Способ калибровки полупроводникового чувствительного элемента на основе оксида металла, предназначенного для определения концентрации микропримеси в атмосфере неизмеряемого компонента
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Способ калибровки полупроводникового чувствительного элемента на основе оксида металла, предназначенного для определения концентрации микропримеси в атмосфере неизмеряемого компонента, заключающийся в подаче на чувствительный элемент эталонной газовой смеси с последующим измерением электрофизического параметра и определением калибровочных постоянных чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения калибровочных характеристик, находят стационарное значение электрофизического параметра чувствительного элемента в атмосфере газа с постоянной концентрацией микропримеси, после чего заменяют среду на калибровочную газовую смесь с другим содержанием микропримеси, затем подают ее на чувствительный элемент и измеряют изменение электрофизического параметра чувствительного элемента во времени до нового стационарного значения, а по характерному спаду величины электрофизического параметра чувствительного элемента находят постоянную времени переходного процесса изменения электрофизического параметра от исходного до вновь полученного, по величине которой определяют калибровочные постоянные чувствительного элемента.
Заявка
4775665/25, 29.12.1989
Научно-исследовательский институт химического машиностроения и научноисследовательский физико-химический институт им. Л. Я. Кариева
Казаков С. А, Гутман Э. Е, Мясников И. А, Менжук В. Н, Руженцев С. В
МПК / Метки
МПК: G01N 27/02
Метки: атмосфере, калибровки, компонента, концентрации, металла, микропримеси, неизмеряемого, оксида, основе, полупроводникового, предназначенного, чувствительного, элемента
Опубликовано: 27.12.2005
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1825125-sposob-kalibrovki-poluprovodnikovogo-chuvstvitelnogo-ehlementa-na-osnove-oksida-metalla-prednaznachennogo-dlya-opredeleniya-koncentracii-mikroprimesi-v-atmosfere-neizmeryaemogo-kom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ калибровки полупроводникового чувствительного элемента на основе оксида металла, предназначенного для определения концентрации микропримеси в атмосфере неизмеряемого компонента</a>
Предыдущий патент: Система охлаждения герметичного объекта
Следующий патент: Регулятор давления газа
Случайный патент: Брикетный пресс