, При самопроверке осуществялется проверка устройства исходя из расчетных уставок на входах 2-5. При этом подразумевается, что ЦАП 13-16 работают идеально, т.е. их погрешность не влияет на оценку работы устройства, После запуска устройства триггеры 42-45 находятся в сброшенном состоянии, при котором погашены индикаторы 47-50 и на входы элемента И 52 поступают единицы, т,е. разрешается прохождение тактовых импульсов с генератора 46 тактовых импульсов на вход счетчика 6, что приводит к последовательному наращиванию кода в счетчике 6. Это означает, что происходит после,цовательная выборка ячеек из блока 10 памяти, а на опорные входы многоканальных ключей 20 поступает напряжение, которое формируется по коду со счетчика 6 через мультиплексоры 11 и 12 по разрешению с шины 38 "Самопроверка" на ЦАП 13 и 14. Таким образом на выходах многоканальных ключей 20 формируется линейнонарастающее напряжение (с точностью до кванта), которое поступает на входы многоканального компаратора 21 (контролируемая ИС отсутствует), При этом существует взаимно однозначное соответствие между амплитудой входного напряжения Й )бк и кодом адреса (А) где д - квант ЦАП 13 и 14. Следовательно, согласно каждому тесту ожидаемые комбинации поступают на многоканальный компаратор 21 и однозначно определяют Б , а значит в блоке 10 памяти выделяемые разрядь 1могут хранить зоны допустимых разбросов порогов многоканального компаратора 21. При Б( 11. не должен браковать ни один из каналов многоканального компаратора 21, поэтому5 элемент И 25 пропускает на триггер 43 все браки по разрешению с шестого выхода блока 10 памяти и с элемента ИЛИ 36, который и определяет 10 появление хотя бы одного брака. Регистр 17 хранит брак в течение одного такта. Элемент РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35 фиксирует ситуации: все каналы либо бракуются, либо не фиксируют брака - 15 в этом случае на его выходе имеется "1". Восьмой разряд блока 10 памяти хранит именно эти ситуации. В противном случае через элемент И 24 проходит сигнал Он с выхода элемента 35 через элемент НЕ 32 дает единицу на входе элемента И 24 на триггер 43.Правильно работающий многоканальный компаратор 21 должен в зоне 0Б ,Б, давать по всем каналам годность; в зоне УБ ,Б воэможность хотя бы один брак из всех каналов; в зоне У - БУз по всем каналам обязательно брак; в зоне У- У ,П 4 возможен хотя бы один брак из всех каналов; в зоне ББпо всем каналам годность. Триггер 43 фиксирует браки при самопроверке, когда компаратор 21 35 неверно реагирует на Б , Для обе - спечения развязок "гонок" стробирование сигнапов с компаратора 21 осуществляется с разных выходов генератора 46 тактовых импульсов на ре гистр 17 и на элементы И 25 и 24 по отношению к тактам на счетчике 6. В счетчик 9 записывается в исходном состоянии из блока 10 памяти величина допустимой роны разброса поро гов (Б, - Б, ) многоканального компаратора 21, а затем в момент перехода Б записывается величина (Б- Б ). Через элемент И 31 начинают поступать импульсы в моменты от сутствия годности и отсутствия одновременно всех браков по всем каналам с элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ 35 через элемент НЕ 32, В случае превыше ния реальной зоны рабросов порогов многоканального компаратора 21 над нормой происходит переполнение счетчика 9 и триггер 45 фиксирует этот вид брака. Такой вид проверки нужен для тех случаев, когда необходимознать о возможности корректировки порогов многоканального компаратора21, чтобы исправить его отклонения.Если не происходит фиксации брака устройства, то при БЬ режим самопроверки заканчивается, таккак в этот период на третьем выходе блока 10 памяти появляется "1",которая изменяет состояние триггера42, фиксирующего конец режима, С одного плеча триггера 42 поступает "0"на элемент И 52, запрещая дальнейшую работу устройства, а с другого плеча - сигнал на индикатор 47,вызывая его свечение,Многоканальный компаратор 21фиксирует входные сигналы на компараторах 58 и 59, сравнивая их с пороговыми напряжениями с ПАП 15 и 16.11 ри превышении входного сигнала посравнению с напряжениями на входахопорных напряжений компараторы 58 и59 на своих выходах устанавливают"1". При подаче ожидаемой "1" на входах элемента И 60 присутствуют все"1". На выходе элемента И 60 имеется"1", на выходе элемента ИЛИ-НЕ 620 . В случае подачи ожидаемого нОна входах элементов ИЛИ-НЕ 62 и И 60находятся "0, а на выходе элементаИЛИ-НЕ 62 - "1", что соответствуетбраку, В случае входного сигнала ниже пороговых напряжений, на выходекомпараторов 58 и 59 имеются нули.