Кассета для жидкостной эпитаксии полупроводников

Номер патента: 774293

Авторы: Литвин, Марончук

Описание

Кассета для жидкостной эпитаксии полупроводников, выполненная в виде этажерки с установленными горизонтально и параллельно друг другу подложками, разделенными прокладками, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения условий заливки и удаления раствора-расплава из зазора между подложками, кассета выполнена в виде каркаса с горизонтальным сечением в форме правильного шестиугольника, в центре и в вершинах которого установлены вертикальные стержни, и вписанного в окружность радиусом, равным диаметру подложки плюс радиус центрального стержня, а в качестве прокладок использованы шайбы, размещенные на стержнях.

Заявка

2388837/26, 23.07.1976

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Литвин А. А, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е

МПК / Метки

МПК: C30B 19/06

Метки: жидкостной, кассета, полупроводников, эпитаксии

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-774293-kasseta-dlya-zhidkostnojj-ehpitaksii-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кассета для жидкостной эпитаксии полупроводников</a>

Похожие патенты