Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления

Номер патента: 1787685

Автор: Пастощук

ZIP архив

Текст

(5 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРСКО.Пастошуквкэ Великобр9.78,орскоесвиде46, кл, С 23 С твенныи педагМануил ьского пособа: смешив материалов и спекание загото(57) Сущность керамически прессование и пературе 680 щей среде. т порошки люминия и при тем- дсодержэитании М 1554856,тельство СССР15/00, 1981. др,) Процес яют в атмос ислорода с пературе ный способ ических миИзобретение относится к порошковойметаллургии, в частности к способам изготовления мишеней, преимущестьенно керамических, для установок вакуумногораспыления.Известны способы изготовления керамических мишеней, согласно которым измельченный материал мишениперемешивают, прессуют в пресс-формах иобжигают с различным чередованием этихопераций,Недостатком этих способов является то,что в изготовленных мишенях возникаюттермические напряжения в процессе распыления, что приводит к растрескиванию мишени, Эффективное охлаждение мишени повсей толщине невозможно из-за глохой теплопро водности, обусловленной пористо стью мишени,.Целью изобретения является повышение термостойкости мишени путем добавкив шихту порошка алюминия и проведенияспекания при температуре 680 + 20 С,П р и м е р. Порошок чистого алюминиясмешивают с исходным инертным наполни(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ ДЛЯ УСТАНОВОК ВАКУУМНОГО РАСПЫЛЕНИЯ телем (Ай, ЯЗ)ч 4, ВК, А 20 з и с спекания заготовки осуществл фере кислорода или смеси к инертным газом при тем 680+ 20 С.Таким образом предложен обеспечивает получение керам шеней малой пористости, что повышает теплопроводность и уменьшает чувствительность мишени к термическим нагрузкам, возникающим в процессе неравномерного прогрева при распылении, 4 Это увеличиваетсрок службы мишеней и по- СО вышает надежйость процесса распыления. Ф ормула изобретения Способ изготовления керамических ми- Ор шеней для установок вакуумного распыле- у ния, включающий смешивание порошков, прессовэние и спекание, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения термостойкости мишени, при смешивании в шихту до- ф бавляют порошок алюминия, а спекание ведут в кислородсодержащей среде при680 + 20 С.

Смотреть

Заявка

4875643, 20.08.1990

РОВЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПЕДАГОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. Д. З. МАНУИЛЬСКОГО

ПАСТОЩУК ОЛЕГ БОРИСОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B22F 3/12

Метки: вакуумного, мишеней, распыления, установок

Опубликовано: 15.01.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1787685-sposob-izgotovleniya-mishenejj-dlya-ustanovok-vakuumnogo-raspyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления</a>

Похожие патенты