432244

Номер патента: 1341243

Опубликовано: 30.09.1987

Авторы: Горобец, Грицан, Ларин, Хоботова

МПК: C23F 1/18

Метки: меди, раствор, травления

...с площадью рабочейповерхности 0,64 см , изготовленных2из меди марки М - 99 за определенныйинтервал времени при 25 С в условиях 40интенсивного перемешивания растворов,Были пригбтовлены водные растворыследующих составов, м/л:1) СиС 1 10МаС 1 1,545(СН) СО 6,9 Скорость травления меди равняласьформула изобретения Раствор для травления иэделий из меди, содержащий хлорид меди (11), хлорид щелочного металла, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения боконого подтравливания и улучшения качества изделий, он дополнительно содержит ацетон, а н качестве хлорида щелочного металла - хлорид натрия при следуюшем соотношении ком - понентов, м/л:Хлорид меди (11)Хлорид натрияАцетон 0,75- 1,01,0 - 1,5 6,0 - 9,5 432(максимяль цое значение, во...

Номер патента: 973671

Опубликовано: 15.11.1982

Авторы: Ганженко, Кучеренко, Молвина

МПК: C23G 1/36

Метки: меди, неводных, растворов, регенерации, травления

...регенерации соляной кислоты и перманганата калия.Отработанный травильный раствор подкисляют до рН 1-3 и к нему добав" ляют твердый КМп 04 .в количестве0,5-1,1 г на 1 г стравленной меди,который растворяется при перемешиванииПроцесс регенерации можно повторять по мере уменьшения окислителя5 в травильных растворах,Увеличение количества КмпО свыше1,1 г на 1 г стравленной меди иповышение рН свыше 3 приводит к неполному растворению перманганата10 калия и соответственно к неполнойрегенерации травильного раствора(низкая скорость травления). Уменьшение количества КМп 04,также приводит( к. неполному окислению низших хлори 15 дов в высшие и соответственно низкимскоростям травленияИсследование процесса регенерациипроводят путем измерения...

Номер патента: 929738

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Карпенко, Постовит, Слепова, Шарай

МПК: C23F 1/04

Метки: меди, молибдена, размерного, раствор, травления

...растворах, измерение величиныедь, . подтравов проводят на микроскопе МИИ при увеличении в 400 раз,3Перекись водорода (30%-ная) 15-2Хлорное железо 5-1Вода Ос талькВ процессе травления металл окисл ется, а травитель восстанавливается. Способность металла к окислению эави сит, помимо алектронной структуры а ,:мов, также и от окислительной способ,ности травителя, Чем выше окислите иая способность травителя, тем выше .скорость травления, а ато в свою очер обесцечивает равномерность травления и точность воспроизведения рисунка.Присутствие в растворе Гюй ускоряет процесс разложения перекиси войородаеП р и м е р. Для получения раствора для травления молибдена и меди хлорное железо растворяют в воде в заданных соотношениях, а затем...

Номер патента: 1795985

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Ильченко, Тарасенко, Шевчук

МПК: C23F 1/02

Метки: металлов, раствор, силицидов, травления

...после каждого добавления следующего ингредиента. Растворение ведется при нормальных температурах и давлении. Перед применением раствору дают отстояться 55 не менее 1 ч и закрытой фторопластовой посуде, для достижения равномерности распределения ингредиентов в объеме раствора.Структуры Р-Мо 312-Т 1312 готовят электронно-лучевым раздельным напылением в фоторезисту вследствие ее дубящих свойств и повышения точности рисунка фотошаблона в результате равномерности травления; фтористоводородную кислоту - для перево да оксидов Т и 51 в летучие фториды; воду -для повышения растворения образующихся гетерополикислот молибдена и фосфатов Мо и Т 1, а также для снижения скорости реакции травления до контролируемой.10 Сущность предложенного...

Номер патента: 1330208

Опубликовано: 15.08.1987

Авторы: Горобец, Грицан, Ларин, Хоботова

МПК: C23F 1/18

Метки: меди, раствор, травления

...интенсивного перемешивания растворов.Были приготовлены водные растворы следующих составов, в м/л: 1-й - 45 СиС 1 0,80; ИаС 1 0,20; ацетонитрил СНСИ 6,10; 2-й - СпС 1 0,40; Иа 01 0,05," СНСИ 4,80; 3-й - СиС 1 0,60; ИаС 1 0,10; СНСМ 5,50.Скорость травления равнялась, 50 кг/м с: в 1-м растворе - 16,6 104 (максимальное значение); во 2-м - 10,5 10 "(минимальное значение); в 3-м - 13,6 1 О 4 (промежуточное значение). Качество травления во всех 55 растворах было высокое, Поверхностьмеди гладкая чистая, без следов шлама,Использование травильного раствора, в котором концентрации компонентов не укладываются в пределы, нецелесообразно, так как при малом содержании СиС 1 и СНСИ (ацетонитрил) очень мала скорость травления и, следовательно,...