Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
иротенко и Г, В. СпивакМНОГОКОМПОНЕНТНЫХК КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ено 14 октября 1960 г. за М 682125/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в Бюллете пзобретеппй ЛЪза 1961 г ого состава пленки и ускорения способ, в котором исходный феркатодному распылению в магниттен едмет из ферромагнитных пленок катем, что, с целью получения рения процесса распыления, ергают катодному распылеСпособ получ одным распылен олее однородног сходный ферром ию в магнитном ния многокомпонентны ем, отличающийся состава пленки и уск гнитный материал под поле. Известны способы получения многокомпоненым распылением. Однако эти способы не позвки однородного состава.Для получения более однороднпроцесса распыления предлагаетсяромагнитный материал подвергаютном поле,По предлагаемому способу ферромагнитные пленки получают в газоразрядной плазме при большой плотности тока и низком давлении, Плазма в инертном газе - криптоне создается в трехэлектродной трубке, куда в пространство между катодом и анодом вводят образцы. На образцы подают отрицательные относительно катода потенциалы. На расстоянии 2 - 3 сл от распыляемого образца помещают стеклянную подложку, на которую осаждают распыляемый материал. Подложку подогревают спиралью, питаемую электрическим током. Для того, чтооы задать направление оси намагничения пленки, осаждение ее ведут в. магнитном поле (около 175 - 200 эрст), которое дополнительно концентрирует плазму, стагивая ее в область распыляемого образца. Это увеличивает плотность тока и ускоряет процесс распыления.Предложенным способом были получены качественные пленки ко. бальта, кремнистого железа, молибденового пермоллоя с доменной структурой, Петли гистерезиса, снятые с полученных пленок, оказались прямоугольными при величинах коэрцнтивной силы, соответствующих требованиям.
СмотретьЗаявка
682125, 14.10.1960
Иванов Р. Д, Сиротенко И. Г, Спивак Г. В
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36, H01F 10/20, H01F 41/18
Метки: катодным, многокомпонентных, пленок, распылением, ферромагнитных
Опубликовано: 01.01.1961
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-138791-sposob-polucheniya-mnogokomponentnykh-ferromagnitnykh-plenok-katodnym-raspyleniem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением</a>
Следующий патент: Автоматическая линия с программным управлением для гальванических процессов
Случайный патент: Способ производства кулинарногомасла