Способ нанесения металлического покрытия

Номер патента: 736770

Авторы: Герасимов, Лукашевич, Стрежнев

Описание

Способ нанесения металлического покрытия путем размещения подложки в вакуумной камере и распределения в ее объеме наносимого металла с одновременными перемещением подложки относительно ограничительной диафрагмы, отличающийся тем, что, с целью сохранения оптических характеристик при изготовлении решеток-поляризаторов увеличенных размеров, перед перемещением подложки одновременно с нанесением металла на элемент ее поверхности наносят металл на поверхность свидетеля, контролируют оптические параметры элемента изготавливаемой решетки-поляризатора и толщину слоя металла на свидетеле, а скорость Uдв перемещения подложки выбирают из соотношения

где d - ширина диафрагмы;
tи.с - номинальная толщина слоя на свидетеле, соответствующая оптимальным характеристикам металлического покрытия;
Uисп - скорость испарения напыляемого металла.

Заявка

2645299/10, 21.07.1978

Лукашевич Я. К, Стрежнев С. А, Герасимов В. П

МПК / Метки

МПК: G02B 5/18

Метки: металлического, нанесения, покрытия

Опубликовано: 27.06.2002

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-736770-sposob-naneseniya-metallicheskogo-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения металлического покрытия</a>

Похожие патенты