Индикатор для определения глубины дрейфа лития в кремниевых — г — п-детекторах ядерных излучений

Номер патента: 184980

ZIP архив

Текст

184980 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советокиз Социаиистическив РесоубликКомитет ло делам изоОретениЯ и открытиЯ при Совете МинИстров СССР(Народная Республика Болгарит) 1;.:;:;:,." 1,л;,фт гдтг 1 тл, Авторыизобретений ЗаявителЬ ИНДИКАТОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЛУБИНЫ ДРЕЙФА ЛИТИЯВ КРЕМНИЕВЫХ р -- а-ДЕТЕКТОРАХ ЯДЕРНЫХ ИЗЛУЧЕНИЙ Предмет изобретения Й р=- - -" и-детекторах ядерных излученйй, полученных путем дрейфа лития в кремний р-типа, область собственной проводимости (-область) один из самых важных параметров, и она же является высокоомной и-областью, т, е. определение глубины дрейфа лития сводится к определению глубины залегания р п-перехода.Известен способ определения глубины залегания р - г-перехода в кремний с помощью электрофотографических проявителей, например, по электрохимическому отложению меди.Предлагаемый способ определения глубины дрейфа лития в кремний отличается от известного тем, что р - и-переход проявляют сухими электр офотографичсскими проявителями (ПСи БСТ) .Хорошие границы перехода получаются как на травленой поверхности, так на шлифованной и механически полированной.Большое влияние на четкость картины оказывает прикладываемое к детектору напряженйе, с его ростом четкость увеличиваетсй,При напряжении ниже 40 в частицы электрофотографических порошков садятся равномерно по всей поверхности в небольшом количест 5 ве, При более высоких напряжениях, до 150 в,порошок отлагается на одной стороне перехода.Детектор сохраняет полностью свои электрические характеристики после стирания по 10 рошка.Этот способ дает возможность получать целостную картину р - а-перехода и может применяться для контроля массового производства как кремниевых, так и германиевых детек 15 торов,Применение сухих электрофотографических 20 проявителей в качестве индикатора для определения глубины дрейфа лития в кремниевыхр -- п-детекторах ядерного излучения,

Смотреть

Заявка

926648

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: глубины, дрейфа, излучений, индикатор, кремниевых, лития, п-детекторах, ядерных

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-184980-indikator-dlya-opredeleniya-glubiny-drejjfa-litiya-v-kremnievykh-g-p-detektorakh-yadernykh-izluchenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Индикатор для определения глубины дрейфа лития в кремниевых — г — п-детекторах ядерных излучений</a>

Похожие патенты