Способ определения длины канала мдп-транзистора

Номер патента: 1487755

Автор: Чекунков

ZIP архив

Описание

Способ определения длины канала МДП-транзистора путем формирования тестовой структуры на полупроводниковой подложке, включающей области, имитирующие сток-истоковые области, и затвор МДП-транзистора, причем топологическая ширина затвора выбирается равной топологической длине канала МДП-транзистора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в подложке второго типа проводимости изготавливают МДП-транзистор с не менее чем шестью сток-истоковыми областями первого типа проводимости и самосовмещенные с затвором высоколегированные области второго типа проводимости, имитирующие сток-истоковые области МДП-транзистора, подают смещение на затвор, достаточное для создания инверсионного слоя, определяют эффективное удельное поверхностное сопротивление инверсионного слоя, ограниченного по ширине высоколегированными областями, определяют падение напряжения на участке инверсионного слоя заданной длины и определяют длину Lс каналы МДП-транзистора по формуле

Lс= s эфф· L·(I/U),

где s эфф - эффективное удельное поверхностное сопротивление инверсионного слоя;

L - длина участка инверсионного слоя;

U - падение напряжения на участке L инверсионного слоя;

I - ток, протекающий на участке L инверсионного слоя.

Заявка

4255020/25, 13.04.1987

Чекунков С. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: длины, канала, мдп-транзистора

Опубликовано: 20.04.2008

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1487755-sposob-opredeleniya-dliny-kanala-mdp-tranzistora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения длины канала мдп-транзистора</a>

Похожие патенты