ZIP архив

Текст

280682 ОПИСАНИЕИЗОЬЕИТЯНИЯК АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕДЬСТВУ Союэ Советсииэ Социалистичесииэ РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 20.ЪЧ.19 Кл, 21 д, 11/О1248880/26-2 явкисоединением ПК Н 011 7/68 К 621,382(088.8) иоритет Комитет оо деламобретений и открытийри Совете МинистровСССР Опубликовано 03.1 Х.1970. Бюллетень2Дата опубликования описания 10.Х 11.1970 Авторыизобретения П. Сергиенко и А. Н. Вивч аявптель ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЕЗЛИНЗОВЫХ РАСТРО Изобретение относится к полупроводниковой промышленности, в частности к способам изготовления фотошаблонов в процессе фотол итогр а фи и.Известны лучевые и электроэрозионные способы изготовления оезлинзовых растров из фольги с:круглыми микроотверстиями диаметром порядка 5 - 20 лк.Эти способы не ооеспечивают правильной геометрии и идентичности отверстий, а для осуществления их необходимо уникальное оборудование. Кроме того, технологический процесс при этом способе изготовления растроив сложен.Целью изобретения является получение безлинзовых растров,из фольги с идентичными микроотверстиями правильной геометрии .и с ровными краями диаметром 5 - 20 як без применения сложного оборудования,Сущность предлагаемого способа заключается в получении растров путем прошивки отверстий в предварительно натянутой фольге стеклянной иглой конической формы. Способ позваляет значительно упроститьтехнологию изготовления безлинзовых растров, исключить применение уникального дорогостоящего оборудования и повысить каче ство изготовляемых растров.Отверстия в натянутой фольге прошиваются последовательно на координатном столе, при этом игла опускается микрометрическим винтом, По окончании прошивки отверстий 10 фольгу освобождают от натяжного приспособления, Напряженное состояние фольги снимается, что спосооствует стягиванию краев прошитых в фольге отверстий и повышению пх качества и чистоты.15Предмет изобретенияСпособ изготовления безлинзовых растровпутем прошивки отверстий в фольге, отличаюитийся тем, что, с целью получения качест венпых микроотверстий, фольгу предварительно натягивают, а прошивку микроотверстий осуществляют стеклянной иглой конической формы.

Смотреть

Заявка

1248880

Г. П. Сергиенко, А. Н. Вивчар

МПК / Метки

МПК: H01L 21/02

Метки: 280682

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-280682-280682.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">280682</a>

Похожие патенты