При ожидаемой информации "0" на входах элемента ИЛИ-НЕ 61 присутствуютнули,на выходе - "1", которая устанавливает 0 на выходе элементаИЛИ-.НЕ 62, что соответствует годности. В иных случаях на входах элемента И 60 и элемента ИЛИ-НЕ 61 нетодинаковых логических сигналов, чтосоответствует нулям на их выходах иединице на выходе элемента ПЛИ-НЕ 62,т,е, брак,Принцип работы устройства в режиме автокалибровки (фиг.3, показанывозможные расположения зон пороговмногоканального компаратора 21). Впредыдущем процессе выявляют ошибки в работе компаратора 21, Теперьвыясняют являются ли эти ошибки катастрофическими или они исправимы,Для этого производится определениедвух параметров: величины зоны раэбросов порогов многоканаль ного компаратора 2 1 и начало зоны ворогов.На фиг.3 показаны разбросы порогов многоканального компаратора 21 для "0" и "1". Позиции 1 а и 1 в на фиг.З требуют автокалибровки эон порогов,5 а позиция 1 б не требует проведения автокалибровки и фиксируется в режиме самопроверки как годная ситуация. Позиция 2 на фиг.З показывает положение зон порогов многоканального компаратора 2 1 после проведения авто- калибровки, что поясняет принцип автокалибровки - начало эоны разбросов порогов всегда приводится к нижней границе допустимой зоны разбросов порогов, т.е. производится увеличение или уменьшение уставок. Позиция 1 б на фиг.З соответствует годности устройства, а позиция 1 г соответствует неисправному устройству.Режим работы автокалибровки определяется "единицами" на двух шинах 38 и 39 "Самопроверка" и "Автокалибровка", В этом случае происходит запуск контроля устройства аналогич но предыдущему режиму.Устройство работает аналогично за исключением вычисления новых кодов опорных напряжений на многоканальном компараторе 21. При первом же появлении брака на выходе элемента НЕ 32 появляется "1", что приводит к появлению разрешения на элементах И 26-29, при этом условия увеличения или уменьшения содержимых счетчиков 7 и 8 следующие:35 1. Увеличение содержимого счетчика 7 (смещение уставки вверх, таккак реальные пороги ниже П,) осуществляется импульсами на выходе элемента И 28 при условии П 4 4 П 54 а (гдеа - значение выхода элемента НЕ 32;П 4 и П 5 - признаки блока 10 памяти),2. Уменьшение содержимого счетчика 7 (смещение уставки вниз, так какреальные пороги выше П ) осуществляется импульсами на выходе элементаИ 27 при условии П 4 П 51 а;3. Увеличение содержимого счетчика 8 (смещение уставки вверх, таккак реальные пороги ниже Пз) осуществляется импульсами на выходе элемента И 25 при условии П 5П 44 а;4. Уменьшение содержимого счетчика 8 (смещение уставки вниз, так какреальные пороги выше П ) осуществля 3ется импульсами на выходе элементаИ 26 при условии П 4 1 П 54 а,В результате устройство хранит идеальные уставкив регистрах 18 и 19 и скорректированные уставки в счетчиках 7 и 8, В этом режиме элементы И 24 и 25 заблокированы "0" с шестого и восьмого выходов блока 10 памяти. Контроль в режиме автокалибровки заканчивается, если фиксируется брак на триггере 45. В противном случае устройство после фиксации новых уставок автоматически переходит в режим, аналогичный самопроверке, путем продолжения тестов с изменением значений шестого и восьмого выходов блока 10 памяти на соответствующие режиму самопроверки, Окончание второй части режима автокалибровки происходит по появлению "1" на третьем выходе блока 10 памяти, изменяется состояние триггера 42 и подается запрещающий сигнал на элемент И 52, останавливая работу устройства.По окончании режима автокалибровки устройство подготовлено (если не имеется катастрофических отказов) к проведению функционального контроля ИС. Для этого снимаются единичные сигналы с шин 38 и 39 и устанавливаются нулевые сигналы, а на шине 40 "функционирование устанавливается "1", Работа устройства начинается с подачи сигнала на шину 41 "Пуск", после чего происходит запись начального адреса в счетчик адреса Ь по сигналу с формирователя 54, сброс триггеров 42-45 и запись кодов уставок порогов из счетчиков 7 и 8 в регистры 18 и 19. На ЦАП 13 и 14 уставки задаются с входов 2 и 3 через мультиплексоры 11 и 12, В этом режиме элементы И 27, 28 и 31 заблокированы сигналами с шин 38 и 39, фиксация брака осуществляется на триггере 44 через элементы И 29 и ИЛИ 36, Функциональный контроль ИС начинается с подачи входных воздействий на выходы, которые являются выходами ИС. Для тех выводов ИС, которые являются выходами, эти каналы многоканальных ключей 20 находятся в третьем состоянии. Входные воздействия формируются по уровням, задаваемым с ЦАП 13 и 14, Выходные сигналы ИС поступают на входы многоканального компаратора 21, где сравниваются с ожидаемыми комбинациями, поступающими с блока 10 памяти. Браки1. Устройство контроля интегральных схем, содержащее первый счетчик, блок памяти, блок управления, первый 30 и второй мультиплексоры, первый, второй, третий и четвертый цифроаналоговые преобразователи, первьй регистр, многоканальные ключи, многоканальный компаратор, первый, второй и третий элементы И, первьй элемент НЕ, элемент ИЛИ, элемент РАВНОЗНАЧНОСТЬ, причем информационцые входы первого счетчика соединены с первыми входами устройства, первые входы 40 первого и второго мультиплексоров соединены соответственно с вторыми и третьими входами устройства, выходы первого счетчика соединены с первыми входами блока памяти и вторыми 45 входами первого и второго мультиплексоров, выходы которых соединены соответственно с входами первого и второго цифроаналоговых преобразователей, выходы которых соединены с соот ветствующими входами многоканальных ключей, информационные входы которых соединены с первыми выходами блока памяти, вторые входы которого соединены с информационными входами многоканального компаратора, измЕрительные входы которого соединены с выходами многоканальных ключей с клеммами для подключения объекта 55 с многоканального компаратора 21 фиксируются на регистре 17 по стробам с генератора 46 тактовых импульсов. Затем через элемент ИЛИ 36 брак (еди 5 ничный сигнал) поступает на триггер 44 через элемент 30 И по разрешению с шины 40. Контроль заканчивается либо по сигналу брак, фиксируемому на триггере 44 и индикаторе 49, либо 10 по сигналу годности, фиксируемому на триггере 42, как и ранее, в последнем тесте для данного режима.Каждый канал многоканального компаратора 2 1 сравнивает аналоговыесигналы с опорными напряжениями с ЦАП 15 и 16 на одноканальных компараторах 58 и 59, которые выделяют сигналы в цифровой форме, Эти сигналы поступают на входы элементов 60 и 61, которые в случае совпадения сигналов браков с ожидаемой комбинацией через элемент ИЛИ-НГ 62 выделяют сигнал "Брак".25формула изобретения контроля, выходы третьего и четвертого цифроаналоговых преобразователей соединены с соответствующими входами опорных напряжений многоканальногокомпаратора, выходы которого соединены с информационными входами первого регистра, выходы которого соединены с входами элемента ИЛИ и вхо" дами первого элемента И, выход которого соединен с первым входом элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ, выход которого соединен через элемент НЕ с первым входом второго элемента И, выход элемента ИЛИ соединен с вторым входом элемента РАВНОЗНАЧНОСТЬ и первым входом третьего элемента И, первый выход блока управления соединен с тактовым входом первого счетчика,а чторой выход - с входом записи первого счетчика, третий выход блока управления соединен с вторым входом блока памяти, а четвертый - с третьим входом блока памяти и третьими входами первого и второго мультиплексоров, первый вход блока управления соединен с третьим выходом блока памяти, четвертый и пятый выходы которого соединены с вторыми входами соответственно второго и третьего элементов И, выходы которых соединены соответственно со вторым и третьим входами блока управления, пятьй выход которого соединен с тактовым входом первого регистра, о т л и ч а - ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, в него введены второй, третий и четвертый счетчики, второй и третий регистры, четвертый, пятый, шестой, седьмой, восьмой и девятый элементы И, второй и третий элементы НЕ, причем инфор"мационные входы второго и третьего счетчиков соединены соответственнос четвертыми и пятыми входами устройства, выходы второго и третьего счетчиков соединены с информационными входами второго и третьего регистров соответственно, выходы которых соединены с входами третьего и четвертого цифроаналоговых преобразователей соответственно, шестой выход блока управления соединен с входом сброса первого регистра, входами записи второго и третьего регистров, седьмой выход блока управления соединен с первыми входами четвертого, пятого, шестого и седьмого элементов И, вторые входы ко1370634 13 14 торых соединены с выходом первого элемента НЕ и первым входом девятого элемента И, выход которого соединен с тактовым входом четверто 5 го счетчика, шестой выход блока па,мяти соединен с третьими входами четвертого и седьмого элементов И и четвертым входом блока управления и через третий элемент НЕ - с третьими входами пятого и шестого элементов И, седьмой выход блока памяти соединен с четвертыми входами пятого и седьмого элементов И и через второй элемент НЕ - с четвертыми вхо. дами четвертого и шестого элементов И, восьмой выход блока памяти соединен с информационными входами четвертого счетчика, выход которого соединен с пятым входом блока управления, шестой вход которого соединен с выходом восьмого элемента И, восьмой выход блока управления соединен с вторыми входами второго и третьего элементов И, первым входом восьмого 25 и вторым входом девятого элементов И, девятый выход блока управления соединен с вторым входом восьмого элемента И,третий вход которого соединен с выходом элемента ИЛИ, четвертые Зр входы второго и третьего элементов И и третий вход девятого элемента И соединены с четвертым выходом блока управления, десятый выход которого соединен с первыми управляющими вхо 35 дами второго и третьего счетчиков, вторые и третьи управляющие входы которых соединены соответственно с выходами пятого, шестого, седьмого и четвертого элементов И, одиннадца О тый выход блока управления соединен с входом записи четвертого счетчика. 2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что блок управ ления содержит шины Самопроверка", "Автокалибровка, "Функционирование" и "Пуск , первый, второй, третий и четвертый триггеры, генератор тактовых импульсов, первый, второй, 5 О третий и четвертый индикаторы, первый, второй и третий элементы И, первый, второй и третий формирователи импульсов, элемент ИЛИ, причем шина нПуск через первый формирователь им пульсон соединена с первым выходом блока, первым входом первого элемента И и входом второго формирователя импульсов, выход второго элемента И соединен с вторым выходом блока,третий выход которого соединен сшиной "Самопроверка , первым входомтретьего элемента И, четвертый выходблока соединен с первым выходом генератора тактовых импульсов, второй выход которого соединен с первымвходом второго элемента И, третий выход генератора тактовых импульсовсоединен с вторым входом третьегоэлемента И, шина "Лвтокалибровка" соединена с вторым входом первого элемента И, третьим входом третьегоэлемента И, первые выходы первого,второго, третьего и четвертого триггеров соединены соответственно свторым, третьим, четвертым и пятымвходами второго элемента И, а вторыевыходы первого, второго, третьего ичетвертого триггеров соединены соответственно с первым, вторым, третьими четвертым индикаторами, первый входпервого триггера соединен с первымвходом блока, второй вход которогосоединен через третий формировательимпульсов с первым входом элементаИЛИ, третий вход блока соединен спервым входом четвертого триггера,четвертый вход блока соединен с первым входом второго триггера, второй.вход которого соединен с пятым входом блока, шестой вход которого соединен с первым входом третьего триггера, пятый выход блока соединен свыходом второго формирователя импульсов, вторым входом элемента ИЛИ, вторыми входами первого, третьего и четвертого триггеров и третьим входомвторого триггера, шестой выход блока соединен с выходом третьего элемента И, третий выход генератора тактовых импульсов соединен с седьмымвыходом блока, восьмой выход которого соединен с выходом первого элемента И, выход элемента ИЛИ соединенс девятым выходом блока, десятый выход блока соединен с шиной "Функционирование", а шинаЛвтокалибровкасоединена с одиннадцатым выходом блока.3. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что многоканальный компаратор состоит из Х параллельных каналов, каждый из которых содержит первый и второй компараторы, первый и второй элементы ИЛИ-НЕ,элемент И, причем выход первого компаратора соединен с первыми входамиэлемента И и первого элемента ИЛИ-НЕ, выход второго компаратора соединен с вторыми входами элемента И и первого элемента ИЛИ-НЕ, выходы которых соединены соответственно с первым и вторым входами второго элемента ИЛИ-НЕ, измерительный вход многоканального компаратора соединен с иэмерительными входами первого и второ Ого компараторов, информационный вход многоканального компаратора соединен с третьими входами элемента И и первого элемента ИЛИ-НЕ,первый и второй входы опорных напряжений многоканального компаратора соединены с соответствующими входами опорных напряжений первого и второго компараторов, выход второго элемента ИЛИ-НЕ соединен с выходом многоканального компаратора.