Способ получения p — я-переходов

Номер патента: 184979

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 84979ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ бвюв боввтвких Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 10.11,1965 ( 942624/26-25) 21 д, 11/02 с присоединением заявкиМПК Н 01 риоритетпубликовано ЗО.И 1,1966. БюллетеньКомитет по делам обретений и открыти ри Совете Министров СССРДК 621,382.2(088.8 та опубликования описания 1.Х.1966 Авторыизобретения, Б.1 аявител ОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ р - и-ПЕРЕХОДОВ ет изобретени дов на крем. ляющей атмо целью полу концентрации убине диффу" осиликатногц аО( ения р - и-перех узией бора в оки игийся тем, что, поверхностной и при большой г т из борокальцие 1 ВзОзи 510 вА Способ получ нии термодифф сфере, отличаю чения высокой бора в кремни зии, ее проводя стекла состава Известен способ получения р - и-переходов на кремний, заключающийся в том, что проводят термодиффузию бора в окисляющей атмосфере (например, на воздухе) из боросиликатного стекла состава т ВзОз и ЯО., Этот спо соб не дает возможности получить высокую поверхностную концентрацию бора в кремнии (концентрация В (1 - :2) 10 гз см з) и не создает равномерной концентрации бора по площади, при этом глубина диффузии бора невели ка.Предложенный способ отличается от известного тем, что термодиффузия проводится из борокальциевосиликатного стекла состава 1 В,Ози 510 з ЙСаО, в котором СаО, обладая 15 большей упругостью пара, чем В.Оз, создает предпосылки для поддержания достаточно высокого относительного содержания В,О, в стекле в процессе термодиффузий. Способ позволяет получить высокую поверхностную кон центрацию бора, равномерную по площади (концентрация бора 10 зо см - з) при большой глубине диффузии бора.Предложенный способ заключается в том, что на шлифованную поверхность пластины 25 наносится спиртовой раствор борной кислоты с добавкой небольшого количества Са(ХОз) з или любого другого растворимого в спирте и разлагающегося при нагреве до СаО соединения кальция. Спиртовой раствор равномерно растекается на поверхности пластины, обеспе. чивая при высыхании однородное распределение Нз 00 з и Са (ХОз) в.При термообработке в окисляющей атмосфере на поверхности пластины образуется стек. ло состава 1 ВзОзи 510 з ЙСа 0, содержащее значительное количество ВзОз. Поскольку скорость испарения окиси кальция довольно высокая, то при длительной термообработке большая часть ее испаряется, и толщина слоя стекла на поверхности пластины уменьшается. Это ведет к увеличению процентного содержания В,Оз в стекле и в значительной степени компенсирует испарение ВзОз. Наличие на поверхности кремниевой пластины в течение длительного времени источника с высоким содержанием В,О, обеспечивает получение высокой поверхностной концентрации " 110 зз см з),

Смотреть

Заявка

942624

МПК / Метки

МПК: H01L 21/04

Метки: я-переходов

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-184979-sposob-polucheniya-p-ya-perekhodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения p — я-переходов</a>

Похожие патенты