Способ изготовления силового полупроводникового прибора
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИЛОВОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА, включающий создание в полупроводнике базовой области, формирование окруженных базовой областью локальных эмиттерных участков, нанесение контактной металлизации на эмиттерные участки и базовую область, выявление непригодных эмиттерных участков, нанесение на полупроводник общего электрода, контактирующего с металлизацией пригодных эмиттерных участков, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости изготовления и повышения процента выхода годных приборов, перед нанесением на полупроводник общего электрода в последнем создают отверстия в тех его местах, которые при контактировании электрода с полупроводником располагаются над выявленными непригодными эмиттерными участками, с размерами по длине и ширине, превышающими размеры эмиттерных участков на величину от 0,02 до 0,3 мм.
Описание
Цель - снижение трудоемкости изготовления и повышение процента выхода годных приборов.
П р и м е р реализации способа.
В полупроводниковой подложке формируют 552 дискретных эмиттерных участка, окруженных базовой областью. Длина и ширина эмиттерных участков составляла 225 мкм. Травлением полупроводника выделяют базовую область и эмиттерные участки в отдельную меза-область. На эмиттерных участках и базовой области формируют контактную металлизацию. Выявляют непригодные эмиттерные участки. В качестве заготовки общего электрода используют молибденовый диск диаметром 76 мм и толщиной 0,2 мм. В нем вырезают отверстия, соответствующие местам контактирования электрода с выявленными непригодными эмиттерными участками. Для этого оператору лазерного станка передаются данные контроля по выявлению непригодных эмиттерных участков (координаты расположения непригодных эмиттерных участков), в соответствии с которыми оператор составляет программу перемещения стола лазерной установки для вырезания отверстий. Ширина и длина отверстий составляла 245 мм, что на 0,2 мм превышает длину и ширину эмиттерных участков. Общий электрод наносят на полупроводник. При этом вырезанные в общем электроде отверстия используют как pеперные знаки при совмещении электрода с рисунком эмиттерных участков полупроводника. Электрод на поверхности полупроводника фиксируют с помощью кремний-органического лака типа КЛТ по его периферии. (56) Заявка Японии N 60-957, кл. Н 01 L 29/74, 1985.
Заявка Японии N 59-13372, кл. Н 01 L 29/74, 1984.
Изобретение относится к полупроводниковой электронике и предназначено для изготовления силовых полупроводниковых приборов. Цель изобретения - снижение трудоемкости изготовления и повышение процента выхода годных приборов. Способ включает следующие операции. В полупроводнике формируют дискретные эмиттерные участки, окруженные базовой областью. Формируют к эмиттерным участкам и базовой области контактную металлизацию. Выявляют непригодные эмиттерные участки. В общем электроде, предназначенном для контактирования всех эмиттерных участков, вырезают отверстия. Отверстия вырезают в местах, которых при контактировании электрода с полупроводником располагаются над непригодными эмиттерными участками. Отверстия вырезают с размерами по длине и ширине, превышающими размеры эмиттерных участков на величину от 0,02 до 0,03 мм. Способ позволяет автоматизировать приемы, исключающие контактирование общего электрода с непригодными эмиттерными участками. Способ позволяет исключить необходимость формирования специального защитного покрытия над непригодными эмиттерными участками.
Заявка
4304321/25, 11.06.1987
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Дерменжи П. Г, Приходько А. И, Шмелев В. В
МПК / Метки
МПК: H01L 21/28
Метки: полупроводникового, прибора, силового
Опубликовано: 15.01.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1519453-sposob-izgotovleniya-silovogo-poluprovodnikovogo-pribora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления силового полупроводникового прибора</a>
Устройство для контроля сопротивления участка электрод электрод машины точечной сварки
Номер патента: 1648678
Опубликовано: 15.05.1991
Авторы: Галкин, Гецкин, Лещанов
МПК: B23K 11/24
Метки: сварки, сопротивления, точечной, участка, электрод
...трансформатора 7, вторую обмотку 11 эталонного трансформатора 7, резисторы 12, 13, стабилитроны 14, 15. Вторая обмотка 4 измерительного трансформатора 1 подключена к электродам 16, 17 машины 18 точечной сварки, состоящей из источника 19 сварочного тока и сварочного трансформатора 20. Третья обмотка 5 измерительного трансформатора 1, третья обмотка 10 эталонного тоансформатора 7, резисторы 14, 15, усилитель 6, который со стороны входа защищен стабилитронами 14, 15, образуют измерительный мост. Устройство работает следующим обзом.1648678 Формула изобретения оставитель В. Королев хред М.Моргентал Корректор И, Муска М. Товти Ред Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина,В исходном состоянии, когда...
Прибор для автоматической записи криволинейных участков железнодорожного пути
Номер патента: 10248
Опубликовано: 29.06.1929
Автор: Андрейцев
МПК: E01B 35/04
Метки: автоматической, железнодорожного, записи, криволинейных, прибор, пути, участков
...вертикальных осей. Для большей жесткости рейка 1 расчалена растяжками 3, На среднем колесе 4, кроме рейки 1, устанавливается также с помощью шарнира еще рейка 2, другой конец которой опирается на такое же колесо 4, несущее, кроме того, вверху площадку с пишущим прибором 10. Длина рейки 2 равна половине длины рейки 1. Для устойчивости прибора горизонтальная ось среднего колеса 4 удлинена с целью помещения на другом ее конце колеса 6 обычной формы, могущего катиться по другому рельсу,Для избежания поперечных перемещений колес 4 при переходе с части релинг сов, имеющих широкую головку, на часть с узкой головкой, каковые перемещения будут вредно отражаться на точности по- :;-".казаний прибора, автором предусматривается применение...
Знак для оформления в прессуемом изделин отверстия с гладким и резьбовым участками
Номер патента: 270983
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Куренков, Мартынов, Ярославцев
МПК: B29D 1/00
Метки: гладким, знак, изделин, отверстия, оформления, прессуемом, резьбовым, участками
...и соединяющей меж НАК ДЛЯ ОФОРМЛЕНИЯТВЕРСТИЯ С ГЛАДКИМ ПРЕССУЕМОМ ИЗДЕЛИИ ЕЗЬБОВЫМ У 1 АСТКАМИ ду собой части знака тяги 3, на которой размещен упорный подшипник 1, установленный с зазором, примерно равным одному шагу резьбы, относительно опорной поверхности резьбовой части. Взаимная фиксация частей 1 и 2 осуществляется по коническим поверхностям, Посредством затяжки гайки б, опирающейся на кольцо б, осуществляется плотное смыкание частей знака. В таком положении знак устанавливается в пресс-форму.Извлечение описываемого знака из готового изделия осуществляется следующим образом. Поворотом гайки 5 на 1,5 - 2 оборота знак освобождается от усилия, стягивающего его обе части. Затем резьбовую часть 1, вращают. Примерно один оборот резьбовая...
Прибор для бесконтактного контролясостояния участков коры планетарнойповерхности
Номер патента: 412577
Опубликовано: 25.01.1974
Авторы: Изобретеии, Клюкин, Розенберг, Рыжаков, Степанов
Метки: бесконтактного, контролясостояния, коры, планетарнойповерхности, прибор, участков
...устройства 5 меняется от излучения к приему отраженных импульсов, Включение и выключение сигнала о передаче связано с информацией о долготе и шпроте, задаваемой датчиками б и 7. Сигналы широты и долготы спределяот ксординаты точки регистрации на пластине ферромагпетнка 14, Для этой целл служат усилители 8 и 9, работающие на соответствующие отклоняющие пластины электроннолучевой трубки. Информация об амплитуде суммарного отраженного сигнала подается через приемник- усилитель 10 сигнала на модулятор 11 элект,роннолучевой трубки. Задисанная информация стирается блоком 16 формировання импульсов намагничивания и генератором 17. Указанным выше способом на пластине ферромагнетика фиксируется,инфориация в виде перемагниченных...
Электрод-инструмент
Номер патента: 634900
Опубликовано: 30.11.1978
МПК: B23P 1/12
Метки: электрод-инструмент
...участка электрода-инструмента;а - угол наклона образующей формирующего участка;1, - длина инструмента;1 - длина заходной части.На фиг. 1 схематично показан предлагаемый электрод-инструмент с заходной частью в виде кругового конуса; на фиг. 2 - движение электролита в процессе обработки по изобретешпо; на фиг. 3 - то же, по прототипу.Предлагаемый электрод-инструмент длиной 1. предназначен для электрохимического формообразования профильных каналов из предварительно спрофилированного круглого отверстия. Данная конструкция гео/у метричсски состоит из заходного участка 1 протяженностью 1, представляющего усеченный круговой конус с угломнаклона образующей, и формирующего участка 2, выполненного в каждом сечении подобно обрабатываемому...
Предыдущий патент: Широкодиапазонный измеритель нейтронного потока
Следующий патент: Способ регенерации гликоля
Случайный патент: Лубрикаторное устройство для исследования скважин