161707
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 161707
Текст
ОПИСАБИЕ ИЗОБРЕТЕБИЯ К АВТОРСКОМУ СВИЛЕТЕЛЬСТВ Ло 1617 О 7Класс 12 гп, 9 ПКС 011 Заявлено 17.Н 11. 962 (М 789837/23-4) ГОСУДАРСТВЕННЫ ИКОМИТЕТ ПО ДЕЛАМизОБРетений и ОткРытииСССР Опубликовано 01.1 Ч,1964. Б 1 оллст,нь Лъ 8 ДК Подписная гру 1 гпа Л 42 В. А, Преснов, Л, Г. Лаврентьева и М. Д. Вилисова СПОСОБ ПОЛУ 11 ЕНИЯ ПЛЕНОК АРСЕНИДА ГАЛЛИЯПредмет нзсоретення Известны способы получения пленок арсеида галлия, основанные на использованн эффекта термической возгонки в запаянных ампулах или испарения в вакууме. Однако при осуществлении этих способов скорость испарения недостаточна, получаемые пленки имеют мелкокристаллическую структуру. КроМЕ ТОГО, НЕВОЗМО)К 0 ИЗМЕНЯТЬ Впределах концентраци 1 о легиру 1 ощнх пр 1 мссей.Предлагаемый способ получения пе. ок арсеила галлия отличается от известных тем, что возгонку производят в атмосфере паров йода (перенссчнк вещества) при температуре в области источника от 750 до 1000 оС и в области подло)кки - от 600 до 800 С.Кварцевую откачанную и запаянную ампулу (длина 200 119 и диаметр 20 11,1) с источником арсенида галлия произвольных размеров, подложкой, выбираемой в зависимости от поставленной задачи, и 1 1 г/сла йода помещают в печь. Температура в области источника может колебаться от 750 до 1000 С, в области подложкиот 600 до 800 С, разность температур ме)кду источником и подложкон дол)1:.а Оыть не )1 енее 100 С,Исто 1.Пко.;1 может сл) жить нолик)нсталлпческнй арссннд Галлия, легнрованнь 1 Й нужной пр)Сс 1.О. В зависимости от выбранно 1 по;1- ложки конденсат б)чдст пазли 11). Скорость пол)"1 сн 51 и,енин загнснт Гт концентрации 1 О;1 а, которая )может нз.е:1 яться От 0,00 дс 5 1 гс 1 П 1, н колеб.;ется в п)сделах от 1 до 100,11 Й час, продГлжнтсг 11 Ость процесса Определ 5 ется трГбусх.)й тО,11 цисй пленки. Сгосоо по;т ченя пленок арсенда галлия термической возго: кой в запаянной ампуе, в ксторой размещены источник арсен- да галлия и подложка, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса и получения пленок арсешда галлия с заданной ко 1 цстрапей легнр ющей примеси, возгонку проводят в атмосфере гаров Йода прн температуре в ооласт; источника от 750 до 1000"С и в обл;.Гтн Подло;ккн - От 600 до 800 С.
СмотретьЗаявка
789837
МПК / Метки
МПК: C30B 25/02, C30B 29/42
Метки: 161707
Опубликовано: 01.01.1964
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-161707-161707.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">161707</a>