Делитель напряжения на мдп-транзисторе

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(51) М. Кл. Н 01 3 29/76 Геердаретееаама аеяатат еееата Маааетрее 66 ер ае даава азееретеааа а атармтае(45) Дата опубликования описания 2102.78 М.ф.Зарипов, И.Ю.Петрова, В.П.Ястребцев и В.В.Попов(71) Заявители уфимский авиационный институт им.Орджоникидзе и Башкирский филиал АН СССР(54) ДЕЛИТЕЛЬ НАПРЯЖЕНИЯ НА МДП-ТРАНЗИСТОРЕ Изобретение относится к области полупроводниковой техники и может быть использовано в качестве делителя напряжения, переменного резистора и функционального преобразователя в информационно-измерительных системах.Известны устройства на базе МДП-структур с подвижным электродом затвора, которые состоят из истока, стока и подвижного электрода затвора, способного перемещаться в вертикальной плоскости Я.Недостатками их являются малые линейные перемещения н малая чувствительность к ним.Известей. долитель напряжения на МОП-транзисторе Я который содержит исток, сток. и подвижный прямоугольный электрод затвора, имеющий возможность перемещаться вдоль истока и сто-ка по слою жидкого, диэлектрика.Его недостатком является малая чувствительность тока стока к переме-. щению подвижной части.Целью данного изобретения является увеличение чувствительности токастока к перемещению подвижного электрода затвора.Цель достигается тем, что в предла- . гаемом датчике напряжения электрод подвижного затвора выполнен в форме треугольника, причем одна из его сторон параллельна области истока. Применение такого подвижного электрода затвора в форме треугольника позволяет ввести искусственным образом отсечку или так называемую обедненную область канала, которая для обеспечения токопроводностн должна быть расположена вдоль стока. Одной из характеристик данного класса устройств является статическая характеристика, т.е. зависимость выходного параметра- тока стока Л от входного параметра- перемещения подвижного электрода затвора х 3 А ф 1 х).Известно, что3 5ь Ь где Эа - ток стока в канале междуистоком и стоком МДП-транзистора;" Ь - ток насыщения в канале;- длина канала;- эффективная длина канала МДП-транзистора,Из этого выражения видно,что одним из способов повышения чувствительности тока стока является уменьшение зффек59 Я 159 формула изобретения Хтакс Фси. у Состав Техред И.Шубин е Тираж 960 нного комите м изобретени Ж, Раушск ПодМиниий.4/5 сноеров ССС Совет откр наб., Патент, г.ужгород, ул.Проектна илиал П тивной длины канала 1.в, при этом ток стока 3 увеличивается.На фиг. 1 изображен топологический чертеж делителя напряжения на МДП-транзисторе; на фиг. 2 изображен разрез делителя напряжения.Делитель напряжения на металл-диэлектрик-полупроводниковом транзисторе состоит из полупроводниковой подложки 1 одного типа проводимости Р, с сформированными в ней областями, истока 2 и стока 3 другого типа проводимости ь,на которых образованы электроды истока 4 и стока 5 из слоя жидкого диэлектрика 6, нанесенного на подложку и выполняющего одновременно роль смазки, из подвижного электрода затвора 7, который имеет возможность к перемещению вдоль истока и стока по жидкому диэлектрику, в качестве которого может быть исполь зован глицерин, обладающий сравнительно низким удельным сопротивлением (10 Ом см) и подходящей вязкостью,Принцип действия делителя напряжения на МДП-транзисторе аналогичен ра- Я 5 боте МДП-транзистора с обогащением. Режим работы его определяется проводимостью канала, который индуцируется приложенным к электроду затвора напряжением. В данном случае электрод 30 затвора обладает воэможностью к механическому перемещению от нулевого до максимального значений координаты, в направлении перемещения, показанном стрелкой. При подаче напряжения на подвижный электрод затвора 7 в подложке 1 индуцируется канал, который зависит от положения затвора, По мере продвижения подвижного электрода затвора от нулевого положения до4 О максимального "мак эффект укорочения канала все более усиливается, т.е. аказ 1260/45 ЦНИИПИ Государст по де 113035, Москваувеличивается обедненная область, иследовательно, увеличивается крутизна,т,е. наклон статической характеристики,или, иными словами, чувствительностьтока стока к перемещению подвижногоэлектрода затвора.Благодаря выполнению подвижногоэлектрода затвора в форме треугольника он не полностью покрывает канальную область между истоком и стоком.Это является большим преимуществомпредлагаемого делителя, так как приэтом резко увеличивается чувствительность тока стока к перемещению подвижной части. Электрод подвижного затвора может принимать и любую другуюформу, кроме формы треугольника, отэтого зависит функциональная зависимость тока стока .от перемещенияподвижной части. Это свойство можетбыть использовано в функциональныхустройствах информационно-измерительных систем,Делитель наПряженйя на МДП-транзисторе, имеющий подвижный электроди области истока и стока, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюувеличения чувствительности тока стока к перемещению подвижного электрода затвора, затвор выполнен в видетреу=ольника, причем одна из его сторон параллельна области истока.Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Патент США 93786919,кл. Н 01 Ь 11/14, 1974.2. ТИИЭР, Окомото Угаи Делительнапряжения на МОП-транзисторе,т,59, 9 16, 1971, с.1535. ель О.федюнинаКорректор С,Шекма