Полировальный состав для обработки полупроводниковых материалов

Номер патента: 671196

Опубликовано: 23.11.1982

Авторы: Зубань, Кондратенко, Огенко, Потоцкий, Стусь, Сушко, Тарасевич, Тертых, Хабер, Хома, Чуйко

МПК: C01B 33/12

Метки: высокодисперсной, двуокиси, кремния, металла, металлоида, окисью, смеси

...600 С в течение 2 ч. Полученная смесь окислов содержит 89, 5 вес. 8102 и 10, 5 вес.ТЫи имеет удельную поверхность по БЭТ 290 м/г, рН,05.Использование предлагаемой кремне- титановой окисной смеси в составе эма левых шликеров улучшает свойства эмалевым покрытий, например, в отношении блеска, белизны, химической стойкости, и позволяет исключить добавку глины, как подвешивакщее средство шлике" ров,Формула изобретения В результате проведенного процесса получают высокодисперсную смесь указанных окислов в количестве 43 кг, содержащую 92,99 вес. 810, 6,9 вес, 65 с окисью металла или металлоида и уп-. рощение процесса ее получения.Поставленная цель достигается описываемым способом получения высокодисперсной смеси двуокиси кремния с окисью металла...

Номер патента: 948881

Опубликовано: 07.08.1982

Авторы: Круглицкий, Лях, Макаров, Сушко, Хабер, Хома

МПК: C01B 33/18

Метки: высокодисперсной, двуокиси, кремния

...поля напряжением 150-1 70 кВ. 5Сущность изобретения заключается в том, что исходные компоненты реакционной смеси, включающие, например, Я СО, ,Н О перед введением в зону горения, подвергают атомизации и/или ионизации 10 в алектрическом поле высокого напряже ния.Технология способа состоит в следующем.Исходные компоненты - четыреххлорио 15 тый кремний, водород и кислород падаются в зону горения по трем магистралям без предварительного смещения. На раостоянии, например, 55 см от ввода магистралей в реакционную печь движущие о ся газовые потоки исходных компонентов реакционной смеси проходят через алектрическое поле высокого напряження, при этом каждый иэ газов, до заданного объемного соотношения, атомиэируется и/или 25 ионизируется....

Номер патента: 715460

Опубликовано: 15.02.1980

Авторы: Загоржинская, Кузнецов, Расторгуев, Рябенко, Шалумов

МПК: C01B 33/12

Метки: двуокиси, кремния, легированной

...целесообразно дляполучения равномерно легированногопродукта, поскольку в частности при .температуре ниже 70 С происходит неополный гидролиз алкоксисилана и возможна желатинизация полупродукта,а при температуре выше 100 С возможно выпадение осадка двуокиси кремния.715460 Формула изобретения Составитель Л.РоманцеваТехред З,Фанта Корректор Н, Задерновская Редактор А.Мотыль Заказ 9610/3 Гираж56 5 Подписное ЦНИИПИ Государствеиного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 П р и м е р 1. В колбу объемом 0,75 л, снабженную термометром, ме шалкой и помещенную в термостат, заливают 122 мм 1 М водного раствора, соли циркония ЕгОС 1 и 500 мм воды. Раствор...

Номер патента: 440339

Опубликовано: 25.08.1974

Авторы: Садова, Сытник

МПК: C01B 33/18

Метки: гидрофооной, двуокиси, кремния

...воды, обрабатывают алкилгалогенсиланом, например, диметилдихлорсиланом, при температуре 50 - 90 С и интенсивном перемешивании в течение 10 - 30 мин при расходе алкилгало генсилана 10 - 20 от веса сухой д киси кремния. Расход алкилгалогенсилано л быть и более высоким и достигать гпроцентов.Полученную смесь фильтруютокиси кремния отмывают водо"мых примесей, сушат при440339 Предмет изобретения Составитель К. УсоторреРедактор Г. Мозжечкова Техред 3. Тараненко Корректор Л. Орлова Заказ 237/3 Изд.253 Тираж 537 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 140 С и прокаливают при температуре до 400 С.П р и м е р 1, К 667 мл...

Номер патента: 1013402

Опубликовано: 23.04.1983

Авторы: Афанасьев, Борисова, Доронин, Киркач, Копылов, Космодемьянский, Сысоев, Хабер, Хома

МПК: C01B 33/18

Метки: гидрофобизации, двуокиси, дисперсной, кремния

...агломерации частиц двуокиси кремния,покрытых расплавом модификатора, 65 Увеличение количества газа сверхверхнего предела нецелесообразно,так как приведет к усиленному уносупродукта.Способ осуществляют следующим образом.В реактор колонного типа, имеющий три раздельные зона с автономным температурным режимом, внижнююзону подают двуокись кремния и модиФицирующую добавку в заданном соотношении, Соотношение ожижающий агент:двуокись кремния поддерживают равным (0,2-8):1 с тем, чтобы .образовывалась плотнай Фаза псевдоожиження. Материал выдерживают на этойстадии в течение 0,5-2 мин, температуру поддерживают в пределах на20-50 С выше точки плавления модифицирующей добавки, Из нижней зоныматериал выводят и подают в среднююзону, где количество